반도체 공정에서 일정한 패턴을 만들기 위하여 Photoresist (PR)를 이용한 식각 공정을 사용하게 된다. 이러한 식각 공정은 반도체 직접도가 증가되면서 더욱 많은 단계의 공정을 요구하게 되었다. 그러나 식각 공정의 증가는 반도체 소자 생산을 위한 더 많은 시간과 비용을 요구하게 된다. 이를 해결하기 위하여 Photoresist를 사용하지 않은 공정으로 공정 단계를 간소화하기 위한 연구를 진행하고 있지만 아직 명확한 대한은 없다. 본 연구에서 는 PR의 strip 시간을 최대한 단축시키고 PR strip 잔여물의 빠른 제거를 위하여 기존 공정에서 사용 중인 strip 약 액을 플라즈마에 의하여 활성화하는 방법으로 PR strip 시간을 최대한 줄이는 방법에 대한 연구를 진행하였으며, 활성화된 strip용액이 더욱 빠른 strip율을 나타내는 것을 확인하였다. 또한 약액 활성화 방법으로 활성화된 strip 용액으로 PR을 일부 제거한 후 PR 표면의 물리적 특성 변화를 분석하여 약액 활성화된 strip 용액으로 인한 PR의 특성을 물리적 방법으로 접근하여 연구를 진행하였다.
본 논문은 폐타이어 열분해 잔류물인 char를 이용하여 수증기 활성화법으로 활성탄을 제조하였다. 활성화 온도가 증가할수록 비표면적은 증가하였으나 활성화 시간에 따른 비표면적은 3시간에서 최대를 보인 후 시간이 지속되면 비표면적은 감소하였다. 본 연구결과, 타이어열분해 잔류물 char를 이용한 활성탄 제조에 있어 최적의 실험조건은 활성화 온도 $850^{\circ}C$, 활성화 시간 3시간, 승온속도 $5^{\circ}C/min$이었으며 이 조건에서 제조한 활성탄의 비표면적은 $517.6m^2/g$으로 나타났다.
제품의 기능이 다양화 되고 신제품의 출시기간이 짧아지면서 소비자들은 새로운 제품의 조작 방법을 익히는데 어려움을 겪게 된다. 사용자 중심의 잘 설계된 메뉴 구조는 이러한 사용성 문제를 해결 해줄 수 있을 것이다. 따라서 본 연구에서는 사용자 중심의 좋은 정보 구조 설계를 위해 활성화 확산의 비대칭 전이를 이용한 메뉴구조 및 레이블 평가 방법을 연구하였다. 활성화 확산 실험은 반응 시간이 짧을수록 연상 강도가 강하고, 단어 쌍간의 관계가 밀접함을 보여주므로, 잘 디자인된 메뉴구조는 상-하위 메뉴 쌍의 연상 정도가 활성화 진행 방향의 영향을 받지 않는다는 가설을 세울 수 있다. 따라서 본 연구는 휴대폰(모델명;SPH-W2900)의 메뉴를 추출하여 1차 활성화 확산(SAT)실험을 수행한 뒤, 각 메뉴 쌍에 대하여 정확도와 진행 방향에 따른 반응시간의 차이(비대칭 전이)를 파악함으로 레이블의 문제점을 도출하고 메뉴 구조 및 어휘를 개선하였다. 2차 활성화 확산 실험은 개선된 메뉴 쌍에 대해 비대칭 전이 현상이 감소하였는지를 확인하기 위해 실시되었으며 활성화 진행 방향에 대한 반응시간의 차이(비대칭 전이)는 월등히 감소함을 알 수 있었다. 따라서 본 연구에서 제시하는 활성화 확산의 비대칭전이는 사용자 중심의 메뉴 레이블을 정의 하는데 도움이 될 것이다.
본 연구는 융합 전 수핵란의 활성화 처리 유무와 활성화 처리 시간이 소 체세포유래 핵이식란의 체외 발육능에 미치는 영향을 검토하기 위해 수행하였다. 소 체외성숙란의 탈핵 후 체세포 핵을 이식하고 일부는 전기 융합 후 활성화를 유기하였고(pre-AC), 일부는 먼저 활성화 처리 후 융합을 실시(post-AC)하였다. 난자의 활성화는 $Ca^{2+}$-ionophore(A23187)로 처리 후 DMAP로 4시간 배양하는 방법으로 유기하였다. 핵이식란은 CR1aa액에서 9일간 배양하여 발육율을 검토하였으며, 활성화 후 30분${\sim}$2.5시간에 고정하여 confocal microscope하에서 핵형 변화를 검사하였다. 배반포기까지 발육율은 post-AC구(20.6%)가 pre-AC(15.3%)보다 다소 높게 나타났다. 또한 활성화 처리를 하여 핵이식란의 배 발달을 비교한 결과 post-AC구가 더 늦은 배 발달 속도를 나타내었다. Post-AC구를 활성화 후 30분, 2시간, 4시간으로 나누어 융합하여 발육율을 검토한 결과 발육율에 차이가 없었다. 본 연구의 결과는 수핵란의 활성화 시간에 따라 핵이식란의 발육 및 핵형이 영향을 받을 수 있음을 시사한다.
분산 실시간 시스템에서 선행 태스크의 완료에 의해 활성화되는 태스크는 활성화 지터를 갖는 주기적 태스크로 모델링될 수 있다. 태스크의 활성화 지터는 선행 태스크의 최악과 최선 응답사간의 차로 정의된다. 기존의 방법은 최선 응답사간을 실제보다 훨씬 작은 값으로 가정하기 때문에, 활성화 지터와 낮은 우선순위를 갖는 태스크들의 최악 응답시간이 과대평가된다. 본 논문은 최선 응답사간을 보다 정확하게 산정하고 활성화 지터의 한계를 줄이기 위해 새로운 최선 응답시간 분석기법을 제안한다. 제안된 기법은 태스크들간의 상대적 위상을 고려하여 최선 응답시간을 구한다. 활성화 지터의 정확한 분석은 다른 태스크들의 최악 응답시간을 감소시키고 스케쥴가능성을 증가시킨다. 모의실험의 결과는 제안된 분석 기법이 최선 응답시간과 최악 응답시간의 정확도를 각각 최대 40%와 6%로 개선함을 보여 준다.
배경: 심폐바이패스에 의한 개심술시 적절한 항응고요법은 수술 관련 혈액응고장애를 최소화한다 는 점에서 중요하다. 심폐바이패스시 헤파린 및 프로타민 투여량을 결정하는데에는 활성화응고시간을 이 용한 고정용량법이 용량반응 곡선을 이용한 방법과 함께 보편적으로 사용되고 있다. 대상 및 방법: 저자들은 고정용량법에 대한 전향적 연구를 통해 고정용량 투여후 헤파린 및 프로 타민의 추가 투여 빈도, 헤파린 저항및 헤파린 유발성 혈소판감소증 빈도, 심폐바이패스시 활성화응고시 간 변화 양상, 그리고 아프로티닌 사용시 활성화응고시간 변화등을 분석하였다. 심폐바이패스 시작전 헤 파린 300 unit/kg를 투여하고 5분후 그리고 심폐바이패스 시작후 10분, 30분, 60분(이후 30분 간격)의 활성화응고시간을 측정하여 400초 이하인 경우 100 unit/kg 헤파린을 추가 투여하였다. 프로타민 중화는 사용 헤파린 100 unit당 1 mg을 투여한후 30분에 측정한 활성화응고시간이 130초 이상 또는 130초 미만이 라도 명백한 응고장애가 있을 경우 0.5mg/kg 추가 투여하였다. 결과: 서울대병원에서 개심술을 받은 환자중 80명(성인 50명, 소아 30명)을 대상으로 하였다. 수 술전 활성화응고시간은 성인에서 114.3$\pm$19.3초, 소아에서 119.5$\pm$18.2초로 나이, 체중, 체표면적 및 성 별에 따른 유의한 차이는 발견되지 않았다. 과거 개심술 병력도 수술전 활성화응고시간에 영향이 없었다. 고정용량법 투여후 헤린 추가 투여가 필요하였던 경우는 성인 환자 10례(20%), 소아 환자 3례(10%)였다. 프로타민 추가투여가 필요하였던 경우는 성인에서 9례(18%), 소아에서 10례(33%)였다. 심폐바이패스 시간 과 프로타민 추가 투여 사이에는 상관관계를 찾을수 없었다. 헤파린저항을 보였던 경우는 성인에서만 2명 (4%)이었고 소아는 없었다. 헤파린 유발성 혈소판감소증은 성인에서 2례(4%), 소아에서 1례(3.3%) 관찰되 었다. 심폐바이패스 운용중 활성화응고시간은 시간경과에 따라 길어지는 양상을 보였다. 성인환자에서 저 용량 아프로티닌이 12례(24%)에서 사용되었는데, 이들에서는 심폐바이패스중 활성화응고시간(celite를 활 성물질로 사용)이 비사용군에 비해 높았고, 활성 물질로 kaolin을 사용했을 때의 활성화응고시간은 celite ACT에 비하여 낮게 나타났다. 결론: 결론적으로 헤파린 및 프로타민 고정 용량 투여법은 큰 문제 없이 운용될 수있으나 추가 용량 투여 빈도의 측면에서는 만족할만한 수준은 되지 못하였다.
이 연구에서는 단어를 지각하게 되면 그 단어에 대한 의미가 자동적으로 활성화되고 그림표상까지도 활성화되지만, 그림을 지각하고 난 후에는 의미표상체계는 활성화되지만 단어의 지각적 표상체계는 활성화되지 않는지를 살펴보고자 하였다. 실험 1과 2에서는 지연시간을 달리하여 그림을 지각적으로 처리를 하게 한 후 단어에 대한 점화효과를 보았으며, 실험 3 에서는 그림을 개념주도적 처리를 하게 한 후 단어에 대한 점화효과 및 암묵적 기억과 재인기억을 비교해 보았다. 실험결과 지각적 판단과제에서는 조건간의 아무런 차이가 없었지만, 의미적 판단과제에서는 동일조건과 그림조건에서의 반응시간이 통제조건을 포함한 기타 조건들에서보다 빠른 것으로 나타났다. 이러한 결과는 의미적 표상체계로부터 단어의 지각적 표상체계까지의 상호작용 통로가 존재하지 않으며, 그림자극이 단어자극의 점화효과에 영향을 주는 이유는 동일한 의미적 표상체계의 활성화가 단어자극의 지각적 표상체계까지 확산되기 때문이 아니라, 그림자극에 대한 의미적 표상체계가 활성화되기 때문이라는 점을 시사한다.
두 개의 실험을 통하여, 시간경과에 따른 한글 다의 단어의 의미처리과정을 알아보고자 하였다. 실험1에서는 의미를 편향시키는 맥락이 없는 상황에서 다의어의 의미처리를 알아보고자 하였는데, 결과는 사용빈도가 높은 의미의 활성화 촉진의 정도가, 빈도가 낮은 의미에 비하여 크고 오래 지속됨을 보여주었다. 실험 2에서는 다의어의 의미를 하나의 의미로 편향시키는 맥락을 사용하였는데, 맥락에 부합하는 의미의 반응시간이 부합하지 않는 의미에 비하여 빨랐다. 그리고 처음에는(SOA가 짧을 때) 일차 의미와 이차 의미의 활성화가 동시에 이루어지지만, 시간이 경과할수록 일차 의미의 활성화촉진은 이차의미에 비하여 크고 오랫동안 유지됨을 보여주었다.
반도체 소자 집적도의 비약적인 발전으로 인하여 반도체 공정은 더욱 다층화 되어가고 있다. 이러한 다층화 공정에서는 필수적으로 여러 단계의 패턴을 형성하기 위하여 Photoresist(PR)를 이용한 식각 공정을 사용하게 된다. 이러한 식각 공정에서 다단계 식각 공정으로 인한 공정시간 증가와 식각 후 남은 잔여 PR residue는 초고집적화된 현 반도체 산업에서는 소자에 치명적인 문제를 발생시킨다. 따라서 본 연구에서는 기존 PR strip 용액을 플라즈마에 의하여 액체 상태로 활성화하여 기존의 건식세정법과 습식세정법을 동시에 사용하여 PR을 효과적으로 제거하기 위한 방법을 연구하였다. 플라즈마에 의하여 약액을 활성화하기 위하여 먼저 플라즈마 약액활성화를 위한 장치를 simulation하여 실험 장치에서 균일한 gas흐름을 확인하였다. 이후 플라즈마의 세기를 0V에서 100V까지 증가시켜 약액을 활성화한 후 PR을 strip하여 각 플라즈마 세기에서의 식각률을 조사하였으며 80V에서 가장 빠른 식각률을 나타났다. 또한 0V와 80V의 Dilution에 대한 영향을 확인하였으며 약액을 Dilution 후에도 식각률은 더욱 향상됨을 확인할 수 있었다. 이러한 세정 시간의 단축은 여러 단계의 식각 공정 시간을 단축하여 반도체 공정에서 소자 생산을 위한 시간을 단축하게 된다. 또한 각 세정공정마다 증가한 세정 공정으로 인하여 세정액의 사용이 많아져 세정액 폐수로 인한 환경문제가 심각해지고 있다. 세정 약액 활성화 방법을 사용함으로써 세정액의 절감효과가 나타난다.
본 연구는 최근 형질전환동물의 생산 및 복제동물 생산에 이용되고 있는 핵이식 기법을 시행할 때 재조합된 핵이식란의 활성화를 위해 널리 적용되고 있는 6-dimethylaminopurine (DMAP)의 활성화 효율과 근래에 제기되고 있는 단위발생란의 비정상적인 염색체 및 핵형에 대해 알아보고 적합한 활성화 유도물질을 찾고자 시행되어졌다. 도축장 유래의 난소에서 채란한 난자를 10% 거세한 수소혈청이 포함된 TCM-199배양에서 22시간동안 체외 성숙을 시킨 후 제 2감수분열 중기의 난자만을 선별해서 5$\mu$M ionomycin에서 5분간 처리하고 1.9 mM 6-dimethylaminopurine (DMAP)와 10$\mu\textrm{g}$/mL cycloheximide (CHX)에서 각 3시간동안 처리하여 활성화를 유도하였다. 활성화가 유도된 난자를 18시간 동안 체외 배양시 전핵 형성, 제 2 세포기까지 분할속도, 배 반포까지의 발달을 및 활성화 및 체외수정 후 108시간에 평균 세포수와 염색체를 분석하여 활성화 물질의 효율뿐만 아니라 문제점을 알아보고자 하였다. 1. 활성화 자극에 따른 난자의 전핵 형성은 ionomycin 처리 후 DMAP을 처리한 난자에서는 1PN 형성율이 9.1%로 ionomycin를 단독 처리하거나 ionomycin 처리 후 CHX를 처리한 난자에서의 1PN 형성율인 77.8와 79.0%보다 유의적 (P<0.05)으로 낮게 나타났으나, 3PN 형성율은 45.5%로 유의적 (P<0.05)으로 높게 나타났다. 따라서 ionomycin 처리 후 DMAP으로 활성화를 유도한 난자는 비정상적인 핵형을 가지지만 CHX로 활성화를 유도하였을 때는 정상적인 전핵 형성이 이루어지는 것으로 보인다. 2. 활성화 자극을 가한 난자의 체외 발달율은 ionomycin을 처리하고 DMAP으로 활성화 자극을 가하였을 때 분할율이 85.5%로 체외 수정한 대조군의 72.5%와 유사하였다. 그러나 ionomycin을 단독 처리하거나 ionomycin 처리 후 CHX로 활성화 자극을 가한 실험군의 분할율인 30.3와 57.9%에 비해 유의적 (P<0.05)으로 높게 나타났다. DMAP 처리군의 분할율은 대조군과 유사하였지만 배반포까지의 발달율은 12.3%로 대조군의 27.8%와는 유의적인 차이는 없으나 발달율이 낮은 경향으로 나타났다. 3. Ionomycin으로 처리 후 DMAP로 활성화 자극을 가한 실험군에서 난자의 발달속도는 활성화 자극 후 18시간 경과하였을 때 28%의 배분열율을 보여 분열속도가 가장 빨랐으며 활성화 자극 후 24~48시간동안 체외 배양을 하였을 때에도 ionomycin 단독 처리하거나 ionomycin 처리 후 CHX로 활성화 자극을 준 실험군에 비해 DMAP으로 활성화 자극을 가한 실험군이 유의적 (P<0.05)으로 빠른 발달속도를 보였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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