MEMS 공정을 이용한 단결정 실리콘 미세 인장시편과 미세 변형 측정용 알루미늄 Marker의 제조 (Fabrication of Single Crystal Silicon Micro-Tensile Test Specimens and Thin Film Aluminum Markers for Measuring Tensile Strain Using MEMS Processes)
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- 소성∙가공
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- 제13권3호
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- pp.285-289
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- 2004