Aluminum hydroxides were prepared by the alkoxide hydrolysis method using Al-isopropoxide as a starting material and NH4OH as a catalytic agent. When Al-isopropoxide was hydrolyzed in a H2O-NH3 system, only Al(OH)3 was obtained over all pH values. However, AlOOH was formed besides Al(OH)3 when Al-isopropoxide was hydrolyzed in a H2O-NH3-isopropyl alcohol system. The AlOOH/Al(OH)3 ratio was increased as the isopropyl alcohol content was increased. The hydroxides, Al(OH)3 and AlOOH, obtained in this study and the commerical products, $\alpha$-Al2O3 and AlOOH were subjected to the carbothermal reduction and nitridation reaction to product AlN powder, using carbon black as a reducing agent under N2 atmosphere at various temperatures. AlN was synthesized from the obtained Al(OH)3 and the commercial AlOOH at 145$0^{\circ}C$, however, synthesized from the obtained AlOOH and the commercial alpha-alumina at 135$0^{\circ}C$. The temperature difference is assumed to be attributed to the reactivity of those powders. AlN powder prepared from the Al-isopropoxide was observed to have the narrower particle size distribution than that prepared from the commercial $\alpha$-Al2O3 or AlOOH.
Piezoelectric sensors are extensively used to measure force because of their high sensitivity and low cost. however, the development of device with reduced size but with improved sensitivity is highly important. Low-temperature co-fired ceramic (LTCC) is one of promising materials for this application than a silicon substrate because it has very good electrical and mechanical properties as well as possibility of making various three dimensional (3D) structures. In this work, piezoelectric pressure sensors based on hybrid LTCC technology were presented. The LTCC diaphragms with thickness of $400\;{\mu}m$ were fabricated by laminating 12 green tapes which consist of alumina and glass particle in an organic binder. The piezoelectric sensing layer consists of PZT thin film deposited by RF magnetron sputtering method on between top and bottom Au electrodes. The PZT films deposited on LTCC diaphragms were successfully grown and were analyzed by using X-ray diffraction method (XRD) and field emission scanning electron microscope (FESEM).
A development of device with reduced size and improved sensitivity is highly impotant Pb(Zr,Ti)$O_3$ thin films are widely used both to make actuator and sensor due to their high sensitivity and low cost. In this study, the feasibility of a piezoelectric presssure sensors based on hybrid low-temperaute co-fired ceramic (LTCC) technology were presented. The LTCC diaphragms with thickness of $400\;{\mu}m$ were fabricated by laminating 4 green tapes which consist of alumina and glass particle in an organic binder. PZT thin films were successfully prepared on between top and bottom Au electrode with LTCC substrates using RF magnetron sputtering. In addition, The frequency response characteristics of the sensor under varing pressure has been analysed. by Network Analyser (HP-8722D). A frequency shift range has been obseved from 1.7GHz to 1.8GHz with a good linearity for applied pressure from 0 psi up to 25 psi.
Recently, low temperature co-fired ceramic (LTCC) technology is widely used in sensors, actuators and microsystem fields because of its very good electrical and mechanical properties, high stability as well as possibility of making 3D micro structures. In this study, we investigated the effects of on $O_2$ annealing treatment on the electrical properties of Pb(ZrTi)$O_3$ (PZT) thin films deposited on LTCC substrate. The LTCC substrates with thickness of $400\;{\mu}m$ were fabricated by laminating 4 green tapes which consist of alumina and glass particle in an organic binder. The PZT thin films were deposited on Au / LTCC substrates by RF magnetron sputtering method. The change of the crystallization of the films were investigated under various atmosphere. The structural variation of the films were analyzed by using X-Ray diffraction (XRD) and field emission scanning electron microscopy (FESEM) and secondary ion mass spectrometry (SIMS).
Silver paste with low sintered temperature has been developed in order to apply electronic parts, such as bus electrode, address electrode in PDP (Plasma Display Panel) with large screen area. In this study, nano-sized silver particles with 10-30 nm were synthesized from silver nitrate ($AgNO_3$) solution by chemical reduction method and silver paste with low sintered temperature was prepared by mixing silver nanoparticles, conventional silver powder with the particle size 1.6 um and Pb-free frit. Conductive thick film from silver paste was fabricated by screen printing on alumina substrate. After firing at $540^{\circ}C$, the cross section and surface morphology of the thick films were analyzed by FE-SEM. Also, the sheet resistivity of the fired thick films was measured using the four-point technique.
In this study, the influence of cement factor on the early strength gain and the other properties of concrete is discussed. According to the result, the setting time is faster in order of alumina cement(AC), high-early-strength cement(HSC) and ordinary Portland cement(OPC), and when OPC are replaced with HSC and AC, the final setting time is faster than when only OPC is used. At 10% replacement of AC, the instant setting happens. As the particle of cement is minute, setting time is shortened. As the properties of hardened concrete, the time when compressive strength of 5㎫, which the form can be removed, is gained is about 18 and 16 hours in the case of OPC and HSC respectively, and in the case of AC, it is about 5 hours. It also shows 16 hours at the replacing ratio of HSC of 50%, and 26 and 72 hours at the replacing ratio of AC of 5 and 10% respectively. And it shows 21, 16 and 12 hours with variation of fineness of cement, so early strength gain is fast with an increase of fineness. The coefficient of correlation between compressive strength and the rebound value is over 0.97, is very favorable. Therefore, if the rebound value of P type Schmidt hammer is more than 25, it is thought that the side forms can be removed.
Mechanical property enhancing mechanisms of $Al_2O_3-ZrO_2$ two phase ceramic composites were studied for several compositions of different $ZrO_2$/$Al_2O_3$ ratio. Microstructural analysis of $Al_2O_3-ZrO_3$(pure) composites indicated that pre-existing microcrack due to larger $ZrO_2$ particle at grain boundary extended along alumina grain boundaries within process zone. Microcracks also nucleated when very small $ZrO_2$ particles at the grain boundaries transformed to monoclinic phase at near of main crack tip. These types of microcracks could contribute to the toughening achieved by creating additional crack surface area during crack propagation. Microstructural analyses also showed that the average grain size and abnormal grain size of $Al_2O_3$ were decreased with increasing $ZrO_2$ vol% in $Al_2O_3$ matrix. As a result it could be concluded as follows In TEX>$Al_2O_3-ZrO_3$(pure) system 1. Microcrack nucleation (stress-induced microcracking) and extension was effective mechanism for absorpiton of fracture energy 2, More narrow distribution and smaller grain size of $Al_2O_3$ due to $ZrO_2$particles mainly contributed to main-tatin the strength and hardness.
Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition(PEALD)와 Atomic Layer Deposition(ALD) Techniques는 '정확한 두께 조절' 및 '우수한 균일도'를 가지는 신뢰할 수 있는 진공 기술이다. 본 연구에서는 다공성 구조를 가지는 기판을 대상으로 PEALD와 ALD Techniques을 이용한 $Al_2O_3$ 형성 공정의 증착 특성을 비교하였다. 각 공정은 공통적으로 Tris-Methyl-Aluminium(TMA)을 첫번째 전구체로 사용하였고 purge gas로는 Nitrogen를 사용하였다. 그리고 두번째 전구체로 PEALD 공정에서는 Oxygen Plasma를 사용하였고 ALD 공정에서는 Water를 사용하였다. 복잡한 다공성 구조를 가지는 기판은 $TiO_2$ Nano-Particle paste과 colloidal Silver paste를 소결시켜 제작하여 사용하였다. 각 공정의 차이점을 비교하기 위해서 배기단에 Capacitor Diaphram Gauge(CDG)와 Residual Gas Analyzer(RGA)를 통해서 압력과 잔류 가스를 모니터하였다. 그리고 각 공정을 통해서 porous한 Nano-Particles Network에 형성된 $Al_2O_3$막의 특성을 비교하기 위해서 FE-SEM과 EDX를 통해서 관찰하였다. 또한 좀 더 자세한 비교 분석을 위해서 $Al_2O_3$ 막이 형성된 porous한 Nano-Particles Networks의 각 각의 particles들을 분산시켜 TEM과 AFM를 통해서 관찰하였다. 나아가 전기적 물성의 차이점을 비교하기 위해서 IV 및 CV를 측정하였다. 위의 일련의 비교 실험을 통해서 'PEALD과 ALD을 이용한 다공성 기판의 증착 특성'에 대하여 고찰하였다.
[ ${\alpha}-Al_2O_3$ ] nanopowders were fabricated by the thermal decomposition and synthetic of Ammonium Aluminum Carbonate Hydroxide (AACH). Crystallite size of 5 to 8 nm were fabricated when reaction temperature of AACH was low, $8^{\circ}C$, and the highest $[NH_4{^+}][AlO(OH)_n{(SO_4){^-}}_{3-n/2}][HCO_3]$ ionic concentration to pH of the Ammonium Hydrogen Carbonate (AHC) aqueous solution was 10. The phase transformation fem $NH_4Al(SO_4)_2$, rhombohedral $(Al_2(SO_4)_3)$, amorphous-, ${\theta}-,\;{\alpha}-Al_2O_3$ was examined at each temperature according to the AACH. A Time-Temperature-Transformation (TTT) diagram for thermal decomposition in air was determined. Homogeneous, spherical nanopowders with a particle size of 70 nm were obtained by firing the 5 to 8 m crystallites, which had been synthesized from AACH at pH 10 and $8^{\circ}C,\;at\;1150^{\circ}C$ for 3 h in air.
Monometallic, bimetallic and trimetallic particles consisting of different weight compositions of Pt-Pd-Rh over pure alumina wash coats have been synthesized and their catalytic performance on methane conversion was studied from 150 to $600^{\circ}C$. Different catalyst formulations with variable Pt, Pd and Rh contents for bimetallic and trimetallic systems were tried and $Pt_{(1.5)}Rh_{(0.3)}/Al_2O_3$ and $Pt_{(1.0)}Pd_{(1.0)}Rh_{(0.3)}/Al_2O_3$ shows low $T_{50}$ and $T_{90}$ temperatures. Bimetallic and trimetallic particle synergism acts as three way catalysts and therefore, all the catalysts show 100% methane conversion. The effect of supports such as $ZrO_2$ and $TiO_2$ on methane combustion was investigated; from $T_{50}$ and $T_{90}$ results both $Al_2O_3$ and $ZrO_2$ are suitable supports for low temperature methane combustion.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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