• 한국정밀공학회지
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• 제30권6호
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• pp.607-614
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• 2013

In this study, effect of the sensor gain error is theoretically analyzed and simulated when mixed sequential two-prove method(MTPM) is applied for the precision measurement of straightness error of a linear motion table. According to the theoretical analysis, difference of the gain errors between two displacement sensors increases measurement error dramatically and alignment error of the straightedge is also amplified by the sensor gain difference. On the other hand, if the gain errors of the two sensors are identical, most of error terms are cancelled out and the alignment error doesn't give any influence on the measurement error. Also the measurement error of the straightness error is minimized compared with that of the straightedge's form error owing to close relationship between straightness error and angular motion error of the table in the error terms.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.551-552
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• 2013

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.839-840
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• 2012

본 논문에서는 3 축 기계장비의 공간오차를 예측하기 위한 사전 단계로 각 축에 대하여 레일형상오차를 측정하였다. 전용 측정지그를 설계/제작하여 이 지그가 이동함에 따라 혼합축차이점법을 이용하여 레일형상오차를 측정하였다. 레일형상오차로부터 테이블 운동오차를 예측하고, 이와 더불어 각 축 사이의 직각도 오차를 측정한 후 이로부터 최종적으로 3 축 장비에 대한 공간오차를 평가할 예정이다. 예측된 공간오차는 실제 레이저를 이용한 공간오차 측정방법을 이용하여 검증할 예정이다.