Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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2018.06a
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pp.49.2-49.2
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2018
스퍼터링에 의해 증착된 박막 내 기계적 응력 발생 현상을 규명하기 위하여 활발한 이론적, 실험적 접근이 있었으나, 복잡한 플라즈마 증착환경 내에서 다양한 증착 파라미터로 인해 정확한 응력 발생 메커니즘에 대해 아직도 완벽한 규명이 되지 않은 상황이다. 본 연구에서는 몰리브데늄 (Mo)과 텅스텐 (W) 박막을 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착 시 발생하는 잔류응력 발생 현상에 대해 논의하겠다. Mo 박막의 경우 증착압력을 2.5 mTorr와 4.1 mTorr로 고정시킨 채 기판 바이어스를 0-250 V 간격으로 변화시킨 결과, 2.5 mTorr에서는 기판바이어스가 증가할수록 압축응력이 증가하는 반면 4.1 mTorr에서는 기판바이어스가 증가할수록 인장응력이 증가하는 것이 확인되었다. 이러한 반대 경향의 잔류응력을 발생시키는 기판 바이어스 효과를 확인하기 위하여 증착 파라미터 변경에 따른 박막 성장 거동 모델을 제시한다. W 박막은 준안정상인 ${\beta}$-상이 증착 초기(2.5 nm)에 형성이 되고, 증착 과정에서 열역학적 안정상인 ${\alpha}$-상으로 상변태 하였다. 상변태에 의한 부피 변화에 따른 잔류응력 발생의 분석을 위하여 X-ray 회절피크의 비대칭성을 분석한 결과 압축응력과 인장응력이 공존하고 있는 것으로 확인되었다. 본 연구결과는 스퍼터링 공정 시 높은 에너지를 가지는 중성화된 Ar과 스퍼터된 원자가 기판과 충돌 시 atomic peening effect에 의해 압축응력이 발생한다는 일반적인 이론과 상충되는 결과로서, Mo 및 W 박막 내 잔류응력 제어를 위한 방안을 제시한다.
Lee, Mi Hey;Lee, Myeong Seong;Lee, Jae Man;Chun, Yu Gun
보존과학연구
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s.33
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pp.57-67
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2012
The Uiseong Tapriri Five-Storied stone pagoda has occurred exfoliation, granular disintegration and discoloration by physical and chemical weathering factors with the major deterioration occurring due to efflorescence by salt. According to the results of SEM-EDS and X-ray diffraction analysis, salts consists of gypsum, taranakite. Artificial salt weathering tests were carried out using the same type of rocks as those in the stone pagoda. The test results showed that efflorescence occurred on the surface of the rock, and that exfoliation and granular disintegration occurred inside the rock due to salt crystallization.
KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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v.11
no.2
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pp.77-89
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1991
Based on Boussinesq equation, the parabolic approximation equation is used to analyse the propagation of shallow water waves with currents over slowly varying depth. Rip currents (jet-like) occur mainly in shallow waters where the Ursell parameter significatly exceeds the range of application of Stokes wave theory. We employ the nonlinear parabolic approximation equation which is valid for waves of large Ursell parameters and small scale currents. Two types of currents are considered; relatively strong and relatively weak currents. The wave propagating over rip currents on a sloping bottom experiences a shoaling due to the variations of depth and current velocity as well as refraction and diffraction due to the vorticity of currents. Numerical analyses for a nonlinear theory are valid before the breaking point.
Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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2011.04a
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pp.425-429
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2011
The development of metal plasma generated by high laser irradiance and its effect on the surrounding air using shadowgraph images after laser pulse termination are studied; hence the formation of laser supported detonation and combustion processes has been investigated. The core of the paper is in detecting chemical reaction using X-Ray Diffraction (XRD) between ablated aluminum plasma and oxygen from air by inducing high power laser pulse (>1000 mJ/pulse) and conduct a quantitative comparison of chemically reactive laser initiated waves with the classical detonation of exploding aluminum (dust) cloud in air. This study may suggest a new approach of initiating detonation from metal sample in its bulk form without the need of mixing nano-particles with oxygen for initiation.
광학세계에서는 한동대학교 홍경희 교수의 저서 "기초광공학"을 연재하고 있다. 이 책에는 산업에 많이 활용되는 빛의 성질 및 그에 대한 이용 방법이 명확하고 알기 쉽게 설명돼 있다. 제1장에는 광학의 기본 개념과 역사, 빛을 파동으로 생각할 때의 파동운동과 운동방정식 등이 소개돼 있다. 제2장부터 제5장까지는 빛의 입자적 성질로 나타나는 기하광학 원리와 응용법이, 6장부터 제9장까지는 빛의 파동 성질로 나타나는 갑섭, 회절, 편광현상에 대한 원리와 응용법이 상세히 실려 있다. 이어 제10장에는 광섬유 광학이, 제11장에는 광원이, 제12장은 빛의 검출과 인식 및 측정이, 제13장에는 색깔의 원리와 응용법이 구체적으로 나열돼 있다. 마지막으로 제14장과 제15장에는 다양한 학문 분야나 첨단장비에 활용되며 그 발전에 영향을 주고 있는 레이저의 원리와 그 응용법이 소개돼 있다. "기초광공학"이 광학 업계에 종사하시는 분들은 물론 광학에 관심을 갖고 있는 분들에게도 유용한 자료가 되었으면 하는 바람에 광학세계에서도 2014년 1월호부터 연재를 하게 되었다.
가스분무장치를 이용하여 제조된 304 stainless steel 분말의 미세응고조직 특성을 투과전자현미경으로 관찰하였다. 분말이 sandwich 현상으로 존재하도록 구리로 전기도금한 후 tripod jig 를 이용하여 기계적 연마하여 TEM 시편을 제작하였다. 이 방법으로 제조된 TEM 시편은 넓은 지역에서 200KV 로 가속된 전자가 투과하기에 충분히 얇았으며, 작은 분말의 경우에는 분말 전체를 관찰할 수 있었다. 제한시야회절법(SADP)을 이용하여 100 ${\mu}m$ 이하 분말의 결정구조를 조사한 결과에 따르면 가스분무법으로 급냉응고된 대부분의 분말은 austenite 상으로 응고되었으며, 모든 austenite 분말은 크기에 관계없이 쌍정조직 (twinstructure)이 발견되었으며 그 밀도 역시 아주 높았다. 그러나 직경이 2 ${\mu}m$ 이하의 분말에서는 큰 과냉 (supercooling) 효과에 의하여 준결정상인 bcc 상으로 응고됨을 발견하였다.
Proceedings of the Korean Geotechical Society Conference
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2002.11b
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pp.18-30
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2002
이암 및 셰일은 점토를 함유하고 있어 풍화작용을 받을 경우 공학적 성질이 급격히 변화하여 강도 저하, 내구성저하현상 및 토사와 유사한 거동을 보이는 등 토목공사에 위험한 요소가 되고 있다. 풍화된 시료엔 대한 실험용 시료 가공이 어렵고 적용 가능한 실험법이 적어 공학적 특성이나 거동을 정량적으로 파악하는 기법이 다른 암종에 비해 극히 제한된다. 현재까지 강도측정과 같은 일반적인 물성의 단순측정보다는 내구성을 분석하는 슬레이킹 내구성 시험 (Slake durability test), Modified Jar test, 팽창율 측정시험 (Swelling test) 등의 정량화 시험법이 주로 사용되고 있으며 국내 현장에서도 적용을 권장할 수 있다. 이러한 실험치의 해석에서 단일 실험치 (예: 팽창율)만으로 지질공학적 특성을 파악하는 경우 잘못된 판단을 할 수도 있으므로, X선 회절분석시험 (XRD: X-Ray Diffraction Test), TG-DTA분석, 주사전자현미경 (SEM: Scanning Electron Microscope) 이미지 분석, 투수계수 측정실험 등도 함께 수행하여 실험결과를 종합적으로 해석하는 것이 바람직하다.
Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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1994.11a
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pp.86-86
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1994
박막 EL소자의 투명전극으로 제작된 ITO막의 전기적, 광학적 특성을 조사하였다. Plama CVD방법으로 제작된 ITO막은 증착시 산소결핍으로 인한 비 다량결합(non-stochiometry) 에 의해 In이 석출되어 흑화현상이 일어나 전기전도도와 광투과율을 향상을 위해 산소분위기에서 30$0^{\circ}C$로 4분간 열처리를 행하였다. 한편 ITO막의 비저항 $\rho$와 광투과율 T를 Van der pauw법과 단색 분광계로 각각 측정하였다. 그 결과 상온에서 10-15$\Omega$/$\square$의 면저항과 400-1000nm의 파장영역에서 85-95%의 광투과율을 가져 박막 EL소자의 투명전극 조건을 만족하였다. 열처리에 대학 ITO막의 구조적 특성을 알아보기 위해 X-선회절장치(JEOL.JDX-8030)로 조사하였다. Fig.1은 X-선 회절 패턴을 나타낸다. 열처리후 ITO막은 상대적으로 최대 강도(peak intensity) 가 증가함으로써 열처리에 의해 결정성 향상이되었음을 알수 있다. Fig.2는 파장에 따른 ITO막의 광투과도를 나타낸다.
광학세계에서는 한동대학교 홍경희 교수의 저서 "기초광공학"을 연재하고 있다. 이 책에는 산업에 많이 활용되는 빛의 성질 및 그에 대한 이용 방법이 명확하고 알기 쉽게 설명돼 있다. 제1장에는 광학의 기본 개념과 역사, 빛을 파동으로 생각할 때의 파동운동과 운동방정식 등이 소개돼 있다. 제2장부터 제5장까지는 빛의 입자적 성질로 나타나는 기하광학 원리와 응용법이, 6장부터 제9장까지는 빛의 파동 성질로 나타나는 갑섭, 회절, 편광현상에 대한 원리와 응용법이 상세히 실려 있다. 이어 제10장에는 광섬유 광학이, 제11장에는 광원이, 제12장에는 빛의 검출과 인식 및 측정이, 제13장에는 색깔의 원리와 응용법이 구체적으로 나열돼 있다. 마지막으로 제14장과 제15장에는 다양한 학문 분야나 첨단장비에 활용되며 그 발전에 영향을 주고 있는 레이저의 원리와 그 응용법이 소개돼 있다. "기초광공학"이 광학 업계에 종사하시는 분들은 물론 광학에 관심을 갖고 있는 분들에게도 유용한 자료가 되었으면 하는 바람에 광학세계에서도 2014년 1월호부터 연재를 하게 되었다.
광학세계에서는 한동대학교 홍경희 교수의 저서 "기초광공학"을 연재하고 있다. 이 책에는 산업에 많이 활용되는 빛의 성질 및 그에 대한 이용 방법이 명확하고 알기 쉽게 설명돼 있다. 제1장에는 광학의 기본 개념과 역사, 빛을 파동으로 생각할 때의 파동운동과 운동방정식 등이 소개돼 있다. 제2장부터 제5장까지는 빛의 입자적 성질로 나타나는 기하광학 원리와 응용법이, 6장부터 제9장까지는 빛의 파동 성질로 나타나는 갑섭, 회절, 편광현상에 대한 원리와 응용법이 상세히 실려 있다. 이어 제10장에는 광섬유 광학이, 제11장에는 광원이, 제12장은 빛의 검출과 인식 및 측정이, 제13장에는 색깔의 원리와 응용법이 구체적으로 나열돼 있다. 마지막으로 제14장과 제15장에는 다양한 학문 분야나 첨단장비에 활용되며 그 발전에 영향을 주고 있는 레이저의 원리와 그 응용법이 소개돼 있다. "기초광공학"이 광학 업계에 종사하시는 분들은 물론 광학에 관심을 갖고 있는 분들에게도 유용한 자료가 되었으면 하는 바람에 광학세계에서도 2014년 1월호부터 연재를 하게 되었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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