• Title/Summary/Keyword: 현미경

Search Result 7,913, Processing Time 0.027 seconds

Nanotube-tip AFM for the application of photonic devices (나노튜브 탐침을 이용한 미세 광소자 측정 개선)

  • 정기영;송원영;오범환;박병천
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
    • /
    • 2003.07a
    • /
    • pp.302-303
    • /
    • 2003
  • 원자간력-현미경(Atomic Force Microscope)은 비파괴적인 방법으로 광소자의 단면 형상과 거칠기에 관한 정보를 원자단위의 해상도로 얻어낼 수 있다. 그러나 탐침의 형상에 의해서 공간분해능에 제한을 받는다. 이 문제를 해결하기 위해, 원자간력-현미경 탐침의 끝부분에 나노튜브를 부착하였다. 주사형 전자현미경에 설치한 나노조작기를 사용하여 나노튜브를 탐침에 밀착하도록 이동시킨 후에, 탄화물 증착으로 접착시키는 방법을 사용하였다.

  • PDF