• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.357-358
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• 2011

Dichloro-(2,2)-paracyclophane을 출발 물질로 하여 화학기상증착법(CVD)을 이용해 우수한 투명성과 수분 투과성을 갖는 poly(p-xylylene) 코팅 막을 얻었다. 상기 코팅 막을 얻기 위한 최적의 공정 조건은 Deposition Pressure 0.02~0.04Torr, Vaporization temperature $110{\sim}150^{\circ}C$으로 확인 되었다. 이러한 공정 조건으로 500 mm*500 mm size의 PET bare film을 코팅 기재로 사용하여 $10{\mu}m$, $20{\mu}m$의 parylene 코팅 막을 얻었고 이를 특성 분석해 보았다. 상기 코팅 막은 전체적으로 ${\pm}1{\mu}m$의 thickness uniformity가 관찰 되었고 투과율은 90% 이상을 보였으며 수분 투과율은 기재 대비 상대적으로 40%의 향상이 기대 되었다. 또한 우수한 내식성, 내염기성, 내용제성을 갖고 있었으며 PET 기재에 대해 우수한 부착력을 가지고 있었다. surface morphology는 AFM을 통해 분석하였으며 Ra가 15.123, Rq가 22.859로 측정 되었다.