소형 연소기의 냉각 유로 설계를 위하여 열전달 및 냉각 유로의 구조해석을 수행하였다. 연소기의 고온가스에서의 열전달에 관한 2차원 해석을 수행하여 연소실 벽으로의 열유속을 예측한 다음 이를 3차원 해석을 위한 열경계 조건으로 적용하였다. 위 방법으로 예측한 열 유속은 기존의 경험식과 비교하여 검증하였으며 냉각수의 유량에 둔감한 것으로 판명되어 냉각 조건이 변화하더라도 동일한 열경계 조건을 사용할 수 있었다. 단일 냉각 유로에 대한 3차원 해석을 수행하여 연소실 벽의 최대온도 변화를 예측하였으며 이는 재사용 연소기 개발에 적용될 것이다. 냉각 유로의 정적 구조 해석을 통해 응력 분포와 구조 안전성을 예측하였다.
반도체 디바이스의 집적화로 인하여 약간의 상태변화에 의하여 Chip의 불량이 발생하고 있다. 이로 인하여 일정한 플라즈마 상태를 유지 하는 것이 중요 한데 일정한 플라즈마 상태를 유지하기 위한 조건 중에 중요한 것이 채임버 Wall의 상태에 따른 변화 이다. 반도체 양산 장비에서 채임버 wall 상태를 직접 관찰하기는 어렵기 때문에 OES를 통한 많은 간접 분석방법의 개발이 이루어지고 있다. 본 연구에서는 간접 분석 방법 중 Actinometry 기법을 통하여 wall 상태를 분석하는 내용을 소개 하고 있으며 Argon gas를 통하여 전자온도, EEDF를 그려줄 수 있다는 내용을 담고 있다.
Kim, Jae Young;Kim, Young Jin;Jeon, Jeong Eun;Jeon, Jun Woo;Choi, Beom Soo;Choi, Jeong Won;Hong, Sang Jeen
반도체디스플레이기술학회지
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제21권2호
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pp.38-44
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2022
Plasma density in semiconductor fabrication equipment becomes higher to achieve the improved the throughput of the process, but the increase of surface corrosion of the ceramic coated chamber wall has been observed by the increased plasma density. Plasma chamber wall coating with aerosol deposition prefer to be firm and uniform to prevent the potential creation of particle inside the chamber from the deformation of the coating materials, and the aerosol discharge nozzle is a good control factor for the deposited coating condition. In this paper, we investigated the design of the nozzle of the aerosol deposition to form a high-quality coating film. Computational fluid dynamics (CFD) study was employed to minimize boundary layer effect and shock wave. The degree of expansion, and design of simulation approach was applied to found out the relationship between the divergence angle and nozzle length as the key parameter for the nozzle design. We found that the trade-off tendency between divergence angle and nozzle length through simulation and quantitative analysis, and present the direction of nozzle design that can improve the uniformity of chamber wall coating.
본 연구에서는 단면수리실험으로 다양한 실험파 조건과 유수실 폭(B)을 변화시키면서 유공부 길이(S)와 반사율의 관계를 검토하여 유공 1실인 유공구조물의 정수면 아래 최적 유공부 길이를 제시하였다. 입사파로 불규칙파를 적용함에 따라 최저 반사계수는 상대 유수실 폭($B/L_s$)이 $B/L_s{\approx}0.15$에서 발생하였다. 유공부 길이와 입사파고와의 관계를 고려한 상대 유공부 길이($S/H_s$)는 $S/H_s{\approx}2.5$에서 최저 반사계수를 보였으며, 이는 정수면 아래 유공부 길이가 입사파고의 약 2.5배일때 최적임을 의미하는 것이다.
막냉각량과 작동점의 변화에 따른 축소형 칼로리미터의 열유속 특성을 실험과 해석을 통해 알아보았다. 칼로리미터의 실린더 부분은 8개의 채널로, 노즐부는 11개의 채널로 구성되어 있다. 설계점 연소시험 시 막냉각량이 전체 연료유량의 10.5%일 때 노즐목에서의 열유속은 막냉각이 없을 때보다 약30% 감소하였다. 또한 막냉각이 없을 경우, 고압-고혼합비 조건 연소 시험 시 노즐목에서의 열유속이 설계점 시험 시보다 약 31% 증가함을 보였다.
본 연구에서는 유공부 형상, 상대유수실 폭, 파형경사 등에 따른 유공케이슨의 소파특성을 2차원 및 3차원 실험을 통해 고찰하였다. 파랑이 직각으로 입사하는 경우, 유사한 유공율 조건에서 횡 slit이 종 slit에 비해 반사계수가 약간 작게 계측되었으나 그 차이는 크지 않았다. 그리고 파형경사가 큰 경우가 작은 경우에 비해 약간 낮은 반사계수를 보였다. 경사 입사파 조건에서도 유공율이 유사할 경우, 유공부 형상에 따른 제체 전면의 파고 차이는 거의 발생하지 않았다.
Three-dimensional numerical analysis of the turbulent premixed flame propagation in a constant volume combustion chamber is performed using the KIVA-3V code (Amsden et. al. 1997) by the flame surface density (FSD) model. A simple near-wall boundary condition is eaployed to describe the interaction between turbulent premixed flame and the wall. A mean stretch factor is introduced to include the stretch and curvature effects of turbulence. The results from the FSD model are compared with the experimental results of schlieren photos and pressure measurements. It is found that the burned mass rate and flame propagation by the FSD model are in reasonable agreement with the experimental results. The FSD combustion model proved to be effective for description of turbulent premixed flames.
The purpose of this study is to investigate the flame propagation phenomenon in the combustion chamber of spark-ignition gasoline engine for the idling condition. by means of four ion probes located through the cylinder head, the time intervals for the flame to arrive at the respective probes are read on th visicorder char. As results, the flame is considered to initiate after some ignition delay and to propagate through the central space of combustion chamber with rather constant speed on the order of 25m/sec, and thereafter to be slowed down approaching the wall. Additionally, the retardation of flame in the wall boundary layer could be inferred. The maximum pressure is developed when the flame nearly touches the wall diagonal to the spark plug. And some features of flame propagation are elucidate.
Effect of temperature, pH and soil depth on germination of Dianthus chinensis, Dianthus barbatus, and Perennial pennant were investigated in growth chamber and soil condition at the ratio of 7:3 (natural soil and organic soil) in laboratory condition. the optimum temperature for seed germination was recorded for $20^{\circ}C-\;25^{\circ}C$. Maximum germination was observed for Dianthus barbatus (76%) where as in soil condition Perennial pennant (51%) showed maximum germination at 1 cm soil depth. Similarly, optimum pH for seed germination was at pH 6 in all the species. So in lower pH (at pH4) seed germination was inhibited. Germination of these selected species at different environmental condition help to construct the ecological sound proof wall to mitigate the noise especially in urban areas.
A mathematical model has been developed to describe the turbulent and reversed flow with convective heat transfer in a cylindrical combustion chamber. By using the mathematical model for high temperature flow enables the trends in overall heat transfer rates to be predicted. The model was applied to the design of the combustion chamber. The influences of the size of air inlet and inlet velocity were investigated for process optimization. Through modelling work it is found that the heat transfer rate to the chamber wall may be enhanced by adjusting the air flow and heat transfer pattern through selecting the air inlet condition. Internal plate has less influence to the heat transfer characteristics.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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