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비소세포 폐암의 제한된 각도를 이용한 세기변조와 용적변조회전 방사선치료계획의 폐 선량에 관한 연구 (A Study on lung dose of Intensity modulated and volumetric modulated arc therapy plans using restricted angle of Non-small cell lung cancer)

  • 염미숙;이우석;김대섭;백금문
    • 대한방사선치료학회지
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    • 제26권1호
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    • pp.21-28
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    • 2014
  • 목 적 : 비소세포 폐암의 치료용적의 크기가 크거나 폐 용적이 작고, 몸의 정중선(Mid line)에 위치한 경우 척수의 허용선량을 고려한 방사선치료계획에서 폐 선량이 많아지게 되는데, 본 연구는 비소세포 폐암 환자의 3차원입체조형치료(Three dimensional conformal radiotherapy, 3D CRT), 제한된 각도를 이용한 세기변조방사선치료(Intensity modulated radiotherapy, IMRT)와 용적변조회전치료(Volumetric Modulated Arc therapy, VMAT) 치료계획을 각각 적용하여 전체 폐 선량을 비교 및 평가하고자 한다. 대상 및 방법 : TrueBeam STx($Varian^{TM}$, USA) 10 MV 에너지를 이용하여 4명의 환자에 대하여 3D CRT, 제한된 각도를 이용한 IMRT와 VMAT 치료계획을 세우고, 총 선량 66 Gy/30 Fx 처방하였을 때, 선량용적히스토그램(Dose Volume Histogram, DVH)을 이용하여 치료계획용적(Planning Target Volume, PTV), 전체 폐 그리고 척수에 들어가는 선량을 평가하였다. PTV에 대한 처방선량지수(Conformity Index, CI), 선량균질지수(Homogeneity index, HI), 처방선량포함지수(Paddick's Conformity Index, PCI)를 구하고, 폐의 30 Gy 용적($V_{30}$), $V_{20}$, $V_{10}$, $V_5$, 평균선량(Mean dose)을 평가하고, 척수의 최대선량 값을 평가하였다. 결 과 : PTV에 대한 CI, HI, PCI의 평균값은 각각 $0.944{\pm}0.009$, $1.106{\pm}0.027$, $1.084{\pm}0.016$으로 평가되었다. 전체 폐에 대한 첫 번째 환자의 $V_{20}$은 3D CRT, IMRT, VMAT 각각 30.7%, 20.2%. 21.2%, 두 번째 환자의 $V_{20}$은 33.0%, 29.2%. 31.5%, 세 번째 환자의 $V_{20}$은 51.3%, 34.3%. 36.9%, 네 번째 환자의 $V_{20}$은 56.9%, 33.7%. 40%로 제한된 각도를 이용한 IMRT 치료계획에서 가장 낮게 평가되었다. 척수에 대한 최대선량 값은 모두 허용선량 미만으로 평가되었다. 결 론 : 비소세포 폐암의 방사선치료계획에서 3D CRT와 비교했을 때, 제한된 각도를 이용한 IMRT나 VAMT을 이용하면 척수의 허용선량을 넘지 않으면서 폐 선량을 줄여줄 수 있는 치료계획을 세울 수 있었다. IMRT와 VAMT을 비교해보면 PTV의 선량포함과 척수선량을 고려했을 때 IMRT 치료계획에서 보다 좁은 각도를 이용한 치료계획이 가능하였고, 이는 폐 선량을 좀 더 줄여줄 수 있는 결과를 얻을 수 있었다.

볏짚거적덮기공법(工法)의 사방효과(砂防效果)에 관(關)한 연구(硏究)(III) -거적 밀도(密度)의 영향(影響) 및 공법(工法)의 실용성(實用性)- (Studies on Soil Conservation Effects of the Straw-mat Mulching (III) -Effects of the Mat Structures and Its Practicality-)

  • 우보명
    • 한국산림과학회지
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    • 제27권1호
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    • pp.5-14
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    • 1975
  • 인공적(人工的)인 땅까기 흙쌓기 비탈면을 포함하는 민둥산 비탈면에서의 토양침식(土壤浸蝕)을 방지(防止)을 지피식생조성(地皮植生造成)을 조기(早期)에 확실(確實)히 달성(達成)할 수 있는 새로운 속성녹화공법(速成綠化工法)으로서 개발(開發)된 거적덮기 공법(工法)에 사용(使用)되는 거적의 적성조립밀도범위(適正組立密度範圍),를 결정(決定)하고 동시(同時)에 각급(各級) 밀도(密度)의 효과(效果)를 시험(試驗)한 결과(結果)는 다음과 같이 요약(要約)될 수 있다. 1. 타표류거수(他表流去水)의 유출율(流出率)에 있어서는 거적의 피복율(被覆率)이 90%구(區)(밀연피복구(密筵被覆區))에서 13.3%로 가장 적고, 70%구(區)(중연피복구(中筵被覆區))에서 14.21%, 그리고 50%구(區)(소연피복구(疎筵被覆區)) 15.57%로 가장 많었으나 이것은 나지구(裸地區)에서의 30.4%에 비(比)하면 매우 효과적(效果的)인 공법(工法)인 것이다. 2. 토사유실량(土砂流失量)에 있어서는 밀연피복구(密筵被覆區)에서 약(約) 1.24 ton/ha, 중연피복구(中筵被覆區)에서 약(約) 1.33 ton/ha, 그리고 소연피복구(疎筵被覆區)에서 약(約) 1.44 ton/ha으로서 이것은 미국농무성(美國農務省)의 기준(基準)(1.8 ton m/ha)에 비교(比較)하면 매우 효과적(效果的)인 공법(工法)인 것이다. 3. 파종후(播種後) 발아생립(發芽生立) 본수(本數)는 밀연피복구(密筵被覆區)에서 80본(本)으로 가장 적고 중연피복구(中筵被覆區)에서 132 본(本), 그리고 소연피복구(疎筵被覆區)에서 121 본(本)이었는데, 밀연피복구(密筵被覆區)에서는 발아후(發芽後) 생육중(生育中)에 피복고사율(被覆枯死率)이 높았다. 4. 유수유토발생(流水流土發生) 및 식생조성효과(植生造成効果)를 종합(綜合)해 볼때에 거적덮기공법(工法)에 사용(使用)되는 거적의 조립밀도(組立密度)는 70%내외(內外)가 적정(適正)할 것이다. 5. 본(本) 공법(工法)은 민둥산비탈면에 대한 속성녹화공법(速成綠化工法)으로서는 가장 효과적(效果的)인 피복공법(被覆工法)으로서, 우리나라의 산지사방행정면(山地砂防行政面)에서 대대적으로 여장(勵將)되어야 할 신공법(新工法)인 것이다.

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베이지안 확률 기반 범죄위험지역 예측 모델 개발 (Crime Incident Prediction Model based on Bayesian Probability)

  • 허선영;김주영;문태헌
    • 한국지리정보학회지
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    • 제20권4호
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    • pp.89-101
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    • 2017
  • 범죄는 장소나 건축물 용도에 따라 발생빈도와 유형이 다르고, 그 장소를 이용하는 사람들의 특성 및 공간 구조 차이에 의해 다양하게 발생한다. 따라서 공간 및 지역특성을 포함한 공간 빅데이터를 활용하여 지역을 분석해 보면 범죄예방 전략을 마련할 수 있다. 아울러 빅데이터와 지능 정보화시대의 도래에 따라 예측적 경찰활동이 새로운 경찰활동의 패러다임으로 등장하고 있다. 이에 보편적인 지방도시 J시를 대상으로 3개년 동안의 7,420건의 실제 범죄사례를 바탕으로 도시공간의 물리 환경적인 특성을 분석하여 범죄발생공간을 규명하고, 위험지역을 예측해 보고자 하였다. 분석에는 다양한 빅데이터 중 범죄를 유발하는 도시 공간 내 물리 환경적 요소에 한하여 공간 빅데이터를 구축하여 공간회귀분석을 실시하였다. 다음으로 분석결과 도출된 가로폭, 평균 층수, 용적율, 1층 사용용도(제2종 근린생활시설, 상업시설, 유흥시설, 주거시설)을 변수로 베이지안확률 기반 범죄발생 위험성 예측 모형(CIPM: Crime Incident Prediction Model)을 개발하였다. 개발된 모델은 실제 범죄발생 지역과의 중첩분석 및 모델의 정확도를 판단하는 Roc curve 분석을 통해 AUC 값이 0.8로 모델이 적합한 것으로 나타났다. 개발된 모델을 토대로 사례지역의 범죄 위험도를 분석한 결과 범죄발생은 상업 및 유흥시설이 밀집된 지역과 건물층수가 높은 지역, 그리고 상업 및 유흥시설과 주거가 혼재해 있는 블록이 범죄발생 확률이 높은 것으로 나타났다. 본 연구는 단순히 범죄의 공간적 분포와 범죄발생 영향요인을 탐색하는 기존의 연구와 달리 범죄발생 예측모델을 확률론적 관점에서 개발하는 영역으로 한 단계 진전되었다는 점에 의의가 있다.

부가가치세 포탈요인과 포탈성향에 관한 실증적 연구 (A Study on the Relationship between the Tax Evasion Factors and the Tax Evasion Inclination of Value Added Tax in Korea)

  • 김범진;함영복
    • 산학경영연구
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    • 제14권
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    • pp.1-30
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    • 2001
  • 수도권에서 사업하는 부가가치세 일반과세자 600명을 대상으로 수집한 자료의 실증분석을 통하여 다음과 같은 결과를 얻을 수 있었다. 첫째, 부가가치세 포탈요인은 재무, 세무행정, 조세지식, 조세윤리, 탈세기대심리, 사회, 제재 요인으로 분류되었다. 둘째, 재무, 조세지식, 사회, 제재 요인이 부가가치세의 포탈성향에 영향을 미치는 것으로 분석되었다. 셋째, 재무 요인에서 납세자의 기업형태와 매출규모에 따른 차이를, 조세지식 요인에서 납세자의 사업기간, 매출규모와 세무조사경험에 따를 차이를 그리고 사회 요인에서 납세자의 세무조사경험에 따른 차이를 확인하였다. 넷째, 포탈성향은 납세자의 기업형태, 업종, 매출규모와 세무조사경험에 따라서 차이를 보였다. 이상의 연구결과는 부가가치세 포탈방지를 위한 조세정책 수립에 다음과 같은 시사점을 줄 것이다. 첫째, 개인 사업자와 매출규모가 작은 사업자에 대해서 세무관리를 강화하여야 할 것이다. 둘째, 유통업인 도 소매업의 포탈정도가 가장 크므로 이에 대한 세무관리의 강화와 함께 유통정보시스템(POS시스템, 거래기록의 전산화, 거래당사자간 EDI 구축 등)의 도입에 대한 세제 및 세정상의 유인책 수립이 요구되어진다. 셋째, 세무조사를 받았던 기업의 포탈성향이 낮으므로 세무조사 경험이 없는 납세자에 대한 세무조사의 확대 실시가 요구되어진다. 넷째, 개인 사업자나 매출 규모가 큰 기업의 경우에 재무 요인이 큰 포탈요인으로 작용하므로 개인 사업자나 매출 규모가 큰 기업을 세무관리를 하는 경우에 재무 요인을 중요하게 인식하여야 할 것이다. 다섯째, 사업기간이 짧을수록, 매출액이 적을 수록, 또한 세무조사 경험이 없는 경우에 조세 지식 요인이 포탈요인으로 크게 작용한다. 따라서 사업기간이 짧거나 매출액이 적거나 세무조사 경험이 없는 납세자를 중심으로 납세교육과 홍보의 강화를 병행하여 세법지식의 부족으로 인한 비자발적 탈세를 예방하여야 할 것이다. 여섯째, 세무조사 경험이 없는 경우에 사회 요인이 포탈요인으로 크게 작용한다. 따라서 세무조사 경험이 없는 납세자를 중심으로 정부와 세무당국에 대한 신뢰도를 높이고 사회적 공평성과 책임성을 높일 수 있는 대안을 마련하도록 하여야 할 것이다.

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광중합형 레진에 함침시킨 유리섬유의 위치가 상악 총의치의 파절강도와 파절양상에 미치는 영향 (Effect of location of glass fiber pre-impregnated with light-curing resin on the fracture strength and fracture modes of a maxillary complete denture)

  • 유현상;성수진;조재영;이도찬;허중보;정창모
    • 대한치과보철학회지
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    • 제50권4호
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    • pp.279-284
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    • 2012
  • 연구 목적: 광중합형 레진에 미리 함침시킨 유리섬유를 이용하여 상악 레진상 총의치를 강화시킨 경우, 강화 부위의 위치가 파절 강도와 의치 파절 시 미치는 효과를 알아보기 위함이다. 연구 재료 및 방법: 본 연구에서는 0.45 mm의 두께를 가지고 광중합형 레진에 미리 함침시킨 유리섬유(SES MESH, INNO Dental Co., Yeoncheon-gun, Korea)를 이용하여 상악 총의치를 강화하였고, 강화재료의 위치 및 유무에 따라 5개의 군(대조군, 의치상을 섬유 망사로 강화하지 않음; A군, 순측 치조정 중앙부 강화; B군, 순측 치조정 하방의 구개 추벽부위 강화; C 군, 구개 중앙부위 강화; D 군, 의치상 전체 강화)으로 나누었으며, 군당6개의 시편을 제작하였다. 파절강도를 Instron test machine (Instron Co., Canton, MA, USA)을 이용해 5.0 mm/min의 크로스헤드 속도를 부여하여 구하였으며, 하중은 20 mm의 지름을 가진 구형 하중체를 통해 의치 중심부에 전달되었다. 파절 강도 시험 후 나타난 의치의 파절 양상을 분석하였다. 파절강도를 일원배치분산분석을 통해 검정하였다(${\alpha}$=.05). 결과: 파절강도에 있어 각 군간 통계적으로 유의한 차이를 보이지 않았다(P>.05). 의치의 파절 양상을 분석한 결과 A군에서는 전후방파절과 후방파절의 양상을 주로 보였고, B군, C군 그리고 대조군에서는 정중국소파절이 주로 관찰되었으며 D군에서는 대부분 후방파절을 보였다. 결론: 파절 강도를 측정하여 분석한 결과 유리 섬유에 의한 강화 유무와 위치에 따른 차이를 보이지 않았다. 의치의 파절 양상을 분석한 결과 유리 섬유에 의한 강화를 통해 균열을 억제하는데 효과를 보인다고 판단된다.

한국 소아치과의 현재와 전망 - 치아우식증관리 분야를 중심으로 - (PRESENT SITUATION AND PROSPECT OF PEDIATRIC DENTISTRY IN KOREA - FOCUSED ON MANAGEMENT OF DENTAL CARIES -)

  • 이상호
    • 대한소아치과학회지
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    • 제39권2호
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    • pp.206-225
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    • 2012
  • General status of pediatric dentistry in Korea is to conduct vigorous academic activities and specialized medical care centering the Korean Association of Pediatric Dentistry (KAPD) that has about 1,000 pediatric dentists as members, pediatric dentistry departments of 11 Colleges of Dentistry, numbers of pediatric dentistry training institutions and private clinics specialized in children. From 1996, the accredited pediatric dentists were produced by the KAPD and from 2008, the state began to produce the accredited pediatric dentists. Since then, doctors with expertise in pediatric care had opened private clinics in addition to the university hospitals, it became the basis of a momentum to deepen the specialty of pediatric dentistry. The Dentistry community of Korea is going through rapid and profound changes recently, and the underlying reasons for such changes can be classified largely into a few categories: (1) Decreasing population and structural changes in population (2) Increase in numbers of dentists, (3) Changes in the pattern of dental diseases and (4) Changes in medical environment. In Korea, the children population in the age range of 0 ~ 14 years old had been decreased by 2 million in 2010 compared to that of 2000 due to reduction of birth rate. The current population of children in the age range of 0 ~ 4 years old in 2010 takes up 16.2% of the total population, but it is estimated that such percentage would decrease to 8.0% by 2050. Such percentage is largely behind the estimated mean global population of 19.6% by 2050. On the other hand, the number of dentists had been largely increased from 18,000 in 2000 to 25,000 in 2010. And it is estimated that the number will be increased to 41,000 by 2030. In addition, the specialized personnel of Pediatric dentistry had been shown as increased by 2.5 times during past 10 years. For the changes in the pattern of dental diseases, including dental caries, each df rate of 5 years old children and 12 years old children had been decreased by 21.9% and 16.7% respectively in 2010 compared to 2000. Each df Index also had been decreased by 2.5 teeth and 1.2 teeth respectively. The medical expenditure of Korea is less than that of OECD and more specifically, the expenditure from the National Health Plan is less than OECD but the expenditure covered by households is larger than OECD. These facts indicate that it is considered as requiring the coverage of the national health plan to be reinforced more in the future and as such reinforcement needs continuous promotion. In medical examination pattern of Pediatric dentistry, the preventive and corrective treatment were increased whereas the restorative treatment was decreased. It is considered that such change is caused from decrease of dental caries from activation of the prevention project at national level. For the restorative treatment, the restorations in use of dental amalgam, pre-existing gold crowning and endodontic treatment had been decreased in their proportion while the restorative treatment in use of composite resin had been increased. It is considered that such changes is caused by the change of demands from patients and family or guardians as they desired more aesthetic improvement along with socio-economic growth of Korean society. Due to such changes in dentistry, the pediatric dentistry in Korea also attempts to have changes in the patterns of medical examination as follows; It tends to implement early stage treatment through early diagnosis utilizing various diagnostic tools such as FOTI or QLF. The early stage dental caries so called white spot had been included in the subjects for dental care or management and in order to do so, the medical care guidelines essentially accompanied with remineralization treatment as well as minimally invasive treatment is being generalized gradually. Also, centering the Pediatric dentists, the importance of caries risk assessment is being recognized, in addition that the management of dental caries is being changed from surgical approach to internal medicinal approach. Recently, efforts began to emerge in order to increase the target patients to be managed by dentists and to expand the application scope of Pediatric dentistry along with through such changes. The interest and activities of Pediatric dentists which had been limited to the medical examination room so far, is now being expanded externally, as they put efforts for participating in the preventive policy making process of the community or the state, and to support the political theories. And also opinions are being collected into the direction that the future- oriented strategic political tasks shall be selected and researches as well as presentations on the theoretical rationale of such tasks at the association level.

광릉(光陵) 활엽수(闊葉樹) 천연노령림(天然老齡林)과 침엽수(針葉樹) 인공유령림(人工幼齡林) 그리고 양주(楊洲) 사방지(砂防地) 혼효유령림(混淆幼齡林)의 수관통과우량(樹冠通過雨量), 수간유하량(樹幹流下量) 그리고 차단손실량(遮斷損失量)에 관하여(I) - 실험적(實驗的) 측정결과(測定結果)를 중심(中心)으로 - (Throughfall, Stemflow and Interception Loss of the Natural Old-growth Deciduous and Planted Young Coniferous in Gwangneung and the Rehabilitated Young Mixed Forest in Yangju, Gyeonggido(I) - with a Special Reference on the Results of Measurement -)

  • 김경하;전재홍;유재윤;정용호
    • 한국산림과학회지
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    • 제94권6호
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    • pp.488-495
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    • 2005
  • 본 연구는 국립산림과학원에서 운용하는 경기도 광릉시험림 내 활엽수 천연노령림과 침엽수 인공유령림 그리고 양주 사방지 혼효유령림의 수관통과우량, 수간유하량, 그리고 차단손실량을 조사하여 앞으로 임상변화가 임내우 및 차단손실량에 미치는 영향을 시뮬레이션 할 수 있는 전산모델을 개발하는데 필요한 자료를 확보하기 위하여 수행되었다. 본 연구 대상유역인 활엽수 천연노령림은 활엽수 천연림을 대표할 수 있으며, 잣나무와 전나무림으로 구성된 침엽수 인공유령림은 1976년 조림지로서 침엽수 인공림을 대표할 수 있다. 또한 양주 사방지 혼효유령림은 1974년 사방공사를 실시한 후 현재까지 보전되어 온 임분으로 사방림을 대표할 수 있다. 조사는 2003년 3월부터 2004년 10월까지 실시하였으며, 겨울에는 측정을 중지하였다. 임외장우량은 전도형 자기우설량계로 측정하였으며, 임내우량은 임분 내에 $10m{\times}10m$의 표준구를 설정하고 수관통과우량과 수간유하량을 전도형 측정기와 CR10X 데이터 로거를 이용하여 30분 단위로 측정하였다. 약 2년간 자료를 종합한 결과, 임외강우량에서 수관통과우량과 수간유하량을 뺀 차단손실량은 잣나무림이 임외강우량(1,629.5 mm)의 37.2%인 606.6 mm로 가장 많았으며, 혼효림이 임외강우량(1,363.5 mm)의 22.6%인 308.6 mm로 가장 적었다. 수간유하량은 혼효림이 임외강우량의 10.7%로 가장 많았으며, 잣나무림이 2.4%로 가장 적었다. 임외강우량과 수관통과우량 간의 관계는 모든 조사구에서 직선회귀식으로 나타났다. 직선회귀식의 기울기인 평균 수관통과율은 수관울폐도에 따라 66%에서 77%까지 분포하였다. 임외강우량과 수간유하량은 수관통과우량에 비해 편차가 크긴 하지만 모든 조사구에서 직선회귀식으로 나타낼 수 있었다. 임외강우량이 수간유하량으로 전환되는 비율은 잣나무림이 2%로 가장 낮았고 혼효림이 12%로 가장 높았다. 수간저류능은 활엽수림이 0.21 mm로 가장 높은 반면에 잣나무림이 0.003 mm로 가장 낮았다. 대체로 수간유하량은 침엽수림보다 활엽수림에서 많이 발생하였는데, 이는 임분구조에서 활엽수림이 수피가 매끄럽고 가지의 각도가 가파르기 때문이라고 판단되었다. 차단손실량은 임외강우량이 증가함에 따라 모든 조사구에서 직선적으로 증가하였다. 활엽수림과 혼효림의 경우 전나무림과 잣나무림에 비해 차단손실량의 편차가 크게 나타났는데, 이는 활엽수림과 혼효림이 계절적으로 낙엽에 의해 엽면적지수가 변하기 때문이라고 생각된다. 이상의 결과로 임분구조에 따라 임내우인 수관통과우량과 수간유하량, 그리고 차단손실량이 큰 차이를 보인다는 사실을 확인할 수 있었다. 그러므로 차단손실량을 산정하기 위한 전산모델은 임분구조에 따른 차단손실량의 변화를 나타낼 수 있어야 하며, 이는 임상별 특성과 엽면적지수 등을 매개변수로 한 모델이어야 할 것으로 판단된다.

지리산(智異山) 구상나무임분(林分)의 식생구조(植生構造)와 치수(稚樹) 발생(發生) 및 생육(生育) 동태(動態) (Vegetation Structure, Regeneration Niche, and Dynamics of the Saplings in Abies koreana Forest of the Mt. Chiri)

  • 정재민;이수원;이강영
    • 한국산림과학회지
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    • 제85권1호
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    • pp.34-43
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    • 1996
  • 본(本) 연구(硏究)는 지리산(智異山)의 아고산대(亞高山帶)에 분포(分布)하고 있는 구상나무 임분(林分)에 대한 식생구조(植生構造)와 상층(上層)의 피도(被度)에 따른 유묘(幼苗)와 치수(稚樹)의 발생(發生)과 생육동태(生育動態)를 조사(調査)하였다. 구상나무 임분(林分)의 밀도(密度)는 상층(上層)보다 중층(中層)에서 높게 나타났으나, 평균면속(平均面續), 개체간(個體間)의 거리(距離)에서는 상층(上層)이 높았으며, 그리고 상층(上層)은 규칙분포(規則分布)를 하고 있었다. 상층(上層)의 피도(被度)에 따른 유묘(幼苗)와 치수(稚樹)의 발생밀도(發生密度)는 25% 내외(內外)의 약도(弱度)에서 가장 높았고, 다음은 50% 내외(內外)의 중용도(中庸度), 임분(林分)의 측방순(側方順)이였으며, 75% 내외의 강도(强度) 임분(林分)에서는 가장 낮았다. 그리고 치수(稚樹)의 연년생장량(連年生長量)과 최근 5년간(年間)의 생장량(生長量)은 측방(側方)의 임분(林分)에서 가장 양호(良好)하였으며, 상층(上層)의 울폐도(鬱閉度)가 높아질수록 점차 저하(低下)되였다. 상층(上層)의 피도(被度)가 낮은 임분(林分)에서는 10-20년생(年生)의 치수(稚樹)가 많았고, 상층(上層)의 피도(被度)가 높은 임분(林分)에서는 20-30년생(年生) 치수(稚樹)가 많았다. 상층임분(上層林分)의 측방(側方)에서 정상적으로 생장(生長)하는 A형(型)은 임내(林內)의 울폐도(鬱閉度)가 증가(增加)할수록 극히 감소(減少)하였고, 반면 피압(被壓)에 의한 생장(生長)이 억제(抑制)되거나 중지(中止)된 D, E형(型)의 출현율(出現率)은 급격히 높아졌다. 이상의 결과(結果)에서 상층목(上層木)의 측방(側方) 또는 gap에서는 정상적으로 자라 원추형(圓錐型)의 수형(樹形)을 나타내고 있었으나, 상층목(上層木)의 피도(被度)가 높아질수록 치수(稚樹)는 피압(被壓)되어 가지의 간격이 좁고 정단부(頂端部)의 생장(生長)이 억제(抑制)된 산형(傘型)의 치수(稚樹)가 증가(增加)되고 있었다.

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A bilayer diffusion barrier of atomic layer deposited (ALD)-Ru/ALD-TaCN for direct plating of Cu

  • Kim, Soo-Hyun;Yim, Sung-Soo;Lee, Do-Joong;Kim, Ki-Su;Kim, Hyun-Mi;Kim, Ki-Bum;Sohn, Hyun-Chul
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.239-240
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    • 2008
  • As semiconductor devices are scaled down for better performance and more functionality, the Cu-based interconnects suffer from the increase of the resistivity of the Cu wires. The resistivity increase, which is attributed to the electron scattering from grain boundaries and interfaces, needs to be addressed in order to further scale down semiconductor devices [1]. The increase in the resistivity of the interconnect can be alleviated by increasing the grain size of electroplating (EP)-Cu or by modifying the Cu surface [1]. Another possible solution is to maximize the portion of the EP-Cu volume in the vias or damascene structures with the conformal diffusion barrier and seed layer by optimizing their deposition processes during Cu interconnect fabrication, which are currently ionized physical vapor deposition (IPVD)-based Ta/TaN bilayer and IPVD-Cu, respectively. The use of in-situ etching, during IPVD of the barrier or the seed layer, has been effective in enlarging the trench volume where the Cu is filled, resulting in improved reliability and performance of the Cu-based interconnect. However, the application of IPVD technology is expected to be limited eventually because of poor sidewall step coverage and the narrow top part of the damascene structures. Recently, Ru has been suggested as a diffusion barrier that is compatible with the direct plating of Cu [2-3]. A single-layer diffusion barrier for the direct plating of Cu is desirable to optimize the resistance of the Cu interconnects because it eliminates the Cu-seed layer. However, previous studies have shown that the Ru by itself is not a suitable diffusion barrier for Cu metallization [4-6]. Thus, the diffusion barrier performance of the Ru film should be improved in order for it to be successfully incorporated as a seed layer/barrier layer for the direct plating of Cu. The improvement of its barrier performance, by modifying the Ru microstructure from columnar to amorphous (by incorporating the N into Ru during PVD), has been previously reported [7]. Another approach for improving the barrier performance of the Ru film is to use Ru as a just seed layer and combine it with superior materials to function as a diffusion barrier against the Cu. A RulTaN bilayer prepared by PVD has recently been suggested as a seed layer/diffusion barrier for Cu. This bilayer was stable between the Cu and Si after annealing at $700^{\circ}C$ for I min [8]. Although these reports dealt with the possible applications of Ru for Cu metallization, cases where the Ru film was prepared by atomic layer deposition (ALD) have not been identified. These are important because of ALD's excellent conformality. In this study, a bilayer diffusion barrier of Ru/TaCN prepared by ALD was investigated. As the addition of the third element into the transition metal nitride disrupts the crystal lattice and leads to the formation of a stable ternary amorphous material, as indicated by Nicolet [9], ALD-TaCN is expected to improve the diffusion barrier performance of the ALD-Ru against Cu. Ru was deposited by a sequential supply of bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium [Ru$(EtCp)_2$] and $NH_3$plasma and TaCN by a sequential supply of $(NEt_2)_3Ta=Nbu^t$ (tert-butylimido-trisdiethylamido-tantalum, TBTDET) and $H_2$ plasma. Sheet resistance measurements, X-ray diffractometry (XRD), and Auger electron spectroscopy (AES) analysis showed that the bilayer diffusion barriers of ALD-Ru (12 nm)/ALD-TaCN (2 nm) and ALD-Ru (4nm)/ALD-TaCN (2 nm) prevented the Cu diffusion up to annealing temperatures of 600 and $550^{\circ}C$ for 30 min, respectively. This is found to be due to the excellent diffusion barrier performance of the ALD-TaCN film against the Cu, due to it having an amorphous structure. A 5-nm-thick ALD-TaCN film was even stable up to annealing at $650^{\circ}C$ between Cu and Si. Transmission electron microscopy (TEM) investigation combined with energy dispersive spectroscopy (EDS) analysis revealed that the ALD-Ru/ALD-TaCN diffusion barrier failed by the Cu diffusion through the bilayer into the Si substrate. This is due to the ALD-TaCN interlayer preventing the interfacial reaction between the Ru and Si.

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불완전경쟁하(不完全競爭下)에서의 무역장벽(貿易障壁) 완화효과(緩和效果) (Economic Effects of Eliminating Trade Barriers under Imperfect Competition)

  • 이홍구
    • KDI Journal of Economic Policy
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    • 제14권2호
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    • pp.29-54
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    • 1992
  • 무역자유화(貿易自由化)나 지역경제통합(地域經濟統合)의 경제적(經濟的) 효과(效果)를 논의할 때 시장구조(市場構造)와 규모(規模)의 경제(經濟)와 관련된 개방효과(開放效果)를 분석(分析)하는 것이 중요하다. 잠재시장(潛在市場)의 크기가 확대되는 데에 따르는 제품차별화(製品差別化)의 심화(深化)나 규모(規模)의 경제실현(經濟實現)은 '무역(貿易)의 이익(利益)'의 차원(次元)을 확장시킨다. 개방(開放)에 따르는 해외로부터의 경쟁강화(競爭强化)는 국내기업(國內企業)의 경쟁환경(競爭環境)을 심화(深化)시켜 시장진입(市場進入) 퇴출(退出)과 산업합리화(産業合理化)에 영향을 미치기 때문이다. 본고(本稿)는 무역장벽완화(貿易障壁緩和)가 유발하는 자원배분효과(資源配分效果) 및 후생효과(厚生效果)뿐만 아니라, 시장구조(市場構造)가 불완전경쟁적(不完全競爭的)이고 생산과정(生産過程)에 규모(規模)의 경제(經濟)가 존재(存在)하기 때문에 나타나는 '개방(開放)의 이익(利益)'을 가상적(假想的)인 한국(韓國) 일본(日本)의 쌍무적(雙務的) 관세인하효과분석(關稅引下效果分析)을 중심으로 검토하고 있다. 이를 위하여 전산업을 완전경쟁적(完全競爭的) 산업(産業), 불완전경쟁적(不完全競爭的) 산업(産業), 비교역산업(非交易産業)으로 구성되는 30개 산업으로 분류하였으며, 가상적(假想的)인 관세인하(關稅引下)(한국(韓國)의 경우 법정관세 인하, 일본(日本)의 경우 실적관세율 50%인하)를 상정(想定)하여 이것이 양국의 산업에 미치는 영향을 검토하였다. 관세인하는 산업내(産業內) 무역(貿易)을 증가(增加)시킬 것이나, 산업합리화(産業合理化) 효과(效果)나 규모(規模)의 경제(經濟) 실현(實現)에 미치는 영향은 크지 않을 것으로 추정된다. 또한 관세인하(關稅引下)로 한국(韓國)과 일본(日本)의 총수출(總輸出)과 총수입(總輸入)이 모두 증가하나, 한국(韓國)의 경우 수출증가보다 수입증가가 큰 반면 일본(日本)의 경우 수입증가보다 수출증가가 큰 것으로 나타났다. 한편 관세인하로 한국(韓國)과 일본(日本)의 총산출증가(總産出增加)가 예상되는데, 증가폭은 각각 0.5~0.6%에 이를 것으로 예상된다.

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