디스플레이 세정의 개념은 기존의 반도체 세정인 RCA 세정을 근간으로 하고 있으며, 대면적화와 환경친화적인 관점으로 발전하여 왔다. 본 연구에서는 프베이 도표에 근거하여 전리수를 이용하여 입자를 제거할 수 있음을 예측하고 이를 확인하였다. 이 때 연구 대상으로 MgO 분말을 사용하였다. 사용된 전리수는 산화전위가 800 mV 이상이고 pH가 3.1으로 산화상이 강하였다 전리수에 용해되는 MgO 분말의 무게를 pH에 조사하였으며, 250 ml 전리수에 100-500 microgram 범위로 용해됨을 알 수 있었다. 이는 $1E18 ea/cm^3$정도의 용해 물질을 내포하고 있음을 의미하며, 따라서 $1E15 ea/cm^3$ 정도 수준의 불순물을 다루는 디스플레이 세정에 적용할 수 있음을 알 수 있었다. 특기할 것은 전리수는 반도체의 기판인 실리콘 웨이퍼의 자연산화막을 식각하여 표면거칠기를 증가시킴을 처음으로 관찰하였다.
리모트 수소 플라즈마를 이용하여 Si 기판 위의 구리 오염의 제거 효과에 관하여 조사하였다. 최적의 공정 조건을 찾기 위하여 Si 기판을 1ppm ${CuCI}_{2}$ 표준 화학 용액으로 인위적으로 오염시킨 후 rf power와 세정시간, 거리 (수소플라즈마 중심에서 Si 기판표면까지의 거리)등의 공정 변수를 변화시키며 리모트 수소 플라즈마 세정을 실시하였다. 리모트 수소 플라즈마 세정 후 Si 표면의 분석을 위하여 TXRF(total x-ray reflection fluorescence)와 AFM(atomic force microscope)측정을 실시하였다. 리모트 수소 플라즈마 세정이 Cu의 제거에 효과적이며 Si 표면의 거칠기에 나쁜 영향을 주지 않음을 TXRF와 AFM 분석결과로부터 알 수 있었다. Cu 불순물의 흡착 메커니즘은 산화 환원 전위 이론으로 설명될 수 있으며, Cu 불순물의 제거 메커니즘은 XPS(x-ray photoelectron spectroscopy)분석결과를 근거로 하여 다음과 같이 설명할 수 있다. :먼저 Cu 이온이 Si 표면에 흡착되어 화학적 산화막을 생성한다. 그 다음, 수소 플라즈마 중의 반응성이 강한 수소이온이 이 산화막을 분해시켜 제거하며 Cu 불순물은 산화막이 제거될 때 함께 제거된다.
In this paper, the automatic device for measuring the salt contamination on insulators was developed. The device consists of electronic insulators, measuring system, monitoring system, and printer. It was shown that the level of salt contamination measured by the developed device is similar to that measured by the brush cleaning method. Therefore, the developed automatic measuring device can be used in field, in order to predict the cleaning time of insulators and prevent the failure due to the salt contamination.
Advances in computer and sensor technology have made it possible to obtain superlarge manufacturing process data in real time, letting us to extract meaningful information from these superlarge data sets. We propose a systematic data analysis procedure which field engineers can apply easily to manufacture quality products. The procedure consists of data cleaning and data analysis stages. Data cleaning stage is to construct a database suitable for statistical analysis from the original superlarge manufacturing process data. In the data analysis stage, we suggest a graphical easy-to-implement approach to extract practical information from the cleaned database. This study will help manufacturing companies to achieve six sigma quality.
The 21 livestock farms considering future installation of biogas systems were studied. These farms were examined how to raise the livestock, to treat manure, to operate facility with respect to manure characteristics. The 15 farms out of 21 farms have applied to the marine dumping and consignment treatment for treating manure and even farms which have equipped liquid fertilizing system have less capacity facility than legal standards. Characteristics of manure were affected by the scale of swine barn, clean water usage, frequency of cleaning, cleaning method, feces-urine separating method, etc. Retention time in storage (over 20 days) has resulted in lower concentration of organic matter which could reduce biogas production. This indicates that systematic barn management system is required. Inhibition tests showed that disinfectant and citric acid did not affected digestion rates at 10 times higher concentration than recommendation. However hypochlorous acid is likely to affect the anaerobic microbial activity.
A natural dye aqueous walnut shell extract was obtained by extraction of walnut shell using water at various conditions in this study. Silk fabrics were dyed at various dyeing and mordanting conditions using walnut shell extract and various mordants (Al, Cu, Fe ions). Studies have been made on the effects of dyeing and mordanting conditions on the dyeing properties and fastness (light, water and dry cleaning fastness) of dyed silk Fabric. The results obtained in this study were as follows;. The dye content in the walnut shell extract increased with increasing extraction temperature to 90℃ and extraction time to 120min, and thereafter the dye content decreased a little. The dry cleaning and water fastness of non-mordanted silk fabrics were better than those of mordanted silk fabrics.
It is important in dentistry that the provisional cement should be cleaned thoroughly from the crown before definitive cementation. The provisional cement has been removed by physical means such as curette, scaler, pumice, or sand-blasting with alumina particles, which is time-consuming, irritating, tedious, even causing crack. To avoid such troubles occurring through such physical cleaning means, the chemical solutions for dissolving the provisional cement remaining in dental crown were prepared, and solubilizing power of the solutions was measured and compared. The solution composed of MEA, NaOH, chloride chemicals ($CHCl_3$, $CCl_4$, $CH_2Cl_2$), surfactants (Igepal, Tween20), chelating agent (EDTA), and Ethyl cellosolve was most effective for dissolving the provisional cement.
The purpose of this study is to investigate surface color change and effects of mordants on the K/S values of silk and wool fabrics dyed with Lac extract, according to the mordanting methods and conditions such as temperature, concentration and time of the mordanting bath. The results were as follow; 1 K/S values of the silk and wool fabrics according to the temperature of the mordanting bath were shown a slight decline beyond 40$^{\circ}C$. 2. Surface color of the silk changed from red to reddish purple and that of the wool showed red tone when mordanted with Aluminum postassium sulfate, Copper acetate and Copper (II) sulfate regardless of the mordanting conditions. 3. The light and dry cleaning fastness of silk and wool fabrics dyed with Lac extract according to the mordanting methods were very good.
According to the advantageous features of flash memory, its exploitation and application in mobile and ubiquitous related devices as well as voluminous storage devices is being increased rapidly. The inherent properties that are determined by configuration of flash memory unit might restrict the promising expansion in its utilization. In this paper, we study policies based on threshold values, instead of using global search, in order to satisfy our objective that is to decrease the necessary processing cost or penalty for recycling of flash memory space at the same time minimizing the potential degradation of performance. The proposed cleaning methods create partitions of candidate memory regions, to be reclaimed as free, by utilizing global or dynamic threshold values. The impact of the proposed policies is evaluated through a number of experiments, the composition of the optimal configuration featuring the methods is tested through experiments as well.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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