• Journal of the Korean institute of surface engineering
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• v.20 no.2
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• pp.77-85
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• 1987

최근 10년간 공구의 耐마모 코우팅 분야는 급속한 발전을 하여 왔다. 처음에는 초경 합금 인서트를 TiC로 단층 코우팅하였다. 코우팅 효과를 고려함에 따라 TiC, Ti(C,N), TiN으로 코우팅하게 되었고 또한 $Al_2O_3$ 코우팅도 많이 사용하였다. 처음의 코우팅은 공정작업의 어려움으로 극히 어려웠으나, 밀링작업에 대한 코우팅은 발달하여 왔다. 그림1.은 선반가공과 밀링작업을 하기 위한 초경 합금 인서트를 공구지지대로 지지하고 코우팅 한 것이다. 코우팅의 발전은 공구 코우팅과 강의 마모부분에 코우팅 하는 것으로 많이 발전하였다. 현재 CVD방법이 코우팅에 쓰이고 있으며 저온에서 강에 코우팅하는 작업에는 PVD방법을 도입하기에 이르렀고, 공구의 수명은 3~10배 증가하였으며 코우팅의 효과는 아래와 같이 요약된다. 1. 마찰력 감소, 열발생 감소, 절삭력 감소 2. 고속 절삭시 공구의 표면과 칩사이 확산 감소(코우팅은 확산 장벽으로 작용함) 3. 갤링(galling)을 막아줌. 공구의 수명 연장과 여러분야에 사용하기 위한 최적의 요구 조건은 다음과 같다. -공구재와 접촉시 화학적 안정성 -耐 산화성 -耐 마모성 -갤링의 방지 -耐 충격성 耐 열주기 -모재에 대한 코우팅 재의 충분한 접착성.

• Proceedings of the Korea Multimedia Society Conference
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• 1998.04a
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• pp.210-215
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• 1998

암호 통신의 한 방법으로 표면상의 의미 있는 형태를 유지하지만 실은 그 속에 중요한 기밀 정보를 숨겨놓은 심층암호(steganography)가 주목되고 있으며, 특히 디지털 화상을 이용하는 화상 심층암호는 저작권 보호 수단으로 활용되고 있다. 본 논문은 농담화상을 오차 확산법을 이용하여 흑·백의 2치로 의사적으로 표시하면서 기밀 정보를 합성하는 새로운 방식을 제안한다.

• Proceedings of the KSMRM Conference
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• 2002.11a
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• pp.37-44
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• 2002

신경계의 MR영상은 하드웨어적인 발달과 초고속 영상 기법으로 기존의 MRI가 제공해 줄 수 있는 해부학적 정보 외에 기능적인 정보인 물의 확산, 뇌 혈류 정보, 뇌의 기능적 지도화와 뇌대사물의 농도를 측정할 수 있게 되었다. 반전회복영상(Inversion Recovery), 확산(diffusion), 관류(profusion), 기능적(functional)영상, 뇌의 3차원 뇌표면 rendering 및 곡면재구성영상의 임상적인 의의를 알아보고자 한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.315-316
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• 2012

반도체와 금속배선의 확산을 방지하기 위한 확산방지막의 필요성이 대두되고 있으며, 이에 대한 연구는 많은 연구 그룹에서 진행중에 있다. 하지만 이러한 연구의 대부분은 전기적, 결정학적 특성에 대하여 안전성 및 재료학적 연구에 국한되어 진행되어졌다. 본 연구그룹은 텅스텐(W)을 질화시킨 W-N 확산방지막에 대하여 연구를 진행하였고, 역시 결정학적 특성에 대한 열적인 안전성을 주로 연구하였으나, 본 연구에서는 W-N 박막의 나노영역에 대한 기계적 특성 평가에 주안점을 두어 W-N 박막의 stress를 nano-indenter 기법을 이용하여 측정하고자하였다. 특히 공정시간의 단축 효과 등의 이유로 박막의 두께를 감소시키는 현재 추세에 맞춰 더 얇은 W-N 확산방지막을 제작하였으며, 이에 대한 분석을 실시하였다. W-N 확산방지막은 Ar(Argonne), $N_2$ (nitrogen) 총유량을 40 sccm으로 고정하여, 질소 유입 조건을 0, 0.5, 1 sccm 으로 변화시켜 Si (silicon) (100) 기판 위에 rf (radio-frequency) magnetron sputter를 이용하여 증착하였다. 이때 W-N 박막의 두께를 30, 100 nm로 달리하여 증착하였으며, 증착된 박막은 질소 분위기 $600^{\circ}C$에서 30분간 열처리하였다. 증착된 시료는 nano-indent를 통하여 표면으로부터 10 nm 부근의 극 표면 물성을 측정하였다. 측정 결과, $N_2$ 가스의 유량을 0.5 sccm 흘려주면서 증착한 W-N 박막이 $N_2$가스를 흘려주지 않은 W 박막과 비교하여 압축응력을 덜 받아 비교적 열에 대하여 안정적임을 확인하였다. 또 30 nm 두께의 W-N 박막이 100 nm 두께의 W-N 박막보다 더 기계적으로 안정적인 상태임을 확인하였다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.9 no.5
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• pp.689-697
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• 1998

In this work, we studied the equilibrium, rate and rate determining step of uranium adsorption on RGP resins of MR type prepared by varying the degree of crosslinking and the amount of diluent. The equilibrium of uranium adsorption on RGP resins were well explained by Frendrich isotherm as well as Langmuir isotherm model. The amount of adsorption and adsorption rate increase with the adsorption temperature. The heat of the adsorption was 11 kcal/mol. The adsorption rates of uranium on RGP resins were decreased in the order of RGP-10(50)>RGP-1(50)>RGP-2(50)>RGP-5(50)>RGP-0(50) and RGP-2(75)>RGP-2(100)>RGP-2(50)>RGP-2(30)>RGP-2(0). The diffusion resistance of uranium into RGP resin increased as follows; molecular diffusion < pore diffusion < surface diffusion. On the other hand, the surface diffusion was more dominative than the pore diffusion in intraparticle region. Thus, this result indicates that the adsorption mechanism of uranium on RGP resins is intraparticle diffusion controlled.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2013.05a
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• pp.88-91
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• 2013

현재 활용되고 있는 침탄질화기술과 QT + 저온 플라즈마 침질탄화 기술로 소재의 표면특성을 향상시켜 상대적인 비교를 위해 미세조직, 경도, XRD, GDS 및 Wear Test를 실시하였다. 비교결과 확산층에서의 경도는 침탄처리한 시편이 상대적으로 높았지만, 표면경도 및 Wear Test의 경우 QT+플라즈마 침질탄화처리한 시편이 더 좋은 결과를 보였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2001.11a
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• pp.1-1
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• 2001

21세기의 신물질로 알려져 있는 플라즈마는 기체에 에너지를 가해 형성되는 높은 에너지(수십만도)의 이옹화된 기체의 집합체로 최근 이러한 플라즈마를 이용하여 고부가가치의 신기 능 제품개발에 널리 활용되고 있다. 플라즈마를 이용한 신기능 표면처리 기술개발이 가속 화됨에 따라 자동차, 기계, 전자, 에너지, 환경 산엽둥 전 산업 분야에 그 응용범위가 광범위 하게 확대 되고 있으며 이에 따른 핵심 연구개발도 최근 매우 중요시 되고 있다. 본 발표에서는 이라한 최끈 플라즈마 기술의 발전동향, 응용현황 및 향후 기술 확산을 위한 핵심 연구 방향에 대해 고찰하고저 한다.

• Journal of the Korean institute of surface engineering
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• v.20 no.4
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• pp.163-168
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• 1987

급변하는 국내외 환경속에서 국가의 과학기술 발전은 기술정보가 판가름한다고 할 수 있다. 그 기술정보중에서 금속표면처리의 분야는 해외 정보 입수의 어려움, 국내의 번역 및 소개책자의 전무로 정보와 자료를 얻기가 힘들어 선진기술 정보를 알 길이 막혀있다. 관련 기술 정보를 확산, 대중화하는 출판물 등을 통해서 기술 인력의 저변확대와 신기술의 개발에 기대가 클 것은 말할 나위 조차 없다. 다른 산업에 비하여 특히 금속표면처리 관련의 기술 정보 분야는 뒤떨어져 있는 것이 우리나라의 실정이다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2009.05a
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• pp.23.2-23.2
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• 2009

기존에 사용되었던 알루미늄 배선 공정은 공정의 배선 크기가 줄어들면서 한계에 다다르고 있다. 따라서 이를 대체하기 위해 여러 가지 새로운 방법들이 고안되고 있으며, 그중 알루미늄을 비저항이 낮고 EM(electro-migration) 저항성이 뛰어난 구리로 대체하려는 연구가 진행되고 있다. 구리 배선은 이미 electroplating 공정을 이용해 산업에 적용되고 있으며, seed layer로는 sputtering 법을 이용하고 있다. 하지만 sputtering 을 포함한 PVD 법은 대부분 종횡비나 단차 피복도가 좋지 않기 때문에 이를 CVD로 교체한다면 많은 장점을 가질 수 있다. 하지만 CVD 공정을 진행하기 위해서는 많은 문제점들이 있는데, 이중 전구체에 대한 문제도 빼놓을 수 없는 이슈이다. Cu(dmamb)2 는 기존에 사용하던 $\beta$-diketonate 계열의 전구체보다 화학적으로 많은 장점을 가지고 있어, CVD 공정에 적합하다. 이에 따라 구리 박막 증착의 공정 조건을 설계하고, 고품질의 박막을 증착하기 위한 다양한 처리법을 고안하여 증착 실험을 진행하였다. 기본적으로 구리는 확산력이 좋아 실리콘계열의 기판에서 확산력이 매우 좋아 기판 내로 확산되기 때문에 이를 방지하기 위하여 Ta, Ti 계열의 박막을 사용하여 확산을 방지하고 있다. 따라서 전이 금속 박막의 표면과 증착 분위기 등을 고려하여 구리를 증착하였으며, 표면의 미세구조 및 성분을 FESEM 등을 통해 분석하였다.

• Proceedings of the Korea Institute of Fire Science and Engineering Conference
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• 2013.11a
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• pp.79-80
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• 2013

내장재의 화재위험성은 착화성, 난연성, 표면의 화염확산 및 방출열량, 방출 연기량 둥 다양한 기준으로 기술될 수 있으며 나라마다 시험방법과 기준이 상이함, 본 연구에서는 화염확산성의 관점에서 내장재의 화재위험성을 가름할 지표도출을 고찰하였음.