Short Consideration on the Non-Uniformities Existing at the Etched-edges in Deep Anisotropic Etching of(100) Silicon ((100) 실리콘의 깊은 이등망성 식각시 석각면의 가장자리에 존재하는 불균일성의 짤막한 고찰)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.2 no.5
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- pp.383-386
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- 1992