• 제목/요약/키워드: 황화주석박막필름

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$H_2S$ 가스를 이용한 황화주석 박막 증착에 관한 연구 (Tin Sulphide Thin Films Formed by Sulphidising D.C. Magnetron Sputtered Layers of Tin Using $H_2S$)

  • 마크리치;장동영;로저 마일즈
    • Tribology and Lubricants
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    • 제26권6호
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    • pp.317-321
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    • 2010

  • 황화주석 박막을 만들기 위해 마그네트론 스퍼터 박막증착 공정을 통해 몰리브텐 유리판위에 주석박막을 만들고, 95% 알곤 +5% 황화수소 가스 혼합물을 사용하여 아닐링 공정을 통해 황화주석 박막을 형성하위에 증착하는것이 좋은 결과를 보여주고있다. 박막면의 화학적 물리적 특성을 전자현미경, X선 분석, X 선회절을 통해 실험하였으며, 아닐링 조건에 따른황화주석 박막의 파장대 반사율의 관계를 측정하였다.

  • https://doi.org/10.9725/kstle.2010.26.6.317 인용 PDF KSCI