정전유전체를 이용한 반도체공정에서의 배출가스 처리성능 특성 연구 (Experimental A Study on the Removal for Hazardous White Smoke and Aerosols using Dielectric Coagulation System to Treat off-gases from Semiconductor Manufacturing)

• 박태호;이충섭;김형준
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
  • /
  • pp.1221-1222
  • /
  • 2012
• PDF

정전유전체 응집을 이용한 미세 유해백연 제거 시스템의 연구 (A Study on the Removal for White Smoke and Fine Aerosols using Dielectric Coagulation System)

• 황순철;한방우;김용진
• • 한국대기환경학회:학술대회논문집
  • /
  • 한국대기환경학회 2004년도 추계학술대회 논문집
  • /
  • pp.461-462
  • /
  • 2004
• PDF

---