• 한국광학회지
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• 제18권3호
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• pp.221-225
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• 2007

근적외선에서 발광하는 새로운 증폭 매질인 Bi 첨가 알루미노실리케이트 유리의 용융 온도를 낮추면서도 증폭 특성이 향상될 수 있도록 금속 산화물을 첨가한 샘플을 제작하여 분광학적 특성을 분석하였다. $Li_{2}O$의 조성비가 증가하면 형광스펙트럼의 반폭치는 증가하지만 형광 강도가 저하되고, $GeO_{2}$의 영향으로는 반폭치와 형광 강도가 동시에 증가하였다. $GeO_{2}$를 첨가한 시료에서 광 증폭 특성을 측정한 결과, 이전의 벌크 샘플에서 얻었던 것보다 우수한 증폭 특성을 가지고 있음을 확인하였다.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제22권1호
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• pp.64-71
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• 2023

In this study, we investigated the effects of BiAlSiO glass composition on its glass forming range, thermal properties, and plasma resistance. The results showed that increasing the Al2O3 content suppressed the tendency for crystallization and hindered glass formation beyond a certain threshold. Bi2O3 was found to increase the content of non-bridging oxygen, resulting in a decrease in glass transition temperature and an increase in thermal expansion coefficient. Furthermore, the etching rate was found to improve with increasing Al2O3 content but decrease with increasing SiO2 content. It was concluded that the boiling point of fluorinated compounds should be considered to 900℃. Therefore, this study is expected to contribute to the understanding of the properties of BiAlSiO glass and its application to low temperature melting PRG compositions.

• 한국결정성장학회지
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• 제34권4호
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• pp.131-138
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• 2024

본 연구에서는 소결된 알루미나 기판에 코팅된 35Bi₂O₃-15Al₂O₃-50SiO₂(BiAlSiO) 및 35Bi₂O₃-7.5Al₂O₃-50SiO₂-7.5AlF₃(BiAlSiOF) 유리층의 미세구조와 플라즈마 저항 특성이 소결 조건에 따라 어떻게 변화하는지를 조사하였다. 코팅된 층은 바 코팅(bar Coating) 방법을 사용하여 형성되었으며, 이후 탈지 공정을 거쳐 반구 형성 온도 전/후인 700~900℃ 범위의 온도에서 소결 되었다. 내플라즈마성은 석영유리보다 두개의 코팅 유리가 약 2~3배 더 높았으며, F를 첨가한 BiAlSiOF는 BiAlSiO보다 높은 내플라즈성을 나타냈다. 이는 불소 첨가 효과로 판단된다. 소결 온도가 700℃에서 800℃로 증가함에 따라 두 유리 모두 내플라즈마성이 향상되었으나, 900℃까지 소결 온도를 증가시키면 내플라즈마성은 다시 감소한다(즉, 식각률이 높아진다). 이러한 현상은 두 유리의 결정화 거동과 관련 깊은 것으로 판단된다. 소결 조건에 따른 내플라즈마성의 변화는 Al과 Bi-rich 상의 출현여부에 관련된 것으로 생각된다.