• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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• pp.286-287
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• 2007

본 논문에서는 최근 유체소자 재료로써 많이 사용되고 있는 polymethyl methacrylate (PMMA)의 레이저 직접식각에 관한 특성을 나타내었다. 식각을 위한 레이저 원으로 기본파가 1064 nm, 반복율이 10 Hz인 Nd:YAG 레이저의 4고조파 성분 ($\lambda$=266 nm)을 사용하였다. X-Y-Z 축으로 이동 가능한 스테이지의 수평 이동속도를 변화시키며, 표면으로 조사되는 펄스 수를 제어하였다. 식각 후 광학현미경으로 식각 단면을 조사하여 식각 깊이와 폭을 측정하였다. 측정된 식각 깊이로부터 식각률을 계산하고, 그 값과 레이저 빔 밀도와의 관계를 알아보았다. 그 결과 시료 표면에 조사되는 레이저 빔 밀도의 로그값과 선형적인 관계를 갖는 것을 확인할 수 있었다. 또한 주사전자현미경을 이용하여 채널 형상 및 채널 내벽을 관찰하였다. 마이크로 채널 내벽에 식각 과정에서 발생한 생성물의 제거를 위해, 레이저 식각과 함께 질소가스 블로잉을 해주었다. 질소 블로잉 압력 1500 torr에서 식각 잔유물이 제거된 내벽을 볼 수 있었다. 실험결과, Nd:YAG 4고조파를 이용하여 PMMA 기판상에 유체 이동을 위한 마이크로 채널을 형성시킬 수 있었다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제39권3호
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• pp.219-227
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• 1992

연구배경 : 기관지 천식의 병인에 염증반응이 중요한 역할을 한다고 알려져 있고 염증을 억제하기 위해 스테로이드제제가 치료제로서 가장 많이 사용되고 있다. 흡입용 스테로이드는 전신적 부작용이 적어 경구용 스테로이드보다 비교적 안전하게 사용되고 있으나 효과와 부작용에 대하여는 아직 논란이 많다. 이에 저자들은 기관지 천식환자에서 흡입용 스테로이드인 budesonide의 효과와 전신적 부작용의 지표로서 부신피질-뇌하수체축에 대한 영향을 알고자 본 실험을 했다. 방법 : 강남성모병원에 내원한 기관지 천식환자 23명에서 내원당시, placebo투여 2주후, budesonide투여후 3주와 6주에 임상증상, 폐기능 검사, 히스타민 기도 유발검사, 오전 8시와 오후 4시의 ACTH 및 cortisol을 측정하여 비교하였다. 결과 : 1) 폐기능의 변화 : PEFR, FEV1, FVC가 budesonide 치료 3주일부터 증가하기 시작하여 치료전보다 의미있는 개선효과가 있었다. 2) 증상의 변화 : 호흡곤란 치료후 3주일과 6주일후에 의미있는 증상의 개선이 있었다. 객담 : 치료후 3주일과 6주일에 치료전보다 의미있는 증상의 개선이 있었다. 수포음 : 치료후 3주일과 6주일에 의미있는 차이가 있었다. 3) 히스타민 기도 유발 시험 : 치료 3주일에는 의미있는 차이는 없었으나, 치료 6주일에 의미있는 차이가 있었다(p<0.05). 4) 혈중 Cortisol의 변화 : Budesonide 6주일 치료후에 오전 8시와 4시의 cortisol에는 의미있는 차이가 없었다. 5) 혈중 ACTH의 변화 : Budesonide 6주 치료 전후의 혈중 ACTH에는 영향이 없었다. 결론 : 이상의 결과로 기관지 천식의 치료에 흡입용 스테로이드인 budesonide는 하루 $800{\mu}g$씩 투여할 경우 치료후 3주일부터 유의한 증상의 개선효과가 나타나기 시작하여 6주일후에는 3주일보다 임상증상이 더욱 개선되고, 부신피질-뇌하수체축에는 뚜렷한 억제능이 없는 것으로 사료된다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제22권4호
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• pp.868-878
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• 1998

There are recently increasing needs for precision XYZ-stage in the fields of nanotechnology, specially in AFMs(Atomic Force Microscope) and STMs(Scanning Tunneling Microscope). Force measurements are made in the AFM by monitoring the deflection of a flexible element (usually a cantilever) in response to the interaction force between the probe tip and the sample and controlling the force neasyred constant topography can be obtained. The power of the STM is based on the strong distance dependence of the tunneling current in the vacuum chamber and the current is a feedback for the tip to trace the surface topography. Therefore, it is required for XYZ-stage to position samples with nanometer resolution, without any crosscouples and any parasitic motion and with fast response. Nanometer resolution is essential to investigate topography with reasonable shape. No crosscouples and parasitic motion is essential to investigate topography without any shape distortion. Fast response is essential to investigate topography without any undesirable interaction between the probe tip and sample surface ; sample scratch. To satisfy these requirements, this paper presents a novel XYZ-stage concept, it is actuated by PZT and has a monolithic flexible body that is made symmetric as possible to guide the motion of the moving body linearly. PZT actuators have a very fast response and infinite resolution. Due to the monolithic structure, this XYZ-stage has no crosscouples and by symmetry it has no parasitic motion. Analytical modeling of this XYZ-stage and its verification by FEM modeling are performed and optimal design that is to maximize 1st natural frequencies of the stage is also presented and with that design values stage is manufactured.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제6권4호
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• pp.23-27
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• 2007

Rotary stages in semiconductor, display industry and many other fields require challenging accuracy to perform their functions properly. Especially, Axis of rotation error on rotary system is significant; such as the spindle error motion of the aligner, wire bonder and inspector machine which result in the poor quality products. To evaluate and improve the performance of such precision rotary stage, undesired movements on the other 5 degrees of freedom of the rotary stage must be measured and analyzed. In this paper, we have measured the three translations and two tilt motions of the worm gear type spindle with high precision capacitive sensors. To obtain the radial error motion, we have used Donaldson's reversal technique. And the axial components of the spindle tilt error motion can be obtained accurately from the axial direction outputs of sensors by Estler face motion reversal technique. Further more we have designed and developed the sensor mounting jig with standard cylinder for reversal method.

• 디자인학연구
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• 제12권4호
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• pp.231-241
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• 1999

본 연구의 목적은 리챠드 마이어 미술관의 설계방식과 형태요소를 분석하는 데 있으며 분석을 통해 미술관의 공간적 특성을 파악하는 데 있다. 리챠드 마이어의 미술관은 전시공간으로서 미술품을 효과적으로 전시하고 있을 뿐 아니라 문화공간으로서 방문자에게 건축이라는 예술을 경험하게 한다. 마이어는 자신의 미술관을 설계하기 위하여 미스 반 데르 로에와 르 꼬르뷔제로부터 배운 설계방법과 형태언어를 지혜롭게 활용하였다. 그는 구조격자를 기초로 하는 합리적인 사각형 형태는 전시공간을 위하여 역할을 하게 하는 한편, 원, 부분원과 같은 기하학적 형태언어는 조형적 공간을 위하여 사용함으로써 기능적 공간과 조형적 공간 사이의 균형을 유지하였다. 그의 미술관에서 구조와 분리된 유리벽과 램프는 중요한 표현수단이 된다. 램프는 건축적 산책로로서 건축물의 내.외부공간을 감상하게 할 뿐 아니라 전시통로로서 다양한 거리와 각도에서 미술품을 반복해서 보게 하며 커다란 유리벽은 변화로운 미술관의 실내를 외부로 전달해 준다. 두 사람의 거장으로부터 계승된 설계방법과 언어와 비교하여 마이어에 의해 발전된 설계원칙과 요소는 주로 미술관의 배치와 전시계획, 입면구성에 적용되어 독창성을 발휘하게 된다. 부지 주변의 도시적 짜임과 역사적 건물로부터 이끌어진 배치원칙은 그의 미술관을 주변환경과 조화되게 하였으며 비틀어진 축의 도입은 배치계획에 변화와 전환의 효과를 가져다 주었다. 미술관의 전시공간은 질서있게 배치된 전시집기에 의해 활기를 띠게 된다. 간막이와 전시선반, 니체, 스테이지 등의 요소를 융통성있게 결합시킨 형식의 전시집기는 공간을 분할하는 간막이로서, 미술품을 진열하는 가구로서, 형태를 창조하는 형태요소로서 복합적인 역할을 수행하게 된다. 정연하게 배치된 전시집기는 또한 여러개의 시각적 축과 중심을 발생시켜 사람들로 하여금 다양한 각도에서 투시적 시각으로 미술품을 감상하게 하는 독특한 환경을 창조하게 된다.