• 한국재료학회지
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• 제8권9호
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• pp.837-842
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• 1998

ULSI급 소자의 집적도가 높아짐에 따라 공정의 신뢰도 및 수율 향상을 위한 세정 방법에 대한 관심이 더욱 높아지고 있다. 그중 가장 관심을 집중시키는 분야는 구리나 철과 같은 금속불순물의 제거에 관한 것이다. 본 연구에서는 금속 불순물 중 실제 공정에서 잘 오염되는 것으로 알려진 구리와 철 불순물을 인위적으로 오염시킨 후 $\textrm{H}_2\textrm{O}_2$와 HF의 혼합용액과 UV/$\textrm{O}_3$과 HF처리의 조합을 이용한 세정 방법을 이용하여 금속불순물을 제거하였다. 세정후 제정효과는 TXRF를 이용하여 측정하였고 Si 기판의 표면 거칠기를 AFM을 이용하여 측정하였다. 또한 금속 불순물의 흡착형태와 흡착기구 등을 SEM을 이용해 관찰하였고 AES를 이용하여 화학적 성분 분석을 실시하였다. 실험 결과 인위적 오염 후 구리의 오염도는 $\textrm{10}^{14}$ atoms/$\textrm{cm}^2$이었으며 각각의 세정을 통하여 $\textrm{10}^{10}$ atoms/$\textrm{cm}^2$으로 감소되었으며 반복된 세정으로 더욱 우수한 세정효과와 표면 거칠기의 개선 효과를 얻을 수 있었다. 구리는 박막의 형태가 아닌 구형의 입자 형태로 화학적 흡착에 의해 오염되는 것으로 관찰되었다. 철의 경우는 오염도가 $\textrm{10}^{13}$ atoms/$\textrm{cm}^2$ 이며 세정효과는 구리의 경우와 유사한 결과를 보여주었다. 철 불순물은 물리적 흡착에 의해 Si 표면에 오염되는 것으로 보이며 역시 구형의 입자형태로 표면에 흡착하는 것으로 관찰되었다.

• Ocean Science Journal
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• 제41권1호
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• pp.43-51
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• 2006

Concentration and distribution of Fe, Zn, Cu, Cd, Mn, Pb, Ni among subcellular fractions (cellular membrane structures and cytosol) and Zn, Cu, Cd among cytoplasmic proteins in the kidney and digestive gland of mussel Modiolus modiolus living along a polymetallic concentration gradient were studied. It was found in the kidney of M. modiolus from contaminated sites that the Fe percent increased in the "membrane" fraction, whereas Zn, Pb, Ni and Mn percent increased in the cytosol compared to the kidney of the control mussel. Note kidney cytosol of M. modiolus from clean and contaminated sites sequestered major parts of Cu and Cd. In the digestive gland of M. modiolus from contaminated sites Fe, Zn, Cd, Mn, Ni percent increased in the "membrane" fraction, whereas Cu, Pb percent increased in the cytosol compared to digestive gland of control mussel. Gel-filtration chromatography shows kidney of M. modiolus contains increased metallothionein-like protein levels irrespective of ambient dissolved metal concentrations. It was shown that the metal detoxification system in the kidney and digestive gland of M. modiolus was efficient under extremely high ambient metal levels. However, under complex environmental contamination in the kidney of M. modiolus, the metal detoxification capacity of metallothionein-like proteins was damaged.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제21권4호
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• pp.111-115
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• 2014

다마신 구리 배선에서의 동적인 전기장에 따른 절연체 파괴거동을 연구하였다. DC, 단극성, 및 이극성 펄스 조건 중에서 절연체의 수명은 이극성 펄스 조건에서 가장 길었다. DC 및 단극성 펄스 조건에서는 절연체에 가해지는 전기장의 방향이 바뀌지 않지만 이극성 펄스 조건에서는 전기장의 방향이 반복적으로 180도 바뀌기 때문에, 이극성 펄스 조건에서는 절연체의 구리오염이 억제되고, 이로 인해서 절연체 수명이 이극성 펄스 조건에서 가장 긴 것으로 판단된다. 단극성 펄스 조건에서 펄스 주파수가 커질수록 DC 조건보다 절연체의 수명이 증가하였다. 이는 절연체 수명에 구리오염 뿐만 아니라 내재적인 절연파괴현상이 상당한 영향을 미치며, 절연체 분자결합파괴가 일어날 확률은 펄스 폭이 좁아질수록 감소한다고 판단된다.

• 자원환경지질
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• 제37권3호
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• pp.311-324
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• 2004

전라남도 보성강에 축조된 주암댐의 집수유역 내 하상퇴적물을 대상으로 중금속의 오염현황과 거동 특성을 알아보았다. 주암댐의 집수유역에는 많은 폐금속 및 탄광이 위치하고 있어 주암댐 호저퇴적물에 잠재적인 오염원으로 작용할 수 있다. 집수유역 내 하상퇴적물의 중금속 함량(Cr, Cu, Ni, Pb, Zn)은 매우 낮기 때문에 주암댐의 호저퇴적물에 영향을 줄 것으로 판단되지 않는다. 하지만 폐금속광산지역 내 하상퇴적물의 Pb 함량은 하류로 갈수록 증가하는 경향을 보여, Pb의 오염 확산이 우려된다. 폐금속광산의 환경을 고려한 강산성 조건의 용출실험결과, 하상퇴적물의 용출비로부터 결정된 중금속의 상대적 이동도는 Pb＞Zn=Cu＞Ni＞Cr으로서, Pb이 주암댐 호저퇴적물에 영향을 미치는 원소가 될 수 있음을 지시해준다. 한편 댐으로 유입한 퇴적물이 호저에 놓이게 되면(즉, 환원환경), Pb의 이동도가 비교적 높게 나타나 물-퇴적물 경계에서 Pb의 수중으로 재용출될 수 있다.

• 한국지하수토양환경학회지:지하수토양환경
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• 제8권2호
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• pp.19-35
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• 2003

In order 새 investigate the spatial and seasonal variations of heavy metal pollution in heavily industrialized urban area, urban roadside sediments were collected for five years from gully pots in Seoul City. A series of studies have been carried out concerning the physicochemical characteristics of the sediments in order to evaluate the contamination of heavy metals such as Cd, Co, Cr, Cu, Ni, Pb and Zn. Roadside sediments and uncontaminated stream sediments were analyzed for total metal concentrations using acid extraction. The roadside sediments are characterized by very high concentrations of Zn (2,665.0$\pm$1,815.0 $\mu\textrm{g}$/g), Cu (445.6$\pm$708.0 $\mu\textrm{g}$/g), Pb (214.3$\pm$147.9 $\mu\textrm{g}$/g) and Cr (182.1$\pm$268.8 $\mu\textrm{g}$/g), indicating an artificial accumulation of these metals to the sediment chemistry. Comparing with average contents of uncontaminated stream sediments, roadside sediments were shown zinc 14 times (up to 64.4), copper 9 times (up to 181.7), lead 6 times (up to 63.7), cobalt 6 times (up to 168.7), nickel 4 times (up to 98.4), cadmium 2 times (up to 12.8) and chrome 2 times (up to 40.2) high content. The relative degree of heavy metal pollution for roadside sediments collected from each district in Seoul City is evaluated using the “geoaccumulation index”. As a result, heavy-metal contamination is highest centering the oldest residential district and industry area, and contamination level decreases as go to outer block of the city. The factor analysis results indicate that the levels of Cu, Ni, Fe and Cr are strongly related to numbers of factories, whereas the concentrations of Cr, Zn and Cd dependant on pollution index, indicating artificial contamination due to site-specific traffic density.

• 한국지하수토양환경학회:학술대회논문집
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• 한국지하수토양환경학회 2000년도 추계학술대회
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• pp.129-135
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• 2000

Four types of land use were selected for sampling and study with different characteristics of heavy metal contamination during the period from August 1998 to June 2000. A series of studies have been carried out concerning the physicochemical characteristics of the sediments settling down in a gully pot to evaluate the contamination of Pb, Zn, Cd, Co, Cr and Cu. An examination of six elements indicated that Zn, Cu and Pb were the heavy metals severely impacted by anthropogenic input in Seoul. An assessment of 60 volatile organic compounds (VOCs) in urban runoff and ground water was conducted based on samples collected from 31 sites and 12 wells, respectively, in Seoul City. The higher levels of alkyl benzenes in urban runoff indicated that Seoul areas were mainly contaminated through traffic sources.

• 환경영향평가
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• 제19권5호
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• pp.497-510
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• 2010

Considering to the geochemical behaviors and environmental changes of bottom sediments in streams, Gwangju metropolitan city, this study focuses to analyses on grain sizes, metal elements and organic carbons in sediment samples from Yeongsan and Hwangryong rivers, and Gwangju stream. In the sediments, contents of Cu, Zn, Pb, P and TOC were highly variable, in the case of Gwangju stream particularly. Yenogsan and Hwangryong rivers are influenced by grain sizes and surrounding geological settings and Gwangju stream is connected to organic matters related to life fouls and so forth, with respect to the geochemical behaviorof bottom sediments. Li, Zn, Pb and Cu were enriched in Yeongsan and Hwangryong rivers and Li, Cu, Zn, Pb and P enriched in Gwangju stream, respectively. In the heavy metal contamination of above drainages, the site mutually connected Seobang(GJ 4) with Donggye(GJ 7) streams shows the highest values, in peculiar. It is inferred that those contamination values are mainly related with urban foul waters in the city.

• Radiation Oncology Journal
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• 제15권2호
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• pp.159-165
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• 1997

목적 : 광자선과 블록을 얻는 트레이와의 상호작용에 의해 생성된 2차 전자는 피하층에 과도 한 선량증가의 원인이 된다. 이런 전자오염으로 인한 표면선량을 감소시키기 위해 트레이 아래 전자필터를 부착하는 것이 유용하다. 대상 및 방법 :두께가 다른 Cu판, Al판 그리고 Cu/Al 복합판을 사용하여 전자오염에 의한 표면선량을 감소시키는 효과를 측정하였다. 최적의 필터를 찾기 위해서 $10m\times10cm$ 조사야와 SSD 78.5cm의 기하학적 모형으로 표면에서부터 최대선량 지점까지 2mm 간격으로 흡수선량을 측정하였다. 최적필터의 조사야 의존성을 구하기 위해서 $4cm\times4cm$에서부터 $25cm\times25cm$까지 조사면적을 변화시켜가며 흡수선량을 측정하였다 결과 : 표면선량은 조사면적을 증가시키면 서서히 증가하였고 $15cm\times15cm$ 조사면적 이상에 서는 표면선량이 급속히 증가하였다. Al판을 사용했을 경우 표면선량이 최대선량 지점의 선량보다 낮게 유지되지 않으므로 Al판은 전자필터로는 부적합하였으며 0.5mm Cu판과 Cu/Al=0.28mm/1.5mm 복합판이 최적 전자필터로 결정되었다. 두가지 최적필터의 경우 $4cm\times4cm$ 조사면에서는 표면선량을 $5.5\%$(tray 사용할때 표면선량에서 filter 사용할때 표면선량을 뺀 것) 낮출 수 있었고 $10cm\times10cm$에서는 $11.3\%,\;25cm\times25cm$에서는 $21.3\%$로 낮출 수 있었다. 결론 : 전자오염에 기인한 표면선량은 조사면적에 의존하였고 트레이를 설치했을때 표면의 전자오염은 많았고 특히 조사면적이 클 때 표면의 전자오염은 더욱 증가하였다 표면 및 build-up영역의 선량 특성을 측정한 결과 0.5mm Cu판과 Cu/Al=0.28mm/1.5mm 복합판이 최적 필터로 결정되었다. 트레이 밑에 최적 필터를 부착하면 표면선량을 유효하게 감소시킬 수 있었고 필터의 효과는 조사면적이 클 때 더욱 좋았다.

• 한국환경과학회지
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• 제7권3호
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• pp.281-290
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• 1998

Thirty-eight sediment samples collected from the Youngsan River channel were analysed for Fe, Mn, Co, Cr, Cu, Nl, Zn and Pb to recognize the extent of contamination. Results showed that a wide range of contents was apparent far every metal over the study area. These differences have been mainly related to the textural variability of sediments. Exceptions to this were fecund in the contents of Cu, Zn, Pb and possibly Mn. The contents of Cu, Zn, Pb and Mn were particularly higher in the sediments loom the confluence of tributaries. Downstream profile of metal/Al ratios indicates that pollutant inputs from the Kwangju tributary are mainly responsible for enrichment of these metals in bed sediments of the Young-san River.

• 한국물환경학회지
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• 제24권4호
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• pp.407-414
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• 2008

This study was conducted to evaluate the heavy metal contamination in the soils of Maehyang-ri inland shooting range area. The texture of the Maehyang-ri inland shooting range soil was sandy. Extraction of heavy metals reached quasi-equilibrium within 6 hours using shaking with 0.1 N HCl. 95% and 94% of extraction efficiency was observed for Cu and Pb in the Maehyang-ri shooting range soils, respectively. And Cu and Pb contamination of level of the T-1 region soil was $114.4{\pm}5.7mg/kg$ and $362.3{\pm}20.5mg/kg$. This may be due to the effects of mineralogical factor, soil particle size and un-residual fractions such as exchangeable, carbonate, Fe-Mn oxide and organic+sulfide.