• Title/Summary/Keyword: 형상 측정

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Comparison Surface Error Measurements of Aspherical Mirror (비구면 반사경 표면의 형상오차 측정법 비교)

  • An, Jongho;Pak, Soojong;Kim, Sanghyuk;Park, Woojin;Jeong, Byeongjoon
    • The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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    • v.41 no.1
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    • pp.73.3-74
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    • 2016
  • 본 연구에서는 비구면 반사경의 형상오차를 3가지 방법으로 측정, 비교하였다. 실험에 사용한 포물면 반사경의 구경은 108 mm, 유효초점거리는 444.5 mm 이다. 첫 번째로 접촉식 형상측정방식인 FTS(Form TalySurf)를 이용하여 표면 거칠기와 반사경의 최적 곡률 반경(BestFitt Radius) 값을 측정하였다. 두 번째로는 비접촉식 형상측정방식인 UA3P(Ultrahigh Accurate 3-D Profilometer)를 이용하여 반사경의 형상 정밀도를 측정하였다. UA3P를 이용할 경우 반사경의 전체 형상을 측정할 수 있다. 세번째로 Shark-Hartmann 센서를 이용한 광학측정방법으로 반사경의 형상 정밀도를 측정하였다. 측정에 필요한 레이저 광학계는 레이저, 콜리메이터, 핀홀, 카메라 렌즈 및 비구면 광학계를 이용하여 설계하였다. 본 연구에서 도출한 각 측정 방법의 신뢰도를 바탕으로 간섭계 사용에 제약이 있는 자유형상곡면의 반사경 표면의 형상오차 측정에 적용할 계획이다.

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Development of Profilometry based on a Curvature Measurement (곡률에 근거한 형상 측정기술 개발)

  • Kim, Byoung-Chang
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.18 no.2
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    • pp.130-134
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    • 2007
  • I present a novel curvature profilometer devised fur the profile measurement of aspheric and free-form surfaces on the nanometer scale. A profile is reconstructed from measuring the curvature of a test part of the surface at several locations along a line. For profile measurement of free-farm surfaces, methods based on local part curvature sensing have strong appeal. Unlike full-aperture interferometry they do not require customized null optics. The measurement accuracy of the curvature profilometer was assessed by comparison with a well-calibrated interferometer in NIST. Experimental results prove that the maximum discrepancy turns out to be 37 nm on the 28 mm measurement range for the spherical mirror.

GPS Methods for 3-D Profile Measurement of Light Scattering Surface (광산란 표면형상 측정을 위한 위성 항법 시스템 응용)

  • 김병창;김승우
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.07a
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    • pp.146-147
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    • 2003
  • 산업계에서의 다양한 제품 개발로 인해 새로운 형상 측정기술이 요구된다. 칩패키지와 실리콘 웨이퍼로 대표되는 광산란 표면 특성을 가진 제품들의 형상 측정은 거친 표면을 가진 반면 수마이크로의 형상 측정 정밀도를 요구하기 때문에 기존의 측정법으로는 기대하는 성과를 이루지 못해왔다. 현재까지 기존의 정통적인 측정법을 통해 측정 시도되어 온 방법들은 다음과 같이 두 방법으로 요약된다. 첫째, Kwon과 Han등은 경면(specular surface)을 측정하던 정통적인 간섭계에 10.6$\mu$m파장의 $CO_2$레이저를 광원으로 사용함으로써 가시광선 영역에서의 광산란 표면을 적외부 영역에서 경면화 하여 측정하였다. (중략)

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CMM을 이용한 Airfoil의 Edge부위 측정오차 최소화를 위한 Fitting방법

  • 강진우;변재현
    • Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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    • 2000.04a
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    • pp.709-712
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    • 2000
  • 본 연구는 turbine compressor airfoil의 측정 및 검사 업무에서 edge(leading edge/trailing edge) 부위에서 자주 발생하는 프로브 slip현상으로 인한 측정 오차를 최소화하기 위하여 터빈 압축기의 airfoil 형상 규격에 대하여 살펴보고, 균일 샘플링방법을 이용하여 최소제곱법으로 보상하여 최적의 형상을 구하는 방법을 제시하고자 한다. 국내 기업에서는 airfoil형상의 edge부위를 검사할 때 leading edge부위의 타원 형상과 trailing edge부위의 원 형상을 AutoCAD상에서 임의로 그려서 규격을 검사하고 있다. 따라서 본 연구에서는 edge부위에서 발생하는 측정오차를 최소화하기 위하여 보다 정확하고 체계적인 fitting 방법을 도입함으로써, airfoil의 형상치수에 관한 규격검사 업무의 신뢰성과 효율을 향상시키고자 한다.

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Rotational Prism Stitching Interferometer for High-resolution Surface Testing (고해상도 표면 측정을 위한 회전 프리즘 정합 간섭계)

  • In-Ung Song;Woo-Sung Kwon;Hagyong Khim;Yun-Woo Lee;Jong Ung Lee;Ho-Soon Yang
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.34 no.3
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    • pp.117-123
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    • 2023
  • The size of an optical surface can significantly affect the performance of an optical system, and high spatial frequency errors have a greater impact. Therefore, it is crucial to measure the surface figure error with high frequency. To address this, a new method called rotational prism stitching interferometer (RPSI) is proposed in this study. The RPSI is a type of stitching interferometer that enhances spatial resolution, but it differs from conventional stitching interferometers in that it does not require the movement of either the mirror tested or the interferometer itself to obtain sub-aperture interferograms. Instead, the RPSI uses a beam expander and a rotating Dove prism to select particular sub-apertures from the entire aperture. These sub-apertures are then stitched together to obtain a full-aperture result proportional to the square of the beam expander's magnification. The RPSI's effectiveness was demonstrated by measuring a 40 mm diameter spherical mirror using a three-magnification beam expander and comparing the results with those obtained from a commercial interferometer. The RPSI achieved surface testing results with nine times higher sampling density than the interferometer alone, with a small difference of approximately 1 nm RMS.

Automatic Object Recognition in 3D Measuring Data (3차원 측정점으로부터의 객체 자동인식)

  • Ahn, Sung-Joon
    • The KIPS Transactions:PartB
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    • v.16B no.1
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    • pp.47-54
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    • 2009
  • Automatic object recognition in 3D measuring data is of great interest in many application fields e.g. computer vision, reverse engineering and digital factory. In this paper we present a software tool for a fully automatic object detection and parameter estimation in unordered and noisy point clouds with a large number of data points. The software consists of three interactive modules each for model selection, point segmentation and model fitting, in which the orthogonal distance fitting (ODF) plays an important role. The ODF algorithms estimate model parameters by minimizing the square sum of the shortest distances between model feature and measurement points. The local quadric surface fitted through ODF to a randomly touched small initial patch of the point cloud provides the necessary initial information for the overall procedures of model selection, point segmentation and model fitting. The performance of the presented software tool will be demonstrated by applying to point clouds.

모아레 광간섭에 의한 금형 형상의 삼차원 자동측정과 CAD/CAM과의 연계

  • 김승우
    • Journal of the KSME
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    • v.32 no.2
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    • pp.175-183
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    • 1992
  • 모아레토포그라피를 이용한 금형제작을 위한 클레이모형(clay model)의 3차원 형상측정을 위한 방법이 제시되었다. 그리고 모아레무늬를 해석하는 방법이 제시되어 클레이모형의 형상을 측정 하였고 디지털영상처리기법을 사용하는 일련의 과정을 통해 3차원 형상을 재현하였다. IBM PC/386과 CCD 카메라를 사용하여 실험한 결과 0.005mm의 분해능을 가지며 측정속도가 5분 가량이 소요되었다. 따라서 광학적방법이 접촉식 디지타이징을 이용하였을 경우 발생하는 많은 문제점 등을 효율적으로 보완할 수 있다. 그리고 품질검사를 자동화할 수 있는 방법을 제시하 였고 기존의 모아레토포그라피가 가지는 어려움을 극복하기 위하여 새로운 방법인 주사식 모아 레토포그라피를 제시하였다.

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Development of an Optical Sensor for Measuring the Shape of a Back Light Unit Module (백라이트 모듈 유리의 형상 측정을 위한 광센서 개발)

  • Jang Yong-jin;Ryu Young-kee;Oh Chun-suk
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2004.06a
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    • pp.176-178
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    • 2004
  • 디스플레이 매체의 발전에 따라 TV나 컴퓨터 모니터 또는 TFT-LCD, PDP, EL 등의 평판 디스플레이장치들의 대형화, 고화질, 고정밀도가 요구되어지고 있다. 이러한 디스플레이 장치들은 영상표시를 위해 유리를 사용하고 있는데, 사용되는 유리의 형상과 두께는 디스플레이 장치들의 성능에 영향을 준다. 특히 장치가 대형화되면서 대형 평판 유리의 변형된 형상과 균일하지 않은 두께는 디스플레이 장치들의 고화질, 고정밀도를 막는 주요한 요인이 되고 있다. 이러한 이유로 디스플레이 장치용 평판 유리의 형상 및 두께를 측정하는 센서의 요구가 많아지고 있다. 그러나 아직 유리의 형상과 두께를 측정하는 센서 및 시스템은 고가이고. 측정 방법 또한 많은 문제점을 가지고 있다. 본 논문에서는 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 하나의 센서로 유리의 형상과 두께를 동시에 고속으로 측정이 가능한 저가의 비접촉식 광센서를 개발하기로 한다. 이 논문에서 개발된 광센서에는 CD-player에 사용되는 홀로그램 레이저를 사용함으로써 고정밀 형상측정, 저가의 광센서, 센서의 소형화를 이룰 수 있다.

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Weighted least-square phase-unwrapping method using intensity modulation in moire interferometry (모아레 간섭계에서 Modulation을 이용한 가중 최소자승 위상 복원 방법에 관한 연구)

  • 이현호;채규민;박승한
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2000.08a
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    • pp.128-129
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    • 2000
  • 3차원 형상측정에서 많이 쓰이고 있는 모아레 간섭계에는 그 setup에 따라 Projection Type과 Shadow Type이 있다. 이러한 모아레 간섭계는 광원과 측정 카메라의 각도에 의해 물체의 형상을 측정하게 된다. 그러나, 이러한 광원과 측정 카메라의 각도에 의해 생겨나는 그림자에 의한 영향 때문에 물체의 형상이 굴곡이 심한 곳은 측정하기 어렵다. 본 논문에서는 아래 그림과 같이 두 개 이상의 광원을 사용하여 그 영향을 줄이기 위한 방법을 제안하였다. 이 방법은 projection type이나 shadow type에서 동일하게 적용 가능할 것으로 예상된다. (중략)

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