• 유공압시스템학회논문집
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• 제1권3호
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• pp.1-6
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• 2004

In the last few years, a considerable number of studies have been made on On-Off solenoid for fluid control. But, only few attempts have so far been made at solenoid actuator for high-voltage circuit breaker. In case of the high-pressure and high-flow system like high-voltage circuit breaker, a big size of On/Off solenoid is necessary which size is proportional to control pressure and flow rate. So, it is non-effective in the view point of system optimization. In this paper, On/Off solenoid actuator with the farce amplifier connected to the solenoid rod was proposed to get a high mechanical force and a fast response time. The magnetic force and the mechanical stress distributions were analysed using finite element analysis. The performances of suggested solenoid actuator were evaluated through the experimental results and compared with the analysis results.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제12권4호
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• pp.1509-1514
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• 2011

IT 제품의 핵심 전자부품에는 MLCC, chip inductors, chip Varistors 등이 있다. chip의 전기적 특성을 검사하기 위해 리노핀을 이용한 접촉검사 방식이 사용되고 있다. 리노핀을 이용한 칩 검사에 고속으로 구동할 수 있는 Actuator가 필요하다. 그 중 PZT Actuator는 압전소자를 이용한 마이크로 Actuator의 하나로 높은 분해능 및 좋은 응답성 그리고 큰 힘을 낼 수 있는 장점을 가지고 있다. 하지만 진동변위가 매우 작다는 단점이 있다. 그래서 이러한 단점을 극복하기 위하여 변위 증폭구조를 설계하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 따라서 본 논문에서는 유연힌지를 이용한 지레구조 증폭기구를 설계하였으며, 반도체칩 검사장비 산업분야에서 성능검사 및 전기적 특성을 측정할 수 있는 리노핀용 고속구동 Actuator 시스템을 개발하였다.