• 제목/요약/키워드: Damage possibility

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Research on the Multi-electrode Plasma Discharge for the Large Area PECVD Processing

  • Lee, Yun-Seong;You, Dae-Ho;Seol, You-Bin
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.478-478
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    • 2012
  • Recently, there are many researches in order to increase the deposition rate (D/R) and improve film uniformity and quality in the deposition of microcrystalline silicon thin film. These two factors are the most important issues in the fabrication of the thin film solar cell, and for the purpose of that, several process conditions, including the large area electrode (more than 1.1 X 1.3 (m2)), higher pressure (1 ~ 10 (Torr)), and very high frequency regime (VHF, 40 ~ 100 (MHz)), have been needed. But, in the case of large-area capacitively coupled discharges (CCP) driven at frequencies higher than the usual RF (13.56 (MHz)) frequency, the standing wave and skin effects should be the critical problems for obtaining the good plasma uniformity, and the ion damage on the thin film layer due to the high voltage between the substrate and the bulk plasma might cause the defects which degrade the film quality. In this study, we will propose the new concept of the large-area multi-electrode (a new multi-electrode concept for the large-area plasma source), which consists of a series of electrodes and grounds arranged by turns. The experimental results with this new electrode showed the processing performances of high D/R (1 ~ 2 (nm/sec)), controllable crystallinity (~70% and controllable), and good uniformity (less than 10%) at the conditions of the relatively high frequency of 40 MHz in the large-area electrode of 280 X 540 mm2. And, we also observed the SEM images of the deposited thin film at the conditions of peeling, normal microcrystalline, and powder formation, and discussed the mechanisms of the crystal formation and voids generation in the film in order to try the enhancement of the film quality compared to the cases of normal VHF capacitive discharges. Also, we will discuss the relation between the processing parameters (including gap length between electrode and substrate, operating pressure) and the processing results (D/R and crystallinity) with the process condition map for ${\mu}c$-Si:H formation at a fixed input power and gas flow rate. Finally, we will discuss the potential of the multi-electrode of the 3.5G-class large-area plasma processing (650 X 550 (mm2) to the possibility of the expansion of the new electrode concept to 8G class large-area plasma processing and the additional issues in order to improve the process efficiency.

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MeV Si 자기 이온주입된 단결정 Silicon내의 결함 거동 (Defect Formatìon and Annealìng Behavìor in MeV Si Self-Implanted Silicon)

  • 조남훈;장기완;서경수;이정용;노재상
    • 한국재료학회지
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    • 제6권7호
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    • pp.733-741
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    • 1996
  • 본 연구에서는 MeV Si 자기 이온주업을 실시하여 주업원자와 모재 원자와의 화학적 영향이 배제된 결함 형성 거동을 관찰하였다. 자기 이온주업을 위하여 Tandem Accelerator가 사용되었고 1~3 MeV의 에너지 범위의 이온주입이 실시되었다. MeV 이온주입된 시편의 격자결함은 표면으로부터 고립된 $R_p$ 근처에 집중된 것이 관찰되었다. 주입에너지 변화에 따른 격자결함 생성 거동을 관찰하기 위하여 조사량을 $1{\times}10^{15}/cm^2$으로 고정하고 주입에너지를 1~3 MeV로 증가하였다. RBS 분석 결과 격자결함의 형성층 깊이는 에너지 증가에 따라 증가하였고 표면층에는 에너지 증가시 더욱 좋은 결정성을 유지하였다. 또한 주입에너지가 일정한 경우 조사량 증가시 $R_p$ 부근에 집중된 결함층의 농도는 증가하였으나 표면부근의 결함농도는 임계조사량 이상에서 포화되는 것이 관찰되었다. XTEM 분석 결과는 RBS의 결과와 잘 일치하였다. XTEM 관찰 결과 이온주업 상태의 결함층은 dark band의 형태로 관찰되었고 열처리시 이차결함은 이곳으로부터 생성되었다. 2MeV $Si^+$ 자기 이온주입시 이차결함이 형성되는 임계조사량은 $3{\times}10^{14}{\sim}5{\times}10^{14}/cm^2$ 사이로 관찰되었다. 열처리시 dark band의 하단부의 위치는 변화하지 않고 상단부만이 제거되었다. 실험을 통하여 얻은 결과들은 Monte-Carlo technique을 이용한 TRIM-code를 사용하여 해석하였다. SIMS 분석을 통하여 이차결함은 모재내에 존재하는 oxygen 불순물을 gettering함을 관찰하였다.

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파상처리와 지베렐린을 이용한 무늬둥굴레(Polygonatum odoratum var. pluriflorum 'Variegatum')의 휴면타파 (Scarification and Gibberellic Acid Affecting to Dormancy Breaking of Variegated Solomon's Seal (Polygonatum odoratum var. pluriflorum 'Variegatum'))

  • 이용하;이승연;박주현;김기선
    • 원예과학기술지
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    • 제32권3호
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    • pp.296-302
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    • 2014
  • 무늬 둥굴레는 화훼장식의 절엽 소재로 많이 활용되고 있으나 봄과 여름 시기에만 생산되는 제한적인 시장성을 가지고 있다. 무늬 둥굴레의 연중생산 요구가 늘어나고 있으며, 시간과 공간을 필요로 하는 저온처리를 대신하는 무늬둥굴레의 휴면타파법이 필요하다. 본 연구에서는 지베렐린을 효과적으로 처리하여 무늬둥굴레의 휴면을 타파할 수 있는 방법을 찾고자 실험을 수행하였다. 휴면 상태의 무늬둥굴레 근경에 지베렐린을 두상관주 하였을 때에는 휴면타파가 이루어 지지않았다. 하지만 지베렐린을 처리하기 전에 면도칼로 무늬둥굴레의 표피에 상처를 내어 지베렐린을 관주하거나 주사로 지베렐린을 직접 주입하였을 때에는 1년차 실험에서는 $GA_3$ $400mg{\cdot}L^{-1}$를 처리했을 때 각각 100, 83.3%의 휴면타파가 이루어졌다. 그러나 면도날이나 주사기를 사용했을 경우 무늬둥굴레에 물리적인 피해가 나타나 NaOCl을 이용한 화학적 처리를 사용해 보았다. 솜에 묻힌 4%의 NaOCl을 6시간 또는 24시간 처리한 이후에 $GA_3$ $400mg{\cdot}L^{-1}$를 처리했을 때 휴면 상태의 무늬둥굴레에서 각각 70%와 86.7%의 휴면타파 결과를 얻을 수 있었다. 그리고 대조구나 지베렐린의 관주처리에 비하여 물리적인 처리 이후 지베렐린을 처리했을 때 엽수가 더 많았다. 이와 같은 결과는 지베렐린을 효과적으로 처리하면 무늬둥굴레의 휴면을 효율적으로 타파시켜서 절엽의 주년생산에 기여할 수 있음을 알 수 있었다.

알루미늄 폐드로스를 활용한 SCR 탈질촉매 제조 및 특성평가 (Characteristic Evaluation of SCR catalyst using Aluminum dross)

  • 배민아;김홍대;이만식
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제14권10호
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    • pp.4672-4678
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    • 2013
  • 알루미늄 금속이 용해될 시 대기와 접촉한 용탕 표면에서 생성되는 알루미늄 드로스는 알루미늄 생산 공정에서 발생되는 필수적인 부산물이다. 그러나 알루미늄 드로스의 대부분은 매립에 의한 처리가 이루어지고 있어 환경오염의 원인이 되고 있다. 본 연구에서는 알루미늄 드로스를 재자원화 하여 SCR(Selective Catalytic Reduction) 촉매의 담체에 일부 대체하는 연구를 진행하였다. 재활용 된 알루미늄 드로스를 촉매 원료 $WO_3$, $V_2O_5$, $TiO_2$와 혼합하여 $V_2O_5-WO_3/TiO_2-Al_2O_3$ SCR촉매를 제조하였다. 제조 된 $V_2O_5-WO_3/TiO_2-Al_2O_3$ SCR촉매는 XRD, XRF, BET 분석을 통해 특성평가를 진행 하였으며, 내구성 평가를 통해 $Al_2O_3$ 함량이 증가할수록 V$V_2O_5-WO_3/TiO_2-Al_2O_3$ SCR촉매의 강도가 증가하는 것을 확인 할 수 있었다. MR(Micro-Reactor)을 이용한 촉매 활성평가를 진행하여 촉매의 실사용 온도 $350^{\circ}C{\sim}400^{\circ}C$에서 90%이상의 촉매효율을 나타내었다.

후경골 동맥 유리 피판에 의한 수부 전기 화상의 재건 (Reconstruction of Electrical Burned Hand by Posterior Tibial Arterial Free Flap)

  • 최수중;서은민;이창주;장준동;김석우;이상훈;이동훈;서영진
    • Archives of Reconstructive Microsurgery
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    • 제13권1호
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    • pp.14-23
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    • 2004
  • Introduction: The hand and wrist are particularly susceptible to electrical burn. Skin defect with damage or exposure of underlying vital structure requires coverage by skin flap especially in case of the need for late reconstruction. We are reporting 4 cases of electrical burned hand treated by posterior tibial arterial free flap. The commonly used skin flaps such as scapular flap or groin flap are too bulky so that they are not satisfactory in function and cosmetic appearance. So we tried to cover them with a more thin skin flap. Materials and Method: From January 2002 to June 2003, four cases of hand and wrist electrical burn were covered using posterior tibial arterial free flap. All the cases were due to high voltage electrical burn. Age ranged from 31 years to 38 years old and all the cases were male patients. Recipient sites were 2 wrist, one thenar area and one knuckle of 2.3rd MP joint. Additional procedures were flexor tenolysis (simultaneous), FPL tenolysis and digital nerve graft (later) and extensor tendon reconstruction (later). Result: All the flap have survived totally without any complication including circulatory concern about the donar foot. Posterior tibail arterial free flap was so thin that debulking procedure was not required. Conclusion: For skin coverage of the hand & wrist region, posterior tibial arterial free flap have many advantages such as reliable anatomy, easy dissection and easy anastmosis with radial or ulnar artery and possibility of sensory flap. The most helpful advantage for hand coverage is its thinness. So we think this flap is one of the very useful armamentarium for reconstructive hand surgery.

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레진 강선 고정을 이용한 유전치 치근 파절의 보존적 치료 : 증례 보고 (CONSERVATIVE TREATMENT OF INTRA-ALVEOLAR ROOT FRACTURE OF PRIMARY INCISORS USING RESIN WIRE SPLINT : CASE REPORT)

  • 정지현;박재홍;김광철;최영철;최성철
    • 대한소아치과학회지
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    • 제40권1호
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    • pp.53-59
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    • 2013
  • 유치 치근 파절의 치료는 정기 검진을 통해 관찰하거나 발치를 권유하고 있다. 특히 심한 동요도와 변위가 있는 경우 영구치 손상 가능성과 흡인의 위험성 때문에 주로 발치를 시행한다. 하지만 최근 재위치와 고정을 통한 보존적 치료가 새롭게 제시되고 있다. 이른 시기의 유전치 발치는 심미적 문제, 발음 저작 등의 기능적 문제, 공간 소실, 환아와 보호자의 심리 사회적인 문제 등 여러 가지 문제점들을 야기하므로 치근 파절된 유치를 유지하는 것만큼 좋은 치료는 없다. 이 증례 보고는 치근 파절을 보이는 두 증례의 진단, 치료, 평균 27개월의 정기 검진 자료를 토대로 심한 동요도와 변위가 있는 유치 치근 파절의 보존적인 치료 가능성을 제시하고자 하였다. 두 증례에서 발치 대신 재위치와 장기간의 레진 강선 고정을 시행하였고, 후속 영구치가 맹출 할 때까지 정기검진을 시행하였다. 정기검진과정 중에 동통, 치수괴사, 감염, 영구치 치배 변위, 맹출 이상 등의 부작용은 나타나지 않았다.

PS 강봉으로 일체화된 강합성 라멘교의 거더-교대 접합부에 대한 피로 성능 평가 (Fatigue Capacity Evaluation of the Girder-Abutment Connection for the Steel-Concrete Composite Rigid-Frame Bridge Integrated with PS Bar)

  • 안영수;오민호;정지승;이상윤
    • 콘크리트학회논문집
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    • 제24권3호
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    • pp.249-258
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    • 2012
  • 교대 일체식 교량과 강합성 라멘교는 유지보수의 주된 원인이 되는 신축이음 및 받침이 생략되어 유지관리 및 구조적인 장점을 얻을 수 있는 교량 형식이다. 하지만, 통상적으로 거더를 교대에 매립하는 형태로 시공되는 접합부는 시공상세가 복잡하고 접합부의 시공상세를 간략화하여 시공효율을 향상시킨 새로운 교량 형식을 제안하였다. 제안된 형식의 교량은 PS 강봉에 긴장력을 도입하여 강재로 제작된 거더와 교대를 일체화하는 형태의 교량이다. 이 연구에서는 PS 강봉으로 일체화된 접합부의 피로 성능을 평가하기 위하여 접합부에 대한 유한요소해석 및 피로실험을 실시하였다. 유한요소해석 결과, 제안된 교량의 접합부는 기본적으로 피로에 의한 손상의 가능성이 매우 낮은 것으로 나타났으며, 피로시험 결과로부터 2,000,000회의 피로반복하중이 재하된 상태에서도 접합부의 일체화 성능을 유지하고 있는 것을 확인할 수 있었다.

조강형 AE감수제를 사용한 콘크리트의 강도발현 특성 (Characteristics of concrete intensity using high early strength AE water reducing agent)

  • 김정태;이승한;장석수;정용욱;여인동
    • 한국콘크리트학회:학술대회논문집
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    • 한국콘크리트학회 2008년도 춘계 학술발표회 제20권1호
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    • pp.793-796
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    • 2008
  • 최근 콘크리트 구조물 공사에서는 공기단축을 통한 경제성 확보와 동절기 초기동해방지를 위하여 콘크리트의 조기강도 발현을 요구되고 있다. 이에 본 연구에서는 조강형 AE감수제의 종류별 단위시멘트량과 양생온도 조건에 따른 압축강도발현 특성, 공기량 및 슬럼프 등의 경시변화를 검토하여 재령 24시간에 거푸집 조기 제거가 가능한 압축강도 5MPa을 발현시킬 수 있는 최적 조건을 제시하고자 하였다. 실험결과, 온도 $15^{\circ}C$에서 거푸집조기 제거가 가능한 압축강도 5MPa 발현 시간은 조강형 나프탈렌계 감수제를 사용한 경우 단위시멘트량 $330kg/m^3$에서 표준형 감수제에 비하여 10시간 빠른 22시간, $360kg/m^3$에서는 7시간 빠른 20시간, $390kg/m^3$에서는 4시간 빠른 18시간으로 나타났다. 또한 온도 $5^{\circ}C$에서는 조강형 나프탈렌계 감수제를 사용한 경우 단위시멘트량 $330kg/m^3$에서 표준형 감수제에 비하여 10시간 빠른 32시간, $360kg/m^3$에서는 7시간 빠른 30시간, $390kg/m^3$에서는 4시간 빠른 27시간으로 나타났다. 따라서 양생온도가 $10^{\circ}C$ 높아짐에 따라 압축강도 5MPa 도달시간은 10시간이 단축되었다.

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Air abrasive technique을 이용한 복합레진 수복 증례 (TREATMENT OF COMPOSITE RESIN RESTORATION WITH THE AIR ABRASIVE TECHNIQUE)

  • 이창우;장기택;이상훈;한세현
    • 대한소아치과학회지
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    • 제24권4호
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    • pp.763-770
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    • 1997
  • The air abrasive technique is a non-mechanical method by which teeth are treated before restoration and stains and calculi are removed from tooth surfaces using the kinetic energy of small particles. The air abrasive technique in dentistry was first introduced in the 1950's with as instrument called 'Airdent'. But, as the main restorative materials of the period were amalgam and gold, and the instrument's inability to control the flow of particles caused the particles to be spread throughout the clinics, widespread use was not possible. In the 1990's, as these techincal problems were solved and more interest in new restorative materials rose in an effort to preserve sound tooth structure, new developements took place in instruments related to the air abrasive technique. The air abrasive technique produces less pressure, vibration and heat that might cause patient discomfort and facilitates the preservation of sound tooth structure. It also reduces the need for anesthesia and is less harmful to the pulp. Other advantages include increase in dentin bonding strength of composite resin, lower possibility of saliva contamination and maintenance of a dry field. But there is not direct contact between the nozzle and the tooth, the operator cannot use his or her tactile sense and must rely solely upon visual input. Other disadvantages are: the tooth preparation depends on the operator's ability; alpha-alumina particles, after bouncing off the tooth surface, cause damage to dental mirrors; the equipment is expensive and takes up a certain amount of space in the clinic. The author conducted case report using the air abrasive technique on patient visiting the Department of Pediatric Dentistry at Seoul National University Dental Hospital and arrived at the following conclusions. 1. The tooth preparation capability of different air abrasive devices varied widely among manufacturers. 2. It was more effective in treating early caries lesions and stains compared to lesions where caries had already progressed to produce soft dentin. 3. The cold stream and noise caused by the evacuation system was a major cause of discomfort to pediatric patients. 4. As there is no direct contact with tooth surface when using the air abrasive technique for tooth preparation, considerable experience and skill is required for proper tooth preparation.

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초음파와 LED를 이용한 일체형암세포 증식억제 모듈의 기초연구 (Basic study on proliferation control of cancer cells using combined ultrasound and LED therapeutic module)

  • 조경래;최세운
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제22권8호
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    • pp.1107-1113
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    • 2018
  • 최근 들어 초음파를 활용한 항암 치료법은 미세한 기포 또는 조영제를 환자에게 주입한 후 특정 주파수의 초음파를 발생시켜 세포의 괴사를 유도하는 치료법으로서, 항암치료 중 발생가능한 부작용을 현저히 감소시킬 수 있는 유용한 치료법으로 제안되고 있다. 이는 정기적인 세포의 사멸은 세포의 손상과 관계없이 필수적인 생물학적 프로세스이며, 초음파는 이러한 세포의 사멸을 유도 또는 증폭시키는 효과가 있기 때문으로 알려져 왔다. 한편, 광 역학 치료는 광원의 고유한 파장에 따라 반응하는 광감응제 등과 같은 화합물을 추가적으로 인체에 주입함으로써 특정 암세포의 괴사 유도가 가능하며 이를 위해 다양한 종류의 레이저 사용이 가능하다. 하지만, 고가의 광원과 대형화된 장비, 광원의 자극으로 인한 발열 현상 등의 한계로 제한적인 사용이 가능하여왔다. 이러한 기술적 한계는 소형 발광 다이오드가 개발됨에 따라 광 역학 치료 장비의 소형화와 발열현상의 제어가 가능하게 되었고, 그 결과 발광 다이오드는 레이저의 대체광원으로 인식되었다. 따라서, 본 논문에서는 의료용으로 광범위하게 사용되며, 부작용이 적고, 비교적 저주파인 1 MHz 초음파 발생장치와 저렴한 발광다이오드를 복합적으로 융합한 일체형 암세포 증식억제 모듈을 개발하고 이를 암세포에 적용시켜 효과를 정량적으로 분석하고자 한다.