Laser micromachining of micron-size aperture for electron beam microcolumn application using the piezo-switched Nd:YAG laser (Piezo Q-Switched Nd:YAG 레이저에 의한 초미니 전자빔 장치용 Micron-Size Aperture의 레이저 미세가공)
-
- Journal of the Korean Vacuum Society
- /
- v.8 no.4A
- /
- pp.456-460
- /
- 1999