CVD로 성장된 다결정 3C-SiC 박막의 라만특성
(Raman Scattering Investigation of Polycrystalline 3C-SiC Thin Films Deposited on $SiO_2$ by APCVD using HMDS)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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- pp.197-198
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- 2009