A Study on the Design of the Sensing-assistant Linkage for Compensation of Thermal Drift of Ultra-precision positioning stage (초정밀 위치제어 스테이지의 온도드리프트 보상을 위한 측정보조링크 설계에 대한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2007.06a
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- pp.345-346
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- 2007