정전유전체를 이용한 반도체공정에서의 배출가스 처리성능 특성 연구 (Experimental A Study on the Removal for Hazardous White Smoke and Aerosols using Dielectric Coagulation System to Treat off-gases from Semiconductor Manufacturing)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.1221-1222
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- 2012