• 제목/요약/키워드: Anti-reflecting coating

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Al-MIS(p-Si) 태양전지의 AR Coating 방법 (On the AR Coating Method of Al-MIS(p-Si) Solar Cel)

  • 엄경숙;백수현
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제21권6호
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    • pp.64-69
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    • 1984
  • Al-MIS(p-Si)태양전지의 최대 효율은 Al 박막을 0.6A/sec 이하의 속도로 증착시켜 80Å인 두께가 되었을 때임을 알았다. ZnS와 SiO로 AR coating을 했는데, 단층 피막일때는 각각 570Å과 690Å인 박막 두께에서 최대 Isc를 나타냈다. 이는 quarter-coating 조건인 n1d1=λ/4를 만족함을 알았다. 이중층 피막일 때는 한 층을 단층 피막때의 최적 두께를 유지하면서 다른 한 층을 조절했다. 이때의 최대 Isc는 단층피막일 때와 비슷한 값이었으나 넓은 범위의 두께에서 그 값이 그대로 유지되었다. 한편 dzns/ds10=1.9/2.3=570/690인 관계를 유지하면서 총 두께를 각각의 단층피막때의 최적 두께 합에 대해서 70∼90%로 얇게 했을 때 앞에서 논의한 어떤 경우보다도 20%이상의 더 높은 Isc를 얻을 수 있었다 따라서 높은 효율을 얻으면서 정밀한 두께 조절이 불필요한 새로운 AR coating방법을 얻었다.

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금 증착 적외선 반사판의 반사율 및 수명에 미치는 제조공정 변수의 영향 (Influence of Manufacturing Conditions on the Reflectance and Life Time of the Gold Protected IR Mirror)

  • 최용선;이영기;이유기
    • 한국재료학회지
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    • 제28권4호
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    • pp.201-207
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    • 2018
  • Infrared(IR) heating has many advantages, such as energy efficiency, reduced heating time, cleanliness, equipment compactness, high drying rate and easy automation. These features of IR heating provide widely industrial applications, such as surface heat treatment in semiconductor fabrication, thermoforming of polymers, drying and disinfection of food products, heating to metal forging, and drying of wet materials. In this study, the characteristics of a protected gold mirror were examined by spectrophotometer and the lifetime of the coating layers were evaluated by a cross-cutting method and salt spray test. The effects of manufacturing conditions on the protected gold mirror were seen and remedies for these effects were noted in order to improve the properties of the protected gold mirror in the drying process. The reflectance and lifetime of the protected gold mirror was influenced by manufacturing conditions, such as surface roughness and forming conditions of the anti-oxide layer, the adhesion layer, the reflecting layer and the protection layer. The results of this study showed that the protected gold mirror manufactured using a buffing method for pre-treatment resulted in the most effective reflectance. In addition, $Al_2O_3$ coating on an Al substrate as an anti-oxide layer was more effective than the anodizing process in the test of reflectance. Furthermore, the protected gold mirror manufactured by layers forming of various materials resulted in the most effective reflectance and lifetime when coated with $Al_2O_3$ as the anti-oxide layer, coated Cr as the adhesion layer, and coated $MgF_2$ as the protection layer.

AlTiO 선택적 투과막의 광학적 특성 개선

  • 정소운;방기수;임정욱;이승윤
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.334-334
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    • 2012
  • 태양전지 기술은 우주 항공에서부터 핸드폰과 같은 소규모 가전 시설에까지 폭 넓게 사용되고 있다. 현재 태양전지 기술은 기존의 화석 에너지에 비해 효율 측면에서의 열세함으로 인해 변환 효율을 높이는 연구가 진행되고 있다. 태양전지의 기본 구조에서 고반사막을 대신하여 선택적 투과막을 채용하면 적외선 영역은 광흡수층으로 재반사시키고 가시광선 영역은 선택적으로 투과시킬 수 있기 때문에 태양전지의 변환 효율을 높임과 동시에 채광에 유리한 투명 태양전지를 얻을 수 있다. 본 연구에서는 반응성 분위기에서 AlTi 단일 타겟을 스퍼터링하여 유리 기판 위에 AlTiO 선택적 투과막을 형성하고 광학적 특성을 평가하였다. 기존의 연구에서 스퍼터링으로 형성한 AlTiO 선택적 투과막은 가시광선 영역에서 약 30%의 비교적 높은 반사율을 나타내었다. 이번 연구에서는 광학 두께를 조절함으로써 가시광선 영역에서 반사율이 평균 20% 이상 감소하고 적외선 영역에서 약 30% 이상의 반사율을 나타내는 선택적 투과막을 형성한 결과를 보고한다.

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기판바이어스와 수소열처리에 의한 AZO 투명전도막의 전기적 특성 (Electrical properties of AZO transparent conductive oxide with substrate bias and $H_2$ annealing)

  • 정윤환;안정근;최대섭;박춘배
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.331-331
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    • 2008
  • Transparent conductive oxide (TCO) are necessary as front electrode or anti-reflecting coating for increasing efficiency of LED and Photodiode. In this paper, aluminum-doped Zinc oxide films(AZO) were prepared by RF magnetron sputtering on Si substrate at room temperature with application of substrate bias from -60 to 60 V. Then annealed at temperature of 200, 300 and $400^{\circ}C$ for 1hr in $H_2$ ambient. Structural and electrical property of AZO thin films were investigated.

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저온증착 AZO 박막의 분위기 후열처리에 따른 표면 형상 특성 (The property of surface morphology of AZO films deposited at low temperature with post-annealing)

  • 정윤환;진호;송민종;박춘배
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.417-418
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    • 2008
  • Transparent conductive oxide (TCO) are necessary as front electrode or anti-reflecting coating for increasing efficiency of LED and Photodiode. In this paper, aluminum-doped Zinc oxide films(AZO) were prepared by DC magnetron sputtering on glass(corning 1737) and Si substrate at temperature of $100^{\circ}C$ and then annealed at temperature of $400^{\circ}C$ for 1hr in Ar and vaccum. The AZO films were etched in diluted HCL (0.5 %) to examine the surface morphology properties. After annealing, Structural and electrical property were investigated. The c-axis orientation along (002) plane was enhanced and the electrical resistivity of the AZO film decreased from $1.1\times10^{-1}$ to $1.6\times10^{-2}{\Omega}cm$. We observed textured structure of AZO thin film etched for 2s.

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스퍼터 증착으로 형성된 AlTiO 선택적 투과막의 표면 균질성에 따른 광학적 특성 (Effects of Surface Homogeneity on Optical Properties of Sputter-deposited AlTiO Selective Transmitting Layers)

  • 정소운;임정욱;이승윤
    • 한국진공학회지
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    • 제21권1호
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    • pp.22-28
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    • 2012
  • 건물일체형 태양전지는 투명 연료감응형 태양전지 기술을 중심으로 연구개발이 진행되고 있다. 신뢰성-수율 개선 및 대면적화의 필요성 때문에 잘 정립된 박막 공정 기술에 기초하는 Si계 박막 태양전지가 건물일체형 태양전지를 구현할 기술로서 새롭게 조명 받고 있다. Si계 박막 태양전지에 선택적 투과막을 적용하면 가시광선은 태양전지를 투과하고 적외선은 광흡수층으로 반사되기 때문에 투명 태양전지의 변환효율이 향상된다. 본 연구에서는 선택적 투과막의 증착 기술로서 생산성 측면에서 유리한 스퍼터 증착을 이용하여 AlTiO 선택적 투과막을 형성하고 증착 조건을 조절하여 투과율을 향상시켰다.

Ti-PCS 혼합용액의 전기방사를 통해 제조된 TiO2-SiO2 나노복합 섬유 (TiO2-SiO2 Nanocomposite Fibers Prepared by Electrospinning of Ti-PCS Mixed Solution)

  • 신동근;진은주;이윤주;권우택;김영희;김수룡;류도형
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제53권3호
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    • pp.276-281
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    • 2015
  • $TiO_2-SiO_2$ 나노복합소재는 자체가 화학적으로 안정할 뿐만 아니라 광학적, 열적 특성이 매우 우수하여 광화학센서, 촉매 등 다양한 분야에 적용되고 있다. 이러한 구조를 구현하는 방법으로 티타늄이 첨가된 폴리카보실란(PCS) 혼합용액을 전기방사한 후 이를 적절한 산화분위기에서 열처리하여 부직포상의 $TiO_2-SiO_2$ 나노복합섬유를 만들 수 있는데, 이는 기존의 졸겔공정에 의해 제조되는 섬유보다 더 쉽고 안정적인 방법이다. 공정 중 방사된 섬유를 산화분위기에서 $1200^{\circ}C$ 이상까지 열처리하게 되면 크리스토발라이트 기지조직 내에서 아나타제 나노결정상이 매우 균일하게 형성되었다. 또한, 열처리 후 섬유의 표면과 단면은 매우 치밀하고 매끈하였으며 10~20nm 크기의 아나타제 결정입자들이 내부에 균일하게 분포하였다.