• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.369-369
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• 2011

In the current work, we demonstrate the gas phase plasma synthesis of ultrafine boron nanoparticles by decomposing boron trichloride (BCl3) gas in an argon-hydrogen thermal plasma and quenching the hot plasma by expansion through a ceramic nozzle, driving the homogeneous nucleation of nanoparticles. It is shown that ultrafine nanoparticles can be produced from the experiments. We also show the characterization results regarding the oxidation of boron nanoparticles at room temperature using X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) and the combined Scanning Transmission Electron Microscope (STEM) and Electron Energy Loss Spectroscopy (EELS).

• 대한기계학회논문집B
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• 제36권7호
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• pp.731-736
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• 2012

열플라즈마 시스템을 이용하여 붕소 함유 나노입자를 제조하기 위한 새로운 방법이 시도되었다. $BCl_3$ 와 $CH_4$ 전구체 기체를 열플라즈마 영역으로 분사하여 고온에서 분해시킨 후, 기체상 응핵 및 성장 과정을 통하여 붕소 또는 붕소 카바이드 입자를 제조하였다. X 선 광분자 분석법을 이용하여 입자 표면의 화학적 결합 상태 및 카바이드와 관련된 B-C 결합 구조 내의 붕소와 탄소의 원자 비율을 측정 및 분석하였다. 또한 나노입자 형상 및 크기 분석을 위해 주사식 투과현미경과 전자에너지손실분광법이 이용되었다. 제조된 나노입자는 30-70 nm 내의 크기 분포를 갖고 있으며, $BCl_3$ 와 $CH_4$ 전구체 기체가 각각 20 sccm, 25 sccm 사용되었을 때 B-C 결합 구조 내의 붕소와 탄소의 비는 2.13 이었다.

• 한국세라믹학회지
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• 제43권6호
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• pp.358-361
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• 2006

A two-step plasma-assisted boronizing process was carried out on the AISI 1045 steel substrate to reduce the pore density introduced by a conventional single plasma boronizing process. The specimens were plasma boronized for 1 h at $650^{\circ}C$ and subsequently far 7 h at $800^{\circ}C$ in an atmosphere of $BCl_3-H_2-Ar$. The boride layer thickness was parabolic in boronizing time, a high HV reading of 1540 was found up to the boride layer thickness of $25{\mu}m$. It was found that the morphology of the boride layer prepared by the two-step boronizing process was changed from a columnar to a tooth-like structure and the pores in the borided steel were eliminated completely in comparison to those synthesized by the conventional single boronizing process, implying that it is highly applicable for enhancing the dense and compact coating properties of the low-alloy steel.

• 한국가스학회지
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• 제20권6호
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• pp.1-8
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• 2016

2012년 구미 불화수소 누출사고 이후 화학 물질 사고에 대한 사회적 불안감이 증폭되었고, 이러한 불안감 해소를 위해 2015년부터 장외영향평가제도가 도입되었다. 장외영향평가제도는 대부분의 화학물질을 대상으로 하며, 반도체, 디스플레이, 태양광 산업 등 첨단산업 분야에서 주로 사용되는 대부분의 고압 독성가스가 이에 포함된다. 우리나라 기업들이 첨단산업 분야에서 높은 경쟁력을 보유한 만큼, 국내에서 고압 독성가스 사용량은 지속적으로 증가하고 있으며 이에 따라 사고발생 가능성도 높아질 것으로 예상된다. 이러한 상황에 따라 본 연구에서는 국내에서 사용되는 고압 독성가스 중 제조량 및 사용량이 높은 물질을 대상으로 미국 환경보호청과 미국 해양대기국이 공동 개발한 ALOHA 프로그램을 활용하여 사고영향범위를 평가하였으며, 알진의 사고영향범위가 4,700 m로 가장 넓은 것으로 나타났다. 사고영향범위 결과는 고압 독성가스 누출 시 효과적인 안전거리 결정에 활용할 수 있을 것으로 기대한다.