Atomic Layer Deposition of $Bi_2Ti_2O_7$ Thin Films for Capacitor Dielectric Applications
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- 한국세라믹학회:학술대회논문집
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- 한국세라믹학회 2004년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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- pp.81.4-81.4
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- 2004