$SnCl_4-SbCl_5-H_2O$ 기체혼합물로부터 ATO(Antimony Tin Oxide) 박막의 화학증착에 관한 열역학 및 실험분석
(Thermodynamical and Experimental Analyses of Chemical Vapor Deposition of ATO from SnCl4-SbCl5-H2O Gas Mixture)
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- 한국세라믹학회지
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- 제29권12호
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- pp.990-996
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- 1992