• 제목/요약/키워드: 혼산

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LCD 식각폐액으로부터 질산과 초산의 분리 (Separation of Nitric Acid and Acetic Acid from the Waste Acid in LCD Etching Process)

  • 전희동;노유미;박성국;김주한;신창훈;김주엽;안재우
    • 청정기술
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    • 제14권2호
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    • pp.123-128
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    • 2008
  • LCD 제조공정에서 배출되는 폐에칭액으로부터 조(粗)인산 회수 후 잔류하는 질산, 초산 혼산폐액을 분리하여 자원화함으로써 고부가가치화하고 2차 폐수의 발생이 없는 친환경적인 청정 재활용기술을 개발하고자 진공증발을 이용하여 혼산폐액을 분리하였다. 진공도 -760 mmHg 조건에서 온도의 따른 진공증발 결과 $33^{\circ}C$ 이하에서는 초산만 증발되었으나 $33^{\circ}C$ 이상에서는 초산과 함께 질산이 미량 증발되었다. 초산 회수율을 높이고 질산 증발을 억제하기 위하여 -760 mmHg, $40^{\circ}C$ 조건으로 증발시간에 따른 증발거동을 조사하고 회수되는 증발량을 고려하여 추가로 물과 원액을 공급하였다. 또한 질산만 선택적으로 반응하도록 20 g/L NaOH를 소량씩 단계적으로 공급하였다. 질산 증발은 batch type 에서는 7%이었으나, 물 추가 시 0.78%, 원액 추가 시 0.25%까지 감소하였다. 20 g/L NaOH를 소량씩 단계적으로 공급한 결과 초산 회수율은 100%까지 증가하였으며, 질산은 6.22%까지 증발하였다.

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반도체 제조공정에서 발생하는 혼산폐액으로부터 고순도 인산 회수 (Recovery of phosphoric acid from the waste acids in semiconductor manufacturing process)

  • 박성국;노유미;이상길;김주엽;신창훈;안재우
    • 한국자원리싸이클링학회:학술대회논문집
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    • 한국자원리싸이클링학회 2006년도 춘계임시총회 및 제27회 학술발표대회
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    • pp.90-94
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    • 2006
  • 액정(LCD)과 반도체 제조공정에서 발생하는 인산, 질산, 초산, Al, Mo 등이 혼재하고 있는 인산계 혼산폐액을 액정제조공정에서 사용할 수 있는 고순도 에칭액으로 재활용하기 위해서 용매추출법, 진공 증발법, 확산투석법 및 이온교환법의 각각의 기술적 특성을 살린 혼합 처리공정을 이용하여 고순도 인산 회수 기술을 확립하고 상용화 시스템을 개발하고자 하였다. 시험 결과 진공증발에 의해 질산과 초산을 100% 제거할 수 있었고, TOP를 사용한 용매추출에서도 추출 4단, 탈거 6단, 상비 1/3으로 완벽하게 제거할 수 있었다. 이온교환의 전단계로 적용한 확산투석에서 Al 97%, Mo 75% 제거할 수 있었고 이온교환공정에서 Al 및 Mo를 각각 1ppm 이하로 정제할 수 있었다.

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지질시료 중의 U과 Th 분석 및 자연방사성동위원소 측정을 위한 화학적 분리 (A Sequential Separation Procedure for the Determination of Uranium, Thorium and Their Isotopes in Geological Materials)

  • 김정석;최광순
    • 분석과학
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    • 제10권5호
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    • pp.307-314
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    • 1997
  • 지질시료 중의 U과 Th을 유도결합플라즈마 원자방출분광법으로 정량하기 위해 시료를 혼산으로 분해하고 TTA(thenoyltrifluoroacetone)와 TOA (tri-n-octylamine) 추출제를 이용하여 계통적으로 용매추출한 다음 HCl 용액으로 역추출하여 분리하였다. 표준암석 NIST SRM 278에 대한 분석결과는 NIST 및 다른 비파괴분석 결과와 비교하여 양호하였다. 알파선분광법으로 U과 Th의 자연방사성 동위원소를 측정하기 위해 추출분리한 각각을 음이온교환크로마토그래피로 정제하였다.

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초산, 불산 및 질산을 함유한 혼산의 분리를 위한 기초 연구 (A Basic Research on the Separation of Mixed acid containing Acetic acid, Hydrofluoric acid and Nitric acid.)

  • 이향숙;신창훈;김준영;김주엽;이용희;안재우
    • 한국자원리싸이클링학회:학술대회논문집
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    • 한국자원리싸이클링학회 2005년도 추계정기총회 및 제26회 학술발표대회 고분자리싸이클링기술 특별심포지엄
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    • pp.281-288
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    • 2005
  • 실리콘웨이퍼 제조공정에서 발생되는 초산, 불산 및 질산을 함유한 폐혼산으로 부터 각 산을 분리한 후 재활용하기 위하여 기초 실험을 실시하였다. 용매추출 법을 이용하여 초산, 불산 및 질산을 분리하기 위해 최적 추출제를 선정 하였고, 단일 성분에서의 추출 및 탈거특성에 관해 조사하였다. 또한, 이성분계 혼합산에서 분배비를 조사하여 상호 분리성에 대해 검토하였다. 실험 결과 인산염계 추출제는 고급 알코올에 비해 각 산의 추출 능력이 높다는 것을 확인하였다. 초산과 질산의 이성분 혼합액에서는 고급 알코올을 사용하면 초산이 분배비가 높아 선택적으로 추출되는 것을 확인하였고, 초산과 불산의 이성분 혼합액에서도 인산염계 추출제 보다 고급 알코올 사용시 초산의 분배비가 높아 선택적으로 추출됨을 확인하였다. 한편, 질산과 불산의 혼합액에서는 인산염계 추출제를 사용하여 질산이 선택적으로 추출됨을 확인하였다.

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염산-불산-과산화수소 혼합용액에 의한 스테인레스강의 산세 특성 (Acid Pickling Characteristics of Stainless Steel by the Mixed Solution of Hydrochloric acid, Hydrofluoric acid and Hydrogen Peroxide)

  • 전희동;최상교
    • 청정기술
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    • 제11권1호
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    • pp.21-28
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    • 2005
  • 스테인레스강의 산세공정에서 사용하는 질산으로 인한 환경문제를 해결하기 위하여 질산을 포함하지 않는 새로운 산세용액을 개발하고자 하였다. 산세용액의 반복 사용 시의 산세성능과 모재의 침식 정도를 기준으로 연구한 결과, 산 1%, 불산 및 과산화수소 각 2% 의 조성을 갖는 용액이 기존의 질산-불산 용액과 유사한 수준의 우수한 산세특성을 나타내었다. 또한 산세능을 유지하기 위해서는 염산 대비 과산화수소의 비율을 0.5 이상 유지해야 하는 것으로 나타났다.

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ICP-AES와 MIBK 용매를 이용한 광물중의 금 분석 (Determination of gold concentration in ore by ICP-AES with MIBK)

  • 임헌성;이석근
    • 분석과학
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    • 제20권6호
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    • pp.496-501
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    • 2007
  • ICP-AES를 이용하여 금을 분석할 때 감도가 가장 우수한 242.795 nm 파장은 분광학적 간섭을 일으키는 망간, 크롬, 코발트, 철 등의 원소들 때문에 광물에서 금의 분석은 불가능하다. 여기에서는 이들 원소들을 정량적으로 분리하는 분리방법을 연구하였다. 광물에서 금을 분리하기 위하여 광물을 용해한 산 용액에 MIBK 용매를 사용하여 정량적으로 추출하였다. 이때 질산과 염산의 혼산과 MIBK/n-hexane의 혼합용매는 효율적으로 금을 추출할 수 있었으며, 회수율은 97.5% 이상이었다.

Silicon wafer 에칭공정시 발생(發生)되는 폐(廢)에칭액 으로부터 초산(醋酸), 질산(窒酸) 및 불산(弗酸)의 분리.회수(分離.回收)에 관한 연구(硏究) (A study on the Separation of Acetic Acid, Nitric Acid and Hydrofluoric Acid from Waste Etching Solution of Si Wafer Manufacturing Process)

  • ;;;;;안재우
    • 자원리싸이클링
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    • 제16권1호
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    • pp.59-67
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    • 2007
  • 실리콘 웨이퍼 제조공정 중 발생되는 초산, 질산 및 불산을 함유한 3성분계 폐혼산으로부터 개별산으로 분리하여 재활용할 목적으로 용매추출법을 적용하였다. 각 산의 분리를 위해 사용한 추출제로는 초산의 경우는 EHA(2-Ethylhexlalcohol)를 사용하였고, 질산과 불산의 경우에는 TBP(Tri-butylphosphate)를 사용하여 각 산의 분리과정에 대한 공정설계를 위한 기초 data를 얻고자 하였다. 3성분계 폐혼산에서 초산을 추출 분리하고 이후 추출여액 중 질산 및 불산을 순차적으로 추출 분리 할 수 있는 연속공정개발을 위하여 기초 실험 자료와 McCabe-Thiele해석을 통해 최적 투입유량비(O/A), 소요단수(Stage) 등을 결정하였다. 분석 결과 혼산으로부터 초산의 회수율은 90%이상 이었으며 초산 추출여액에서 질산의 회수율은 90%, 최종 추출잔류액에서 불산의 회수율은 67%이상 이었다.

오존을 이용한 혼산폐수처리에 관한 청정기술개발 및 재이용 물질 회수에 관한 연구 (On the Recycling Substances and a Clean Technology Development for the Treatment of Mixed Acid Waste Water with Ozone)

  • 김재우
    • 환경위생공학
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    • 제15권2호
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    • pp.34-40
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    • 2000
  • In the tungsten industry, molybdenum wire which used as the center supporter for coil shape tungsten wire was removed. Nitric acid dissolution method which used prevalently up to the present, takes nitric acid as major component and use noxious material such as sulfuric acid and hydrochloric acid remove molybdenum wire which used as center supporter by dissolve selectively within the range of no damage on tungsten wire. Mixed acid waste water occurred to the process were difficult to be decomposed by the conventional methords. This mixed acid waste water was treated by ozone, and It was obtained using possible by-product through the treatment waste water. For the three reactors with the same volume ; Blank reactor, Disturbance plate reactor, Packed-bed reactor ; the results were as follows : For the blank reactor COD removal efficiency in the pH = 4 (HRT : 6hr) was 28.5%, COD removal efficiency in the pH = 7 (HRT : 6hr) was 28.6%, and COD removal efficiency in the pH = 10 (HRT : 6hr) was 27.8%. For the disturbance plate reactor COD removal efficiency in the pH = 4 (HRT : 6Min.) was 86.5%, COD removal efficiency in the pH =7 (HRT : 6Min.) was 84.4%, and COD removal efficiency in the pH = 10 (HRT : 60Min.) was 86.8%. For the packed-bed reactor COD removal efficiency in the pH = 4 (HRT : 40Min.) was 76.0%, COD removal efficiency in the pH = 7 (HRT : 40Min.) was 81.3%, and COD removal efficiency in the pH = 10 (HRT : 40Min.) was 84.6%. After O3 treatment using possible by-product(Na2SO4) was 150g/ℓ.

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MWCNT 표면에 Michael 부가 반응으로 자유 라디칼 중합 가능한 Methacrylate기 도입에 대한 최적 개질 조건 (Optimum Conditions for Introducing Free Radical Polymerizable Methacrylate Groups on the MWCNT Surface by Michael Addition Reaction)

  • 김성훈;박성환;권재범;하기룡
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제53권1호
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    • pp.83-90
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    • 2015
  • 본 연구에서는 multi-walled carbon nanotube (MWCNT) 표면에 자유 라디칼 중합 가능한 methacrylate기를 다량으로 도입하기 위한 연구를 수행하였다. 먼저, MWCNT 표면에 카르복실기(-COOH)를 도입하기 위하여 황산과 질산의 혼산으로 초음파로 처리하면서 2시간 산화시켜 MWCNT-COOH를 합성하였다. 합성된 MWCNT-COOH를 염화티오닐(thionyl chloride)와 반응시켜 MWCNT-COCl을 합성하고, triethylenetetramine (TETA)와 반응시켜 MWCNT-$NH_2$를 합성하였다. 합성된 MWCNT-$NH_2$와 3-(acryloyloxy)-2-hydroxypropyl methacrylate (AHM)의 투입 몰 비를 변화시키면서 Michael 부가 반응으로 MWCNT 표면에 methacrylate기가 도입된 MWCNT-AHM을 합성하였다. MWCNT의 표면 개질정도는 fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy, thermogravimetric analysis (TGA)와 원소분석(elemental analysis, EA) 분석을 통해 개질 반응의 진행 정도와 최적 개질 조건을 확인하였다. 그 결과 MWCNT-$NH_2$에 접목되어 있는 TETA에 대하여 AHM의 반응 몰 비를 1:10로 하고 8시간 반응시켰을 때 methacrylate기가 가장 많이 도입되는 조건임을 확인하였다.

유도결합 플라즈마 원자방출분광법 및 질량분석법에서 산의 농도에 의한 영향 (Some Effects of Acid Concentrations in Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry and Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)

  • 조만식;임흥빈;김영상;이광우
    • 분석과학
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    • 제5권3호
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    • pp.277-283
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    • 1992
  • 질산, 염산, 황산 그리고 질산과 염산의 1:1 혼산의 농도를 변화시키면서 유도결합 플라즈마 원자방출분광법(ICP-AES)의 신호크기에 미치는 산의 영향을 연구하였다. 거의 모든 측정원소의 신호크기가 감소되었다. 산의 존재로 인한 감소는 산 농도가 1% 이상 될 때 심하게 눈에 띄었고, 사용된 산 중에서 황산에 의한 감소가 가장 심했으며 그 정도를 예측하기 힘들었다. 산의 농도를 변화시키면서 측정 원소의 신호크기 대 Ar 신호크기의 비, 그리고 Mg II 신호크기 대 Ma I 신호의 비를 측정하였다. 이 연구에서, 신호크기 감소의 주된 원인은 플라즈마 들뜸특성의 변화에 의한 것이 아니고, 분무효율의 변화, 예를 들면 droplet 크기분포, 점도와 표면장략의 변화 등인 것으로 판명되었다. 유도결합 플라즈마 질량분석법(ICP-MS)에서는 신호크기의 감소와 이온화 에너지와의 상관관계는 발견되지 않았다.

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