• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2009.05a
• /
• pp.268-268
• /
• 2009

고밀도 유도 결합 플라즈마를 이용한 연료 전기 분리판용 질화 장치를 플라즈마를 모사할 수 있는 3차원 전산 유체 역학 프로그램인 CFD-ACE+를 이용하여 해석하였따. 내장형 안테나 타입의 유도 결합 플라즈마의 전자 온도, 밀도 균일성, 가스 유동, 얇은 기판이 촘촘히 적재 되었을 경우의 플라즈마 특성을 모사하였다.

• 유체기계공업학회:학술대회논문집
• /
• 2005.12a
• /
• pp.94-101
• /
• 2005

• 유체기계공업학회:학술대회논문집
• /
• 2004.12a
• /
• pp.766-767
• /
• 2004

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2009.10a
• /
• pp.127-127
• /
• 2009

고밀도 유도 결합 플라즈마와 함께 -1 kV의 높은 펄스 직류 바이어스를 이용한 플라즈마 공정 장치를 CFD-ACE+를 이용하여 시변 모델로 해석하였다. 수 kHz의 낮은 펄스주파수와 $5{\mu}s$의 빠른 펄스 상승 시간의 효과에 의한 플라즈마 특성을 모사한 결과 전자 온도의 상승과 그에 의한 플라즈마 가열은 펄스 상승 시간 보다 수 ${\mu}s$늦게 발생하였으며 쉬스의 팽창은 Ar 10 mTorr에서 약 20 mm정도이며 계산된 전자 온도는 최고 20 eV에 이른다.

• 유체기계공업학회:학술대회논문집
• /
• 2003.12a
• /
• pp.126-132
• /
• 2003

See Full Text

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
• /
• v.24 no.3
• /
• pp.71-80
• /
• 2020

Before we develop LVAFoam, a CFD software for launch vehicle analysis, we conducted a survey on other CFD softwares. We looked at in-house code and commercial CFD software of other countries that were used as a simulation of launch vehicle's combustor, turbopump and external flow. This research included in-house code solvers, developed by NASA, Mississippi State University, DLR, Bertin Technologies, CNES, CERFACS, and JAXA as well as commercial CFD software from FLUENT, CFX, Advance/FrontFlow/red, GASP, CRUNCH CFD, CFD-ACE+, FINE^TM/Turbo, STAR-CCM+. The simulation cases of launch vehicle analysis from each commercial softwares and introduction of the LVAFoam were presented.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2016.02a
• /
• pp.182.2-182.2
• /
• 2016

Hollow cathode discharge(중공 음극)는 음극 표면에서 발생되는 2차 전자를 이용하여 높은 밀도의 플라즈마를 만들 수 있는 장점이 있다. 전원으로 microwave, RF, DC, pulsed dc등을 사용할 수 있으며 박막의 증착, 식각 등에 응용 가능하다. 물리적 현상으로는 중공 음극 재료 표면 물질의 가열 및 이온 스퍼터링, 2차 전자의 가열, 자기장 인가 구조의 경우 전자 거동이 있다. PIC(particle-in-cell)방식의 모델링과 fluid model을 이용한 방법이 있는데 본 연구에서는 상용 fluid model software인 ESI사의 CFD-ACE+를 사용하여 모델링 하였다. 구동 주파수는 13.56 MHz의 상용 고주파 전원과 보다 낮은 1 MHz, 100 kHz의 수치 모델을 이용하여 HF, MF, LF 영역에서의 동작 특성을 해석하였다. 1차적으로는 가스 유동의 특성을 2D, 3D로 조사하였고 플라즈마 거동은 2차원을 주로 진행하였으며 계산 시간이 오래 거리는 3차원 모델을 하나 만들어 그 특성을 조사하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
• /
• 2003.10a
• /
• pp.14-18
• /
• 2003

Feul-cell system consists of fuel reformer, stack and energy translator. Among these parts, slack is a core part which produces electricity directly. In order to set a stack module, fabrication of appropriate stack, design of water flow path in stack, and control of coolant are needed. Especially, water or air is used as a coolant to dissipate heat. The different temperature of each electric cells after cooling and the high temperature of the stack affect the performance of the stack, Therefore, it is necessary that the relationship between coolant, healing rate, width of slack, properties of stack, and the shape of water flow path must be understood. For the optimal design, the computational simulation by CFD-ACE has been conducted and the resulting database has been constructed.

• Applied Science and Convergence Technology
• /
• v.24 no.4
• /
• pp.102-110
• /
• 2015

Fluid model based numerical analysis is done to simulate a plasma processing system with electrodes at floating potential. $V_f$ is a function of electron temperature, electron mass and ion mass. Commercial plasma fluid simulation softwares do not provide options for floating electrode boundary value condition. We developed a user subroutine in CFD-ACE+ and compared four different cases: grounded, dielectric, zero normal electric field and floating electric potential for a 2D-CCP (capacitively coupled plasma) with a ring electrode.

• Journal of the KSME
• /
• v.46 no.9 s.310
• /
• pp.64-68
• /
• 2006