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고전압 전력반도체 소자 개발을 위한 단위공정에서 식각공정과 이온주입공정의 영향 분석 (Analysis of the Effect of the Etching Process and Ion Injection Process in the Unit Process for the Development of High Voltage Power Semiconductor Devices)

  • 최규철;김경범;김봉환;김종민;장상목
    • 청정기술
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    • 제29권4호
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    • pp.255-261
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    • 2023
  • 파워반도체는 전력의 변환, 변압, 분배 및 전력제어 등을 감당하는데 사용되는 반도체이다. 최근 세계적으로 고전압 파워반도체의 수요는 다양한 산업분야에 걸쳐 증가하고 있는 추세이며 해당 산업에서는 고전압 IGBT 부품의 최적화 연구가 절실한 상황이다. 고전압 IGBT개발을 위해서 wafer의 저항값 설정과 주요 단위공정의 최적화가 완성칩의 전기적특성에 큰 변수가 되며 높은 항복전압(breakdown voltage) 지지를 위한 공정 및 최적화 기술 확보가 중요하다. 식각공정은 포토리소그래피공정에서 마스크회로의 패턴을 wafer에 옮기고, 감광막의 하부에 있는 불필요한부분을 제거하는 공정이고, 이온주입공정은 반도체의 제조공정 중 열확산기술과 더불어 웨이퍼 기판내부로 불순물을 주입하여 일정한 전도성을 갖게 하는 과정이다. 본 연구에서는 IGBT의 3.3 kV 항복전압을 지지하는 ring 구조형성의 중요한 공정인 field ring 식각실험에서 건식식각과 습식식각을 조절해 4가지 조건으로 나누어 분석하고 항복전압확보를 위한 안정적인 바디junction 깊이형성을 최적화하기 위하여 TEG 설계를 기초로 field ring 이온주입공정을 4가지 조건으로 나누어 분석한 결과 식각공정에서 습식 식각 1스텝 방식이 공정 및 작업 효율성 측면에서 유리하며 링패턴 이온주입조건은 도핑농도 9.0E13과 에너지 120 keV로, p-이온주입 조건은 도핑농도 6.5E13과 에너지 80 keV로, p+ 이온주입 조건은 도핑농도 3.0E15와 에너지 160 keV로 최적화할 수 있었다.

쇼핑 웹사이트 탐색 유형과 방문 패턴 분석 (Analysis of shopping website visit types and shopping pattern)

  • 최경빈;남기환
    • 지능정보연구
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    • 제25권1호
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    • pp.85-107
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    • 2019
  • 온라인 소비자는 쇼핑 웹사이트에서 특정 제품군이나 브랜드에 속한 제품들을 둘러보고 구매를 진행할 수 있고, 혹은 단순히 넓은 범위의 탐색 반경을 보이며 여러 페이지들을 돌아보다 구매를 진행하지 않고 이탈할 수 있다. 이러한 온라인 소비자의 행동과 구매에 관련된 연구는 꾸준히 진행되어왔으며, 실무에서도 소비자들의 행동 데이터를 바탕으로 한 서비스 및 어플리케이션이 개발되고 있다. 최근에는 빅데이터 기술의 발달로 소비자 개인 단위의 맞춤화 전략 및 추천 시스템이 활용되고 있으며 사용자의 쇼핑 경험을 최적화하기 위한 시도가 진행되고 있다. 하지만 이와 같은 시도에도 온라인 소비자가 실제로 웹사이트를 방문해 제품 구매 단계까지 전환될 확률은 매우 낮은 실정이다. 이는 온라인 소비자들이 단지 제품 구매를 위해 웹사이트를 방문하는 것이 아니라 그들의 쇼핑 동기 및 목적에 따라 웹사이트를 다르게 활용하고 탐색하기 때문이다. 따라서 단지 구매가 진행되는 방문 외에도 다양한 방문 형태를 분석하는 것은 온라인 소비자들의 행동을 이해하는데 중요하다고 할 수 있다. 이러한 관점에서 본 연구에서는 온라인 소비자의 탐색 행동의 다양성과 복잡성을 설명하기 위해 실제 E-commerce 기업의 클릭스트림 데이터를 기반으로 세션 단위의 클러스터링 분석을 진행해 탐색 행동을 유형화하였다. 이를 통해 각 유형별로 상세 단위의 탐색 행동과 구매 여부가 차이가 있음을 확인하였다. 또한 소비자 개인이 여러 방문에 걸친 일련의 탐색 유형에 대한 패턴을 분석하기 위해 순차 패턴 마이닝 기법을 활용하였으며, 같은 기간 내에 제품 구매까지 완료한 소비자와 구매를 진행하지 않은 채 방문만 진행한 소비자들의 탐색패턴에 대한 차이를 확인할 수 있었다. 본 연구의 시사점은 대규모의 클릭스트림 데이터를 활용해 온라인 소비자의 탐색 유형을 분석하고 이에 대한 패턴을 분석해 구매 과정 상의 행동을 데이터 기반으로 설명하였다는 점에 있다. 또한 온라인 소매 기업은 다양한 형태의 탐색 유형에 맞는 마케팅 전략 및 추천을 통해 구매 전환 개선을 시도할 수 있으며, 소비자의 탐색 패턴의 변화를 통해 전략의 효과를 평가할 수 있을 것이다.

피조개의 먹이와 성장 (THE FOOD AND GROWTH OF THE LARVAE OF THE ARK SHELL ANADARA BROUGHTONI SCHRENCK)

  • 유성규
    • 한국수산과학회지
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    • 제2권2호
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    • pp.147-154
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    • 1969
  • 1968년 8월초순부터 1968년 9월중순까지의 사이에 일본 굴연구소에서 피조개의 유생을 사육한 결과 다음과 같은 것을 밝혔다. 1) 피조개의 알의 크기는 $54.9(53.8\~57.0)\mu $ 내외이고, 수정후 8일경까지 즉 유생의 크기는 각장 $110.8\mu$ 각고 $83.9\mu$ 각폭 $58.2\mu$ 내외가 될 때까지는 먹이를 주지 않더라도 생장하지만, 수정후 2일 즉 D상자패로 되면 곧 투여하는 것이 좋다. 2) 유생이 먹는 먹이의 수는 유생의 크기에 따라 많은 차가 있으나 대체로 각정팽출기인 변태기전후부터 급격히 증가한다. 이것을 식으로 표시하면 다음과 같다. $Y=0.0025161X^{2.76459}$ 3) 먹이를 원심분리한 것과 하지 않은 것을 사용했을때 피조개 유생의 성장이 다른데 각회귀직선의 경사를 검정 한 결과는 유생의 크기가 작은 경우 $99\%$ 신뢰성으로 유의의 차가 있고, 유생의 크기가 큰 경우에는 $95\%$ 신뢰성으로서 유의의 차가 있다. 즉 원심분리한 먹이를 줬을 때가 그렇지 않은 먹이를 줬을 때보다 언제나 유생의 성장이 좋지만 이차는 유생의 크기가 작은 것에서 더욱 현저하다. 4) 피조개의 유생이 부착생활로 들어가는 것은 수정후 28일경인데 이때 유생의 크기는 각장 $261.7\~289.6\mu$, 각고 $191.2\~221.7\mu$, 각폭 $147.6\~170.8\mu$ 내외이다. 5) 피조개 유생의 성장식은 각장 $94.3\mu$부터 $133.9\mu$까지는 Y=85.22857+3.35000X 각장 $141.6\mu$부터 $269.3\mu$까지는 Y=10.83036X-36.05357 각장 $296.8\mu$부터 $373.2\mu$까지는 Y=19.10000X-279.30000 각고 $72.7\mu$부터 $98.7\mu$까지는 Y=67.l1429+2.15714X 각고 $108.4\mu$부터 $206.4\mu$까지는 Y=8.31607X-27.45357 각고 $228.6\mu$부터 $282.1\mu$까지는 Y=173.46700+13.37500X 각폭 $45.3\mu$부터 $77.8\mu$까지는 Y=38.08570+2.73570X 각폭 $87.4\mu$부터 $157.7\mu$까지는 Y=5.77320X-5.99640 각폭 $175.4\mu$부터 $214.0\mu$ 까지는 Y=9.65000X-114.13300등과 같은 회귀직선 또는 각장 $94.3\mu$부터 $373.2\mu$까지는 Y=72.45 $e^{0.04697x}$ 각고 $72.7\mu$부터 $282.1\mu$까지는 Y=54,96 $e^{0.04720x}$ 각폭 $45.3\mu$부터 $214.0\mu$까지는 Y=39.82 $e^{0.04927x}$ 등과 같은 지수곡선으로서도 표시할 수 있다. 6) 상대성장식은 각장 $94.3\mu$ 각고 $72.7\mu$(수정후 2일)부터 각장 $133.9\mu$ 각고 $98.7\mu$(수정후 14일)까지는 Y=12.87780 +0.63817X 각장 $141.6\mu$, 각고 $108.4\mu$(수정후 1난일부터 각장 $269.3\mu$, 각고 $206.4\mu$(수정후 28일)까지는 Y= 0.90220+0.76450X 각장 $296.3\mu$ 각고 $228.6\mu$(수정후 30일)부터 각장 $373.2\mu$, 각고 $282.1\mu$(수정후 34일)까지는 Y= 25.02630+0.69156였고, 한편 각장 $94.3\mu$, 각폭 $45.3\mu$(수정후 2일)부터 곡장 $133.9\mu$, 각폭 $77.8\mu$(수정후 14일)까지는 Y= 0.81373X-31.18914 각장 $141.6\mu$, 곡폭 $87.4\mu$(수정후 16일)부터 각장 $269.3\mu$ 각폭 $157.7\mu$(수정후 28일)까지는 Y= 13.37549+0.53230X 각장 $296.8\mu$, 각폭 $175.4\mu$(수정후 30일)부터 각장 $373.2\mu$ 각폭 $214.0\mu$(수정후 34일)까지는 Y=30.24328+0.49545X 등과 같은 회귀직선으로서 표시할 수 있다.

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