Characterization of (Ba,SR)$TiO_xN_y$ thin films deposited by RF Magnetron Sputtering System
(고주파 스퍼터링 방법으로 증착한 (Ba, Sr)$TiO_xN_y$ 박막의 특성 분석)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2001.05a
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- pp.111-111
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- 2001