Chemical mechanical polishing (CMP) process was required for the global planarization of inter-metal dielectric(IMD), inter-level dielectric (ILD) layers of multi-layer interconnections. In this paper, we studied the characteristics of polishing pad, which can apply shallow trench isolation (STI)-CMP process for global planarization of multi-level interconnection structure. Also, we investigated the effects of different sets of polishing pad, such as soft and hard pad. As an experimental result, hard pad showed center-fast type, and soft pad showed edge-fast type. Totally, the defect level has shown little difference, however, the counts of scratch was detected less than 2 on JR111 pad. Through the above results, we can select optimum polishing pad, so we can expect the improvements of throughput and device yield.
The use of compaction grouting system(C.G.S) evolved in the 1950's to correct structural settlement of buildings. Over the almost 50 years, the technology has developed and is currently used in wide range of applications. Compaction Grouting, the injection of a very stiff 'zero-slump' mortar grout under relatively high pressure, displaces and compacts soils. It can effectively repair natural or man-made soil strength deficiencies in variety of soil formations. Major uses of Compaction Grouting include densifying loose soils or fill voids caused by sinkholes, poorly compacted fills, broken utilities, improper dewatering, or soft ground tunneling excavation. Other application include preventing liquefaction, re-leveling settled structures, and using compaction grout bulbs as structural elements of minipiles or underpinning. So, on the basis of the case history constructed in recent year, a study has been performed to analyze the basic mechanism of the Compaction Grouting and verify the effectiveness of the ground improvement.
The number of quantization bits of the input signals $X_k$,$Y_k$ need to be optimally determined through the trade-off between the H/W complexity and the BER performance in Turbo codes applications. Also, an effective means to incorporate a channel reliability $L_c$ in the Log-MAP-based Turbo decoding is highly required. because it has a major effect on both the complexity and the performance. In this paper, a novel bit-shifting approach that substitutes for the multiplying is proposed so as to effectively incorporate. $L_c$ in Turbo decoding. The optimal number of quantization bits of $X_k$,$Y_k$ is investigated through Monte-Carlo simulations assuming that bit-shifting approach is adopted. In addition. The effects of an incorrect estimation of noise variance on the performance of Turbo codes is investigated. There is a confined range in which the effects of an incorrect estimation can be ignored.
A partitioned signature file is an enhancement of the signature file that divides all the signatures into blocks in such a way that each block contains the signatures with the same key. Its directory storesall the keys as meta information for avoiding unnecessary block accesses by examming them first before the acture searching of the blocks.. Efficient directory management is very important in large databasse environments since ist size gets larger proportionally to that of the database. In this paper, we first point out the problems in the directory management methods of the previous partitioned signature files, and then present a new one solving them. OUr method offers good features in the followint three aspects: (1) suitability for large database environments, (2) adaptability to dynamic situations, and (3) storage overhead for the directory. Moreover, we can seamlessly integrate it as a subcomponent into previously-developed general-purpose storage engines. These features show that our method is applicableto signature-based access structures for the content-based retrieval in various multimedia applications such as hypermedia systems, digital library systems, multimedia document systems, multimedia mailing systems, and so on.
Panax ginseng C.A. Meyer(Araliaceae) has been traditionally used as an expensive and precious medicine in oriental countries for more than 5, 000 years. Ginseng saponin isolated from the root of Panax ginseng have been regarded as the main effective components responsible for the pharmacological and biological activities. Such as antiaging effects. antidiabetic effects anticancer effects. Protection against physical and chemical stress. Analgesic and antipyretic effects. Effects on the central nervous system, tranquilizing action and others. Thirty kinds of ginsenosides have been so far isolated from ginseng saponin and their chemical structures have been elucidated since 1960's. Among which protopanaxadiol type is 19 kinds. protopanaxatriol type. 10 kinds and oleanane type, one. Since ginsenosides are generally labile under acidic conditions ordinary acid hydrolysis is always accompanied by many side reactions, such as epimerization. hydroxylation and cyclization of side chain of the sapogenins Especially. it is well known that C-20 glycosyl linkage of ginsenoside was hydrolysed on heating with acetic acid to give an equilibrated mixture of 20(S) and 20(R) epimers. And also, the chemical transformations of the secondary metabolites have appeared during the steaming process to prepare red ginseng. Indicating demalonylation of malonyl ginsenosides, elimination of glycosyl residue at C-20 and isomerization of hydroxyl configuration at C-20. But these studies have not provided a comprehensive picture in explaning how these ginsenosides showed val'iotas pharmacological activities of ginseng. Though some of them have been involved in the mechanism of pharmacological actions. Recently, non-saponin components have received a great deal of attention for their antioxidant, anticancer antidiabetic, immunomodulating. anticomplementary activities and so on. To meet the demand for such wide applications, studies on the non-saponin components play an important role in providing a good evidence of pharmacological and biol ogical activities. Among the non-saponin constituents of Korean ginseng, polyacetylenes, phenols. Sesquiterpenes, alkaloids. polysaccharides oligosaccharides, oligopeptides and aminoglycosides together with ginsenosides of terrestrial part are mainly described.
The Internet of Things (IoT) is growing exponentially, with the number of IoT devices multiplying annually. Accordingly, the paradigm is changing from cloud computing to edge computing and even tiny edge computing because of the low latency and cost reduction. Machine learning is also shifting its role from the cloud to edge or tiny edge according to the paradigm shift. However, the fragmented and resource-constrained features of IoT devices have limited the development of artificial intelligence applications. Edge MLaaS (Machine Learning as-a-Service) has been studied to easily and quickly adopt machine learning to products and overcome the device limitations. This paper briefly summarizes what Edge MLaaS is and what element of research it requires.
Carbon nanotube actuator, working under physical conditions (in aqueous solution) and converting electrical energy into mechanical energy directly, can be a good substitute for artificial muscle. The carbon nanotube actuator simulated in this paper is an isotropic cantilever type with an adhesive tape which is sandwiched between two single-walled carbon nanotubes. For predicting the static and dynamic characteristic parameters, the analytical model for a 3 layer bimorph carbon nanotube actuator is developed by using Euler-Bernoulli beam theory. The governing equation and boundary conditions are derived from energy principles. The induced displacements of the theoretical model are presented in order to investigate the performance of the carbon nanotube actuator with different control voltages. The developed model presents invaluable means for designing and predicting the performance of carbon nanotube actuator that can be used in artificial muscle applications.
The information of the ion composition in plasma applications is required to characterize a plasma. A better understanding of ion species composition ratio and its spacial distribution, etc. is thus necessary in plasma-related processes, such as thin film deposition, plasma-based ion implantation, semiconductor processing, and so on. In this research, a compact ion mass analyzer that is based on magnetic sector analyzer was developed and its operational characteristics were studied in nitrogen plasma.
In this paper, on-chip antennas applicable to ultra low power wireless transceiver are designed and evaluated. Using $0.18{\mu}m$ SiGe MMIC process, 4 types of antenna with $1{\times}1mm^2$ dimensions are fabricated. The on-wafer measurement in a microwave probe station is conducted to measure the input VSWR and antenna performance of the designed on-chip antenna. Performance evaluation results show that developed antennas can be easily integrated into one-chip RF transceiver for ubiquitous applications, including WPAN and human body communications.
Self-preservation effect was identified by means of macroscopic dissociation experiments after keeping natural gas hydrate samples at 258 K for 15 days. The hydrate samples were formed using synthetic natural gas hydrate whose compositions are 90% $CH_4$, 7% $C_2H_6$, and 3% $C_3H_8$. In addition, during the formation, heavy hydrocarbons of propane and ethane are found to occupy hydrate cages in a more favorable way than methane so as to change the gas composition after hydrate formation. Experimental results obtained in this study can provide useful information on applications of natural gas hydrate for storing or transporting natural gas in the form of solid hydrate.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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