Etch rate, surface roughness and microstructure as plasma resistance were evaluated for six kinds of oxide glass with different compositions. Borosilicate glass (BS) was found to be etched at the highest etch rate and zinc aluminum phosphate glass (ZAP) showed a relatively lower etch rate than borosilicate. On the other hand, the etching rate of calcium aluminosilicate glass (CAS) was measured to be similar to that of sintered alumina while yttrium aluminosilicate glass (YAS) showed the lowest etch rate. Such different etch rates by mixture plasma as a function of glass compositions was dependent on whether or not fluoride compounds were formed on glass and sublimated in high vacuum. Especially, in view that $CaF_2$ and $YF_3$ with high sublimation points were formed on the surface of CAS and YAS glasses, both CAS and YAS glasses were considered to be a good candidate for protective coating materials on the damaged polycrystalline ceramics parts in semi-conductor and display processes.
Kim, Kwan-Soo;Park, Jong-Guk;Yoon, Sang-Ok;Kim, Shin;Kim, Yun-Han;Kang, Suk-Young
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.06a
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pp.342-342
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2008
The low temperature sintering and microwave dielectric properties of ceramic/glass composites which were composed of ceramics in the $Bi_2(Zn_{1/3}Nb_{2/3})_2O_7$ and zinc borosilicate glass/bismuth-zinc borosilicate glass were investigated with a view to applying the microwave dielectrics to low temperature co-fired ceramics. The $Bi_2(Zn_{1/3}Nb_{2/3})_2O_7$ addition of 5 wt% ZBS and BZBS glass ensured a successful sintering below $900^{\circ}C$. In addition, pyrochlore phase was observed in the all composition. $Bi_2(Zn_{1/3}Nb_{2/3})_2O_7$ with 5 wt% BZBS glasss demonstrated 70 as the dielectric constant ($\varepsilon_r$), 2,500 GHz as the Q$\times$f value, and -40 ppm/$^{\circ}C$ as TCF.
We investigated the particularity of temperature and composition changes in $xNa_2O{\cdot}(52.5-x)B_2O_3{\cdot}47.5SiO_2$ glasses by use of FT-IR, $^{11}B$ NMR, Raman spectrometer. From FT-IR and $^{11}B$ NMR spectrometer, we thought that tetrahedral boron, $BO_4$ units are created $N_4$ increasing tendency generated near $600^{\circ}C$. It's expected that composition ana heat treatment directly contributed to structural changes, this changes are following to $Na_2O$ increasing or decreasing. caused by $N_4\;and\;BO_4$ units are caused by relatively increasing or decreasing in the glasses' structure. Particularly, $BO_4$ units are converted to $BO_3$ units after $600^{\circ}C$ heat treatment for 50h in the composition of $x<18(R<0.5,\;R=Na_2O/B_2O_3\;mol\%)$. On the order hand, $BO_3$ units are converted to, $BO_4$ units after $600^{\circ}C$ heat treatment for 50h in the composition of $x{\geq}18\;(R>0.5)$. This particularity of composition and temperature dependence of structural changes are similarly represented by Raman analysis results.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2006.06a
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pp.313-314
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2006
$BiNbO_4$ ceramics were sintered under the presence of zinc-borosilicate(ZBS) glass and resultant microwave dielectric properties were investigated with a view to applying the composition to LTCC technology. The addition of 5~20 wt% ZBS glass ensured successful sintering below $900^{\circ}C$. In general, increased addition of ZBS glass increased sinterability and temperature coefficient of resonant frequency(${\tau}_f$), but it decreased the dielectric constant(${\varepsilon}_r$) and quality factor($Q{\times}f_0$) significantly due to the formation of an excessive liquid. The sintered $BiNbO_4$ ceramics at $900^{\circ}C$ with 15 wt% ZBS glass demonstrated 25 in dielectric constant(${\varepsilon}_r$), 3,700 in quality factor($Q{\times}f_0$), and -32 $ppm/{\circ}C$ in temperature coefficient of resonant frequency(${\tau}_f$).
Kim, Young Han;Yoon, Mi Young;Lee, Eun Jung;Hwang, Hae Jin
Journal of Ceramic Processing Research
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v.13
no.spc1
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pp.37-41
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2012
A lithium ion conducting borosilicate glass was fabricated by a conventional melt quenching technique from a mixture of Li2CO3, B2O3 and SiO2 powders. The Li ion conductivity of the lithium borosilicate glasses was evaluated in terms of the SiO2/B2O3 ratio. In the Li2O-B2O3-SiO2 ternary glass, the glass forming region decreases with an increasing Li2O content. At the same Li2O, the crystallization tendency of the glass samples increases with the SiO2/B2O3 ratio, resulting in a reduced glass forming region in the Li2O-B2O3-SiO2 ternary glass. The electrical conductivity moderately depends on the SiO2/B2O3 ratio in the Li2O-B2O3-SiO2 ternary glass. The conductivity of the glasses slightly increases with the SiO2/B2O3 ratio. The observed phenomenon can be explained by the modification of the glass structure as a function of the SiO2 content.
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.16
no.2
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pp.82-87
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2006
Glassy specimen was obtained by melting and quenching a borosilicate glass frit miked with $10{\sim}80wt%$ EAF dust. The glass transition temperature, $T_g$ of glassy specimen was measured around $550^{\circ}C$ from the DTA curve and the eat treatment condition to crystallize a glassy specimen was selected as $700^{\circ}C$/1 hr. The spinel crystal peaks were found in XRD analysis for the glass containing dust > 70 wt%. For the glass-ceramics, however, the spinel peaks in a specimen containing dust > 40 wt%, and the spinel and willemite peaks in dust > 80 wt%. The crystals of several tens of nanometer with aspect ratio of $0.7{\sim}1.0$ were observed at a glassy specimen containing dust > 40 wt% by SEM which was not found by XRD analysis. For the glass-ceramics, the crystals were found in a specimen containing dust of even 10 wt% by SEM. The feature and distribution of crystals observed through the specimen for a glass-ceramics were diverse and not uniform. The crystals found in the glass-ceramics containing 70 wt% dust were hexahedral with an aspect ratio of around unity.
The effects of alumine borosilicate glass composition on the densification and the microwave properties of (M $g_{0.93}$C $a_{0.07}$)Ti $O_3$ ceramics were studied. As the amount of glass increase, the density of ceramics increases and grain growth enhances. When 20 ~30 wt% of glass added, it was densified to over 95% of (M $g_{0.93}$C $a_{0.07}$)Ti $O_3$ theoretical density. (M $g_{0.93}$C $a_{0.07}$)Ti $O_3$ ceramic sintered at 95$0^{\circ}C$ exhibits dielectric constants of 15~16, quality factor of 8000 and temperature coefficient of resonant frequency of -45 ppm/$^{\circ}C$ by adding 20 wt% alumine borosilicate glass.
Recently, PDP barrier ribs require the formation of complex structure so that they are usually formed by etching method. For producing the fine ribs structure, during the etching process the metal ions of matrix (glass) of barrier materials should be understood on the etching mechanism with etching condition. We analyzed the quantity of Pb, Si, and B ions from the etch solution as a function of etching time.
핵폐기물의 재처리과정에서 파생리는 액상의 고준위 폐기물 (sludges)은, 매우 위해한 핵종원소를 포함하고 있으므로 이들 핵종을 고정화시킬 수 있는 물질이 요구된다 핵폐기물을 구성하고 있는 방사성 원소를 일련의 광물조합 내에 고정화시키려는 시도는 Hatch (1953), McCarthy (1973, 1974), Mccarthy와 Davidson (1975), Roy (1975, 1977)에 의해 연구되었으며 현재는 borosilicate 및 aluminophosphate glass 등에 의한 고정화 방법이 널리 사용되고 있다. (중략)
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.10
no.1
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pp.57-63
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2003
The effects of glass addition on the low-temperature sintering and microwave dielectric properties of $BaO-Nd_2O_3-TiO_2$ dielectric ceramics were studied. When 10∼13 wt% of lithium borosilicate glass was added, the sintering temperature decreased from 130$0^{\circ}C$to 850-$900^{\circ}C$relative density of more than 97% was obtained. When the sample was sintered at $850^{\circ}C$ with 10 wt% of glass, the dielectric properties of $\epsilon_r{\ge}54$, $Q{\times}f_0{\ge}2300$, and $\tau_f{\ge}+8ppm/^{\circ}C$ were obtained.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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