• 제목/요약/키워드: Alternating Direction Implicit Method

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반도체 내에서의 2차원 불순물 분포를 얻기 위한 수치해법의 비교 (comparison of Numercal Methods for Obtaining 2-D Impurity Profile in Semiconductor)

  • 양영일;경종민;오형철
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제22권3호
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    • pp.95-102
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    • 1985
  • 반도체 내에서의 불순물 분포를 구하기 위한 2차원 확산문제를 푸는 효과적인 수치 해법을 제시하였다. ADI(Alternating Direction Implicit) 방법과 Gauss 소거법의 조합에 의한 수치해법을 사용하므로써 SOR(Successive Over-Relaxation)이나 stone 방법에 비하여 전산기의 메모리 사용량을 중가시키지 않 고도 거의 모든 확산 조건에 대하여 CP비시간을 1/3 이하로 줄일 수 있었다. 상대오차의 크기를 0.01%이내로 하고 1차원과 2차원 문제에 대하여, 여러가지 수치해법의 CPU를 비교하였다. 1차원 계산결과와 실험결과가 잘 일치하였고, 2차원 계산결과를 1차원 계산결과와 잘 비교한 결과, 일치함을 알 수 있었다.

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연안역 개발에 따른 해안과정의 변화 (The Change of Nearshore Processes due to the Development of Coastal Zone)

  • 이중우;이상진;이호;정대득
    • 한국항만학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.155-166
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    • 1999
  • The construction of the coastal structures and reclamation work causes the circulation reduced in the semi-closed inner water area and the unbalanced sediment budget of beach results in an alteration of beach topography. Among the various fluid motions in the nearshore zone water particle motion due to wave and wave-induced currents are the most responsible for sediment movement. Therefore it is needed to predict the effect of the environmental change because of development and so the prediction of wave transformation dose. The purpose of this study is to introduce the relation between waves wave-induced currents and sediment movement. In this study we will show numerical method using energy conservation equation involving reflection diffraction and reflection and the surfzone energy dissipation term due to wave breaking is included in the basic equation. For the wave-induced current the momentum equation was combined with radiation stresses lateral mixing and friction Various information is required in the prediction of wave-induced current depending on the prediction tool. We can predict changes in wave-induced current from the distribution of wave especially near the wave breaking zone. To evaluate these quantities we have to know the local condition of waves mean sea level and so on. The results from the wave field and wave-induced current field deformation models are used as input data of the sediment transport and bottom change model. Numerical model were established by a finite difference method then were applied to the development plan of the eastern Pusan coastal zone Yeonhwa-ri and Daebyun fishing port. We represented the result with 2-D graphics and made comparison between before and after development.

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영산강 하구둑 및 영암-금호방조제의 방류에 의한 목포항 주변수역의 유동변화 및 선박운용에 미치는 영향에 관한 연구 (A Study on the Change of Current in the Vicinity of Mokpo Harbor and Its Impact on Ship Operation due to the Discharge through Yongsan River Estuary Weir and Yongam-Kumho Sea Dike)

  • 정대득;이중우;국승기
    • 한국항만학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.133-146
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    • 1999
  • Mokpo coastal area is connected to the adjacent a long river and two large basins. It is essential for port planning coastal zone management and environmental impact study to analyze the data related to the ship operation and variation of current and water quality due to the development of water area including dredging reclamation and estuary barrage. The Yongsan river estuary weir and Yongam-Kumho basins discharge much of water through water gates for the purpose of flood control and prohibit salt intrusion at the inland fresh water area. To meet this purpose discharge through the gates have been done at the period of maximum water level difference between inner river and sea level. This discharged water may cause the changes of current pattern and other environmental influences in the vicinity and inner area of semi-closed Mokpo harbor. In this study ADI method is applied to the governing equation for the analysis of the changes on current pattern due to discharged water. As the results of this study it is known that the discharging operation causes many changes including the increase of current velocity at the front water area at piers approaching passage and anchorages. Discussion made on the point of problems such as restricted maneuverability and the safety of morred vessels at pier and anchorage. To minimize this influence the linked gate operation discharging warning system and laternative mooring system are recommended.

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급속 열처리시 실리콘 웨이퍼의 온도분포와 슬립 현상의 해석 (Analysis of Temperature Distribution and slip in Rapid Thermal Processing)

  • 이혁;유영돈;엄윤용;신현동;김충기
    • 대한기계학회논문집
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    • 제16권4호
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    • pp.609-620
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    • 1992
  • 본 연구에서는 텅스텐 할로겐 램프를 이용한 급속 열처리 장치로 웨이퍼를 가 열할 때 시간에 따라 변하는 웨이퍼의 2차원 온도 분포와 온도 구배에 의해 발생하는 열응력을 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 따라 다른 값을 갖는 탄성계수를 고려하여 계산 하고, 슬립의 발생 시기, 웨이퍼의 가열속도와 슬립량의 관계, 그리고 웨이퍼에 발생 한 슬립의 진전 특성에 대하여 살펴보고 실험결과와 비교하였다.

ADI-FDTD 방법을 이용한 3차원 인터커넥트 모델링 (Modeling of 3-D Interconnect Line Using ADI-FDTD Method)

  • 최익준;김연태;원태영
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제39권8호
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    • pp.52-63
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    • 2002
  • 본 논문에서는 3차원 인터커넥트(3-D interconnect) 구조를 해석하기 위하여 ADI-유한차분시간영역(ADI-FDTD, Alternating Direction Implicit Finite Difference Time Domain)방법으로 맥스웰 회전방정식(Maxwell's curl equation)을 계산하는 수치 해석 모델을 개발하였다. 3차원 인터커렉트 모델내의 전자기파 문제를 해석하기 위하여 맥스웰 회전 방정식을 ADI-유한차분시간영역방법으로 이산화 하였으며, ADI-유한차분시간영역의 경계에서 발생하는 반사파를 해결하기 위하여 흡수 경계 조건인 완전 정합 층 방법(PML, Perfectly Matched Layer)을 도입하였다. 개발한 ADI-유한차분시간영역방법 및 완전 정합 층의 수치 모델을 검증하기 위하여 3차원 마이크로스트립 전송선(microstrip transmission line) 구조를 3차원 그리드(grid) 구조로 모델링한 후, 시간영역에서 전계 분포를 컴퓨터로 모의 실험하였다. 그리고 본 논문에서 제안한 ADI-유한차분시간영역방법과 종래의 스탠다드 유한차분시간영역방법의 수치적 성능을 정량적으로 비교, 분석하였다.