Improved Defect Control Problem using Scaled Down Silicon Oxide Stamps for Nanoimprint Lithography (나노임프린트 리소그래피를 위한 스케일 다운된 산화막 스탬프 제작과 패턴결함 개선에 관한 연구)
-
- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
- /
- v.19 no.2
- /
- pp.130-138
- /
- 2006