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반도체 제조공정에서의 입자제어

  • 정재인
    • 기계저널
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    • 제52권5호
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    • pp.40-45
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    • 2012
  • 이 글에서는 반도체 산업에서 기계공학의 중요성과 반도체 공정 기술의 변화와 함께 요구되는 입자제어 기술의 현황에 대해 소개하고자 한다.

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