• 제목/요약/키워드: 흡수선

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X-선 노광용 마스크 제작공정에 관한 연구 (A Study on the Mask Fabrication Process for X-ray Lithography)

  • 박창모;우상균;이승윤;안진호
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제7권2호
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    • pp.1-6
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    • 2000
  • X-선 노광용 마스크의 재료로서 SiC와 Ta박막을 각각 ECR플라즈마 CVD, 스퍼터링 장비를 이용하여 증착한 뒤 잔류응력, 미세구조, 표면상태, 그리고 화학적 결합상태 등을 조사하였고, ECR etching system을 이용하여 Ta박막 미세 식각 특성을 연구하였다. SiC박막은 $N_2$분위기에서 RTA를 통하여 X-선 투과막 물질로서 필요한 적절한 인장응력을 변화 시킬 수 있었고, 공정 압력을 조절하여 증착한 Ta박막은 높은 밀도와 우수한 표면 평활도를 가지고 시간과 온도에 따른 응력의 안정성이 좋은 X-선 흡수체를 증착할 수 있었다. 또한 Cl 플라즈마는 흡수체 물질 Ta에 대해 좋은 식각특성을 보였고, two-step 식각을 통해 microloading effect를 억제함으로써 0.2 $\mu\textrm{m}$이하의 미세패턴을 식각해 낼 수 있었다.

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인공위성관측과 지상관측에 의한 Be성과 B성의 연구 (Ground-based and On-satellite Observations of Be and B Stars)

  • 정장해
    • Journal of Astronomy and Space Sciences
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    • 제5권1호
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    • pp.9-18
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    • 1988
  • 연세대학교 천문대에서 1983~1987 기간에 Be 성 $\gamma$ Cas을 총 31일 밤 광전측광관측을 하여 312개의 UBV관측점을 얻었다. 우리가 얻은 자료 중에서 비교적 관측시간이 길었던 5일분의 자료로, V, B-V, U-B광도 곡선을 만들었고, $\gamma$Case 의 일반적인 측광학적 특성을, V/R번화와 최근 IUE 인공위성관측에서 나타난 high velocity narrow component(hvnc)의 시기와 관련시켜 검토하였다. 또한, $\epsilon$ Per는 $H\beta$선의 모양(line, profile)이 심하게 변하는 이색적인 B형 별인데, 우리는 1984년에 IUE인공위성에서 관측한 이 별의 스펙트럼 image data 6개조를 분석하여 $H\beta$선에서와 같은 흡수선의 모양 변화가 UV영역의 SiIVsk CIV선에서도 일어나고 있는지를 비교검토한 결과, 이 6개 자료에서는 어떤 변화도 발견하지 못했다.

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Sparse 표현을 이용한 X선 흡수 영상 개선 (X-ray Absorptiometry Image Enhancement using Sparse Representation)

  • 김형일;엄원용;노용만
    • 한국멀티미디어학회논문지
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    • 제15권10호
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    • pp.1205-1211
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    • 2012
  • 대사성 골 질환인 골다공증(Osteoporosis)의 조기 진단을 위해 X 선 영상에서 골 밀도를 측정하는 방법이 최근 연구되고 있다. 골 밀도는 X 선 영상에서 뼈가 분리되고, 분리된 영역에서의 픽셀에 의해 BMD가 측정되는데, 개선된 영상에서의 정밀한 뼈 추출이 주요한 요소이므로 X 선 영상의 개선은 골다공증의 조기 진단을 위해 필수적이다. 본 논문에서는 sparse 표현을 도입하여 다중(multiple) 잡음을 갖는 X 선 영상을 개선시키는 방법을 제안한다. 실험을 통해 제안한 방법의 결과가 기존의 방법인 웨이블릿 BayesShrink 잡음 제거 방법 및 일반적 sparse 표현 모델의 잡음 제거 방법의 결과에 비해 개선됨을 CNR(Contrast to Noise Ratio) 및 cut-view를 통해 확인하였다.

Photon Beam에 대한 Kerma와 흡수선량의 측정 (A Measurement of Kerma and Absorbed Dose in Photon Fields)

  • 김성희;신승애;추성실
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • 제11권1호
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    • pp.77-82
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    • 1986
  • Kerma와 흡수선량 사이의 관계를 결정하는 것은 선량측정의 기본적인 문제이다. 본 연구에서는 고에너지 치료용 선형가속기의 6MV X-선과 감마치료기의 $^{60}Co$에 대한 kerma와 흡수선량을 측정하였다. 본 실험결과는 $^{60}Co$감마선에 의한 물과 알루미늄의 과도 평형 영역에서의 흡수선량이 실제적으로 kerma와 일치하였으며, 최대선량 깊이는 6MV와 $^{60}Co$에서 각각 $1.45g/cm^2$$0.48g/cm^2$이었다. 최대 build-up에서의 흡수선량과 표면에서의 충돌 kerma의 비($K^{att}$)는 표준 조사면에서 물과 알루미늄에 대해, 6MV인 경우는 0.949, $^{60}Co$인 경우는 0.992이었다. 이 결과는 $K^{att}$의 물질에 대한 의존성이 매우 작음을 보여준다.

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