• 제목/요약/키워드: 화학종 분포

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광진단을 통한 플라즈마 공정 상태 변동 메커니즘 분석 (Analysis on Variation Mechanism of the Plasma Process Using OES)

  • 박설혜;김곤호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.31-31
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    • 2011
  • 식각, 증착 등의 플라즈마 활용 공정에서 공정 결과들이 예상치 못한 편차를 보이거나 시간에 따른 공정 결과의 드리프트가 발생하는 등의 문제는 공정 수율 향상 뿐 아니라 공정 결과 생산하게 되는 제품의 성능을 결정짓는다는 점에서 중요하다. 그 결과 공정의 이상이 발생 되는 것을 감지하기 위한 다양한 장치 및 알고리즘들이 등장하고 있으나, 현재 공정 상태 변화를 진단하는 것은 공정 장치에서 발생된 신호 변동을 통계적으로 처리하는 수준에 머무르거나 플라즈마 인자들의 값 자체를 진단하는 정도에 그치고 있다. 본 연구에서는, 향후 물리적 해석을 기반으로 한 공정 진단을 위한 알고리즘을 세우는 것을 목표로 하여 공정 결과에 민감하게 영향을 주는 플라즈마 내부 전자의 열평형 상태의 미세한 변동을 감지하고 이를 통하여 공정 결과에 영향을 주게 되는 장치 내 물리적, 화학적 반응들의 변동 메커니즘을 이해하고자 하였다. 외부에서 감지하기 힘들기 때문에 장치 상태에 변동이 없는 것으로 보이지만 실제로는 변동하고 있는 플라즈마의 미세한 상태 변화를 보여줄 수 있는 물리 인자로는 잦은 충돌로 인하여 빠르게 변동에 대응할 수 있는 전자들의 열평형 특성을 살펴보는 것이 적합하다고 판단하여 광신호를 통해 전자 에너지 분포함수를 진단할 수 있는 모델을 수립하였다. 이 모델의 적용 결과를 활용하면 전자들의 열평형이 주변 가스 종의 반응율 변동에 주게 되는 영향을 해석할 수 있다. 실제로 ICP-Oxide Etcher 장치에서 장치 내벽 오염물질 유입 및 공정 부산물의 장치 내 잔여로 인하여 식각율로 표현되는 공정 결과에 최대 6%의 편차가 발생하게 되는 메커니즘을 해석할 수 있었다.

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동해안 석호 퇴적물의 간극수에 함유된 금속류의 화학종 분포 (Metal Speciation in the Lagoon Sediment Interstitial Water from the Northeast Coast, Korea)

  • 김동진;김민철;유진열;권상용;서용찬;양재의;오승륜;옥용식
    • 대한환경공학회지
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    • 제30권7호
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    • pp.712-720
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    • 2008
  • 호소나 하천바닥의 퇴적물에는 많은 양의 미량 금속이 함유되어 있으며, 퇴적물과 간극수 사이에는 미량 금속들의 교환이 일어난다. 간극수로 이동된 미량 금속들은 쉽게 수환경으로 확산되어 수생태계에 독성을 유발한다. 그러나 이러한 미량 금속들은 존재형태에 따라 수생물에 미치는 독성이 다르다. 따라서 본 연구에서는 경포호 등 10개의 동해안 석호에 대한 퇴적물의 간극수를 분석하고 화학종 분포 예측 프로그램(MINTEQA2)을 이용하여 미량 금속들의 존재형태를 예측하여 수환경에서의 독성여부를 확인하였다. 퇴적물에서 추출한 간극수의 미량 금속 분석결과를 예측 결과, K와 Na는 자유이온형태로 존재하고 있었으며, Al, As 및 Cr 등은 자유이온 형태를 비롯한 3$\sim$4개의 착물을 형성하였고 Ca, Co, Cd, Ni, Pb 및 Zn 등은 10개 이상의 다양한 착물을 형성하였다. 염분도가 높은 청초호 등(Group I호소)은 Cd, Co, Ni, Pb, Hg 및 Zn이 주로 염화 착물을 형성하였으며, Fe, Mn 및 Mg는 황산화 착물을 형성하였다. 그러나 염분농도가 낮은 천진호 등(Group II호소)은 Hg와 Cd가 염화 착물을 형성하였으며, Cu, Mg, Mn, Ni, Pb 및 Zn는 황산화 착물을 형성하였다. Fe는 Fe(OH)$_2{^+}$, Fe(OH)$_3$(aq) 등의 수산기 착물을 형성하였다. 또한 염분농도와 상관없이 Al, As 및 Cr은 전체 호소에서 수산기 및 산화형태의 착물을 형성하였다. 대부분 호소의 간극수에 존재하는 미량 금속들은 자유이온(M$^{x+}$)형태로 존재하고 있었으며, 그 외에 M$^{x+}$ + xCl$^-$와 M$^{2+}$ + SO$_4{^{2-}}$의 착물을 형성하고 있어 수환경으로 확산될 경우 생태계 독성 및 축척을 일으킬 것으로 생각된다.

Acetylcholinesterase 조직화학법으로 관찰한 Fibricola seoulensis 신경계의 분포 (The nervous system of Fibricola seoulensis by acetylcholinesterase histochemistry)

  • 전은우;김창환
    • Parasites, Hosts and Diseases
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    • 제31권4호
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    • pp.321-330
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    • 1993
  • Fibricola seoulensis의 피낭유충을 흰쥐에게 경구 감염시켜 3, 4, 5. 6, 7일 별로 부 검 회수하여 생리 식염수로 씻은 후, 10% neutral formalin buffer에 고정 후 세척하였다. Acetylcholinesterase 염색은 기질로 acetylthiocholine iodide를 사용한 효소조직화학적 방법으로 피낭유충과 여러 성장 과정에 있는 충체의 신경계 분포 발달과정을 관찰하고 억제제로는 eserine, iso-OMPA, BW284C51를 사용하였다. 신경계는 피낭유충과 성충의 전반부 부위의 인두와 구흡반과 후반부의 배설 신경총을 연결하는 3쌍의 종주신경간과 그들을 연결하는 횡신경 연합과 환상신경 연합으로 구성되어 있으며, 다수의 환상신경 연합은 충체표면 가까이에 위치한 종주신경간과도 연결되어 있다. 충체 발달의 모든 단계에서 구흡반 및 복흡반, 인두, 신경계에 acetylcholinesterase와 nonspeciaccholinesterase의 염색반응이 관찰되었다. F. seoulensis의 acetylcholinesterase 동위효소 유형은 분자량 69 kDa. 132 kDa의 2개의 분획이 분리되었으며 그 중 69 kDa 분획대가 주분획을 이루었다.

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난소 미분화배세포종에 대한 방사선치료 결과 (Treatment Result of Ovarian Dysgerminoma)

  • 신성수;박석원;신경환;하성환
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제15권4호
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    • pp.379-385
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    • 1997
  • 목적 : 난소 미분화배세포종은 젊은 가임기 여성에 발생하며 방사선에 대한 감수성이 높아 복식자궁전적출술 및 난관난소절제술 후 방사선치료를 시행하는 것이 통상적인 치료 방법이었다. 항암화학요법을 본격적으로 사용하기 이전에 서울내학교병원에서 방사선치료를 받은 환자를 대상으로 친료 성적을 분석하였다. 대상 및 방법 : 1980년 8월에서 1991년 5월까지 서울대학교병원 치료방사선과에서 방사선치료를 받은 18명을 대상으로 후향적 분석을 시행하였는데, 16명의 환자는 수술 후 방사선치료를 받았고, 나머지 2명은 근치적 목적으로 방사선치료를 받았다. 수술 후 방사선치료를 받은 환자들의 추적기간은 51개월에서 178개월로 중앙값은 99개월이었다. 연령분포는 11세부터 42세로 중앙값은 22세이었다. 병기별 분포는 IA기 3명, IC기 8명, 11기 2명, 111기 3명이었다. 1명의 환자에서 Turner's syndrome이 동반되어 있었다. 방사선치료는 6 MV와 10 MV 선형가속기나 Co-60 원 격치료장치를 이용하였으며, 전 복부에 1950-2100cGy(중앙값=2000cGy)후 골반부에 1050-2520cGy를 추가하여 골반부에 총 3000-4500cGy(중앙값=3500cGy)를 조사하였다. 5명의 환자에 서는 대동맥임파절 부위에 900-1500cGy를 조사하였고, 대동맥 임파절 전이가 있었던 1명에서는 1620cGy후 전이 부위에 900cGy를 추가하여 총 4470cGy를 조사하였다. 대동맥 임파절 전이가 있었던 1명을 포함한 5명의 환자에서는 종격동 및 쇄골 상부에 2520cGy를 조사하였다. 절제가 불가능하여 방사선치료만 받은 2명의 환자는 111기 1명과 좌측 쇄골상 임파절 전이가 동반된 IV기 1명이었다. III기 환자에서는 전 복부에 2000cGy후 골반부에 2070cGy, 대동맥 임파절에 2450cGy를, IV기 환자에서는 전 복부에 2000cGy후 골반부 및 대동맥 임파절에 2400cGy, 종격동에 2520cGy 그리고 좌측 쇄골 상부에 3550cGy를 조사하였다. 결과 : 난관난소절제술 후 방사선치료를 시행 받은 환자의 5년 국소 치유율은 $100\%$이었으며 종격동 조사를 시행하지 않은 131기 환자 1명에서 종격동 전이가 발생하였으나 항암화학요법으로 치유되어, 전체 환자에서의 5턴 생존율은 $100\%$를 보였다. 방사선치료만 받은 2명의 환자는 각각 112, 155개월간 무병 생존하고 있다. 결론 : 난소 미분화배세포종에 있어서 난관난소절제술 후 방사선치료는 물론 수술이 불가능한 경우의 방사선치료의 완치율은 매우 높았다. 그러나, 방사선만 아니라 항암화학요법에 대한 감수성이 높고 치유율이 높으므로 난소의 기능을 보존할 필요가 있는 경우에는 항암화학요법을 시행하고 항암화학요법에 저항성이 있거나 치료 후에 재발된 경우에 방사선치료를 적용하는 것이 타당할 것이다.

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종격동 종양과 낭종의 임상 경험 (Clinical Experience of Mediastinal Tumors and Cysts)

  • 최준영;옥창대
    • Journal of Chest Surgery
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    • 제30권7호
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    • pp.708-712
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    • 1997
  • 경상대학교 의과대학 흉부외과학 교실에서는 1988년 4월부터 19%년 3월까지 47명의 원발성 종격동 종양 및 낭종 환자에 대하여 수술적 치험을 하였다. 환자들의 연령분포는 5세에서 67세로 평균연령은 36.4세였곡 남녀의 성비는 1:1.5였다. 임상증상은 홉통이(27.7%) 가장 많았고, 안검하수(14,9%), 전신쇠약(12.8%), 기침 (10.6%) 복시(10.6%) 등의 순이먼으며 증상이 없는 경우도 8례(17.0%) 있었다 종양의 위치는 전상부 종격동 이 63.8%로 가장 많았고· 술후 병리조직학적 진 단상으로는 흉선종(32.9%)이 가장 많았으며 낭종(21.3%), 신경 절 종잉(17.0%) 배아세포종(12.8%), 간엽종양(6.4%) 순의 빈도를 보였다. 수술시 양성종양 41례와, 악성종양 6 례중 3례는 완전절제가 가능하였으나 나머지 3례는 부분절제만이 가능했고 술후 6례 모두에서 화학요법 또 는 방사선요법을 시행하였다. 술후 합병증으로는 Homor 증후군, 유미흉, 상대정맥 파열, 그리고 횡격막 신경 마비 등이 각각 1례씩 발생하였으며 술후 사망례는 없었다.

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저질이 천연수중 구리와 카드뮴의 화학종 분포에 미치는 영향 (Influence of Sediment on the Chemical Speciation of Copper and Cadmium in an Aquatic System)

  • 이군자;박청길
    • 한국환경과학회지
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    • 제1권2호
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    • pp.59-69
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    • 1992
  • In order to predict the distribution of chemical species of copper and cadmium in water, conditional stability constant and complexation capacity between copper or cadmium and natural aquatic sediment have been determined in a shallow lake in Haman, Kyungnam. Kinetic parameters were calculated by Langmuir isotherm equation. Conditional stability constant was log $K_{cuSed}=4.78 and log K_{cdSed}=4.45$. Complexation capacity was $1.70{\times}10^{-4}$moles/g for copper and $5.54{\times}10^{-5}$moles/g for cadmium. Accuracy of experimental values of conditional stability constant was checked by comparing the calculated concentration of the metals with the measured one. Relatively good agreement between these values was obtained. Relative errors were 8.9% for copper and 6.5% for cadmium. Data of the measured conditional stability constant were put into data base of MINEQL computer program, and concentration of various chemical species of copper and cadmium in a model aquatic system was calculated. Aquatic sediment was associated with copper at the concentration of $10^{-5M}(0.059g/\ell)$10-5M(0.059g/l) and with cadmium at the concentration of $10^{-6M}(0.018g/\ell)$, and it significantly influenced on the distribution of chemical species of the metals. This result showed that prediction of chemical species of the heavy metals in an aquatic system should be taken into account the influence of the sediment.

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난류예혼합 플랫버너의 유동해석과 화염구조 (The Flow analysis and the Flame structure of Turbulent Premixed Flat Burner)

  • 김헌주;윤봉석;허수빈;박재민;이도형
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제35권4호
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    • pp.397-405
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    • 2011
  • 친환경 대체에너지의 한 분야인 수소에너지는 물의 전기분해와 화석연료의 개질을 통해 얻어 진다. PEMFC용 개질기에 적용 가능한 난류예혼합 방식의 메탈화이버 플랫버너를 제작하였다. 공급열 량에 따른 연소영역의 평균온도분포와 CO, HC, $CO_2$$O_2$등 각종 화학종의 평균농도로 플랫버너의 화염구조 및 특성을 조사하여 개질기 적용 가능성을 확인하였다. 그리고 PIV 유동실험결과와 유동수 치해석 결과를 비교 분석하여 차후 PEMFC용 개질기 개발에 있어 수치해석을 적용하기 위한 기초연구를 진행하였다.

염산용액(鹽酸溶液)에서 白金(IV), 팔라듐(II)과 로듐(III)의 이온평형(平衡) (Ionic Equilibria of Pt(IV), Pd(II) and Rh(III) in Hydrochloric Acid Solution)

  • 이만승;이진영
    • 자원리싸이클링
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    • 제18권1호
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    • pp.30-37
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    • 2009
  • 염산농도 0.001에서 10 M사이의 범위에서 백금(IV)과 팔라듐(II) 및 로듐(III)의 착물형성반응과 물질수지를 고려하여 각 금속의 분배곡선을 구했다. 염산농도가 0.1 M이상인 조건에서는 백금과 팔라듐의 대부분은 $PtCl_6^{2-}$$PdCl_2^{2-}$로 존재하였다. 로듐의 농도분포는 염산농도에 큰 영향을 받는다. 염산농도가 0.1에서 10 M로 증가함에 따라 로듐의 주 화학종이 $PhCl_5^{2-}$에서 $PhCl_6^{3-}$로 변했다. 문헌에 발표된 백금과 팔라듐의 용매추출자료로부터 $PtCl_6^{2-}$$PtCl_4^{2-}$와 수소이온간의 매개변수를 추산했다.

묽은 염산용액에서 아민과 중성추출제에 의한 몰리브덴(VI)과 텅스텐(VI)의 용매추출 (Solvent Extraction of Mo(VI) and W(VI) from Dilute Chloride Solution by Amine and Neutral Extractants)

  • ;손성호;이만승
    • 자원리싸이클링
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    • 제28권1호
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    • pp.55-61
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    • 2019
  • 묽은 염산용액의 pH를 2에서 9까지 변화시켜 아민계(Alamine 308과 TEHA)와 중성추출제(TOP)로 몰리브덴(VI)과 텅스텐(VI)의 용매추출거동을 조사하였다. 텅스텐(VI)이 몰리브덴(VI)보다 상기 세 추출제에 선택적으로 추출되었으며, TEHA로 추출시 가장 높은 분리인자를 얻었다. 수소화처리하지 않은 3차 아민에 의한 두 금속의 추출율은 용액의 pH에 따라 지속적으로 감소하여 pH 9에서는 전혀 추출되지 않았다. 본 논문의 실험조건에서 용매추출거동을 금속의 농도분포곡선을 이용하여 설명하였다. Alamine 308과 TEHA는 TOP에 비해 두 금속의 추출과 분리에 효과적이다.

원발성 안와 림프종의 방사선치료 성적에 관한 후향적 분석 (Primary Orbital Lymphoma : A Retrospective Analysis of Results of Radiation Therapy)

  • 김수산;안승도;장혜숙;김경주;이상욱;최은경;김종훈;허주령;서철원;김성배
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제20권2호
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    • pp.139-146
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    • 2002
  • 목적 : 원발성 안와 림프종로 진단 받고 방사선치료를 받은 환자들을 대상으로 치료 반응, 재발 양상, 생존률 및 치료 부작용에 대해 알아보고자 하였다. 대상 및 방법 : 1991년 2월부터 2001년 4월까지 서울중앙병원에서 원발성 안와 림프종으로 진단 받고 방사선치료를 받은 31명의 환자를 대상으로 후향적 분석을 시행하였다. 성별분포는 남자가 18명, 여자가 13명이었다. 연령은 3세에서 73세까지 분포하였으며 중앙값은 44세였다. 원발 부위는 결막이 9명, 안검이 12명, 안와가 10명이었다. 병리학적 소견은 MALT (low-grade B-cell lymphoma of mucosa-associated lymphoid tissue type) 림프종이 28명, diffuse large B-cell 림프종이 1명, anaplastic large cell 림프종이 1명이었으며 lymphoblastic 림프종이 1명이었다. Ann Arbor staging에 따른 병기 분포를 살펴보면 1기가 31명으로 전부를 차지하였으며 각각 비장, 신장, 골수와 맥락얼기(choroid plexus)에 병변이 있었던 환자 4명은 연구에서 제외하였다. 전체 환자 중, 양측 안와 침범이 있는 환자는 6명이었다. 방사선치료는 결막과 안검 부위는 $6\~16\;MeV$의 전자선을 이용하여 전방 1문 치료로 30 Gy/10 fractions을 조사하였고, 안와 부위는 4 MV, 6 MV의 광자선을 이용하여 쐐기를 이용한 전사방 2문 치료로 $20\~28$회에 걸쳐 총 $40\~50.4\;Gy$를 조사하였다. 특히 결막과 안검 부위는 수정체를 보호하기 위한 납차폐물이 사용되었다. 항암화학요법은 12명의 환자에서 시행되었다. 중앙 추적 관찰기간은 53개월이었다. 결과 : 전체 환자의 5년 생존율은 $90.7\%$이었으며, 2명이 질병과 무관하게 폐렴과 비소세포성 폐암으로 사망하여 질병관련(cause-specific) 5년 생존율은 $96.0\%$이었으며 5년 무병 생존율은 $80.0\%$, 5년 국소제어율은 $90.5\%$였다. 방사선치료를 받은 31명 모두가 치료 후 6개월 이내에 완전관해를 보여 완전관해율은 $100\%$였다. 이 중 국소 재발은 방사선치료 후 16개월과 18개월에 2명의 환자에서 보였고 구제 방사선치료 후 모두 완전관해를 보였다. 2명이 조사 영역 밖에서 재발하였고 lymphoblastic 림프종 환자가 방사선치료 후 18개월에 골수에서 재발하여 사망하였고 MALT 림프종 환자가 방사선치료 후 41개월에 폐에 재발하여 구제 방사선치료 후 완전관해를 보였다. 12명의 환자가 방사선치료 전에 항암화학요법을 받았으며 부분관해가 11명에서 나타났고 1명은 반응을 보이지 않았다. 방사선치료 당시 시력이 있었던 29명 중 5명에서 방사선유발 백내장이 발생하였으며 2명에서 안구건조증이 발생하였다. 결론 : 원발성 안와 림프종의 대부분이 MALT 림프종이었다. 방사선치료는 매우 좋은 치료 반응과 국소 제어율을 보였으며 높은 생존율을 보였다. 국소 재발한 경우에도 방사선치료가 구제치료의 역할을 할 수 있음을 알 수 있었으며 대부분의 환자에서 심각한 후유증을 보이지 않는 안전한 치료로 생각된다.