A study on the growth morphology of AlN single crystal according to the change in temperature using HVPE method (HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 온도 변화에 따른 AlN 단 결정의 성장 형상에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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- v.34 no.1
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- pp.36-39
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- 2024