Basic Study on the Improvement of Material Removal Efficiency of Sapphire CMP Using Electrolytic Ionization and Ultraviolet Light (전해 이온화와 자외선광을 이용한 사파이어 화학기계적 연마의 재료제거 효율 향상에 관한 기초 연구)
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- Tribology and Lubricants
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- v.37 no.6
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- pp.208-212
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- 2021