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$CO_2$ 클러스터 표면 처리를 이용한 그래핀 특성 향상에 관한 연구

  • Choe, Hu-Mi;Kim, Jang-A;Jo, Yu-Jin;Hwang, Tae-Hyeon;Lee, Jong-U;Kim, Tae-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.655-655
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    • 2013
  • 그래핀은 높은 전자 이동도, 열전도도, 기계적 강도, 유연성 등의 고유한 특성으로 다양한 분야에 응용하기 위한 연구가 수행되고 있으며, 특히 전자 소자에의 적용에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 전자 소자에 적용하기 위해서는 성장 및 물성에 관한 규명, 응용 소자에 따른 특성 평가가 필요하다. 이러한 소자 특성은 그래핀 물성에 의한 영향이 기본적이지만 에칭, 전사 등의 공정 중 발생하는 오염, 표면 특성, 잔여물 등에 의한 물성 변화 또한 분석 및 제어에 관한 연구가 필요하다. 열화학증착법(thermal chemical vapor deposition)을 이용한 그래핀 합성은 구리 기판을 사용하며, 합성된 그래핀의 에칭, 박리 및 전사 공정이 있다. 이러한 공정 중 발생하는 오염 입자가 그래핀 표면에 흡착되거나, 제거되지 않은 PMMA 잔여물이 그래핀의 특성에 영향을 미치게 된다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터의 표면 충돌을 이용하여 이러한 오염 물질 및 잔여물을 제거하고 그래핀 표면을 평탄화하는 것에 관한 연구를 수행하였다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기 까지 성장 하게 된다. 클러스터를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반 한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 본 연구에서는 이러한 변수들을 제어하여 클러스터를 이용한 그래핀 표면 처리 실험을 수행하였다. 평가는 클러스터 표면 처리 전과 후의 특성 비교에 기반 하였으며, 광학 현미경을 이용한 표면 형상 측정, 라만분광 분석, AFM을 이용한 표면 조도 측정, 그래핀 면저항 측정 결과를 비교하였다. 평가 결과를 통하여 표면 처리를 하지 않은 그래핀에 비하여 면저항과 표면 조도가 낮아지는 것을 확인 할 수 있었다. 또한 클러스터 세정은 300 mm 웨이퍼 크기 이상의 대면적을 짧은 시간에 건식으로 세정할 수 있다는 장점이 있어 향후 최적화를 통해 그래핀 양산 시 특성 향상을 위한 후처리 방법으로 사용될 수 있음을 확인하였다.

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An Adaptive Method based on Data Size for Broadcast in Mobile Computing Environments (이동 컴퓨팅 환경에서 데이타 크기를 고려하는 적응적 브로드캐스팅 기법)

  • 유영호;이종환;김경석
    • Journal of KIISE:Information Networking
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    • v.30 no.2
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    • pp.155-166
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    • 2003
  • Mobile computing becomes a new issue of researches in computing due to the advances of mobile equipment and the connection with Internet. In mobile environment, there are many constraints such as limited bandwidth, intermittent disconnection, limited battery life, and so on. By these reasons, broadcasting has been generally used to disseminate data efficiently by the mobile applications. This paper proposes an adaptive broadcasting method which logically divides broadcast channel into the periodic broadcast channel and the on-demand broadcast channel and dynamically assigns the bandwidths of both channel. The former disseminates data that are selected based on both the popularity and the size of each datum, the latter disseminates data that are selected based on the requests of mobile clients. When selecting data to be disseminated, the proposed broadcasting method considers the mobility of a mobile client and also considers the size of each datum by using SF(size factor) proposed in this paper. This paper also evaluates the proposed broadcasting method by measuring the energy expenditure of mobile client in experiments.

Study of the Optimal Mesh Size for a Safety Net for Preventing Falls from Wave-dissipating Blocks (소파블록 낙상사고 방지를 위한 안전망 그물코 크기 산정에 관한 연구)

  • Yoon, Han-Sam;Kim, Min-Su;Jang, Sung-Chul;Lee, Hieung-Sin
    • Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
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    • v.25 no.7
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    • pp.834-840
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    • 2019
  • Recently, due to increased tourism and leisure activities, falls by fishers from coastal wave-dissipating blocks (breakwaters) in Korea have been rising. We investigated the optimal mesh size for use in safety nets designed to cover Tetrapod (TTP) breakwaters to prevent casualties from falls. This is a prerequisite for considering the scale and economics of safety net facilities. The optimal mesh size was determined based on the fisher gender and age, and the bodily features of Koreans. The optimal mesh size was found to be 18.6-27.0 cm, derived based on the femoral length and chest circumference.

PSNR Comparison of DCT-domain Image Resizing Methods (DCT 영역 영상 크기 조절 방법들에 대한 PSNR 비교)

  • Kim Do nyeon;Choi Yoon sik
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.29 no.10C
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    • pp.1484-1489
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    • 2004
  • Given a video frame in terms of its 8${\times}$8 block-DCT coefncients, we wish to obtain a downsized or upsized version of this Dame also in terms of 8${\times}$8 block DCT coefficients. The DCT being a linear unitary transform is distributive over matrix multiplication. This fact has been used for downsampling video frames in the DCT domains in Dugad's, Mukherjee's, and Park's methods. The downsampling and upsampling schemes combined together preserve all the low-frequency DCT coefficients of the original image. This implies tremendous savings for coding the difference between the original frame (unsampled image) and its prediction (the upsampled image).This is desirable for many applications based on scalable encoding of video. In this paper, we extend the earlier works to various DCT sizes, when we downsample and then upsample of an image by a factor of two. Through experiment, we could improve the PSM values whenever we increase the DCT block size. However, because the complexity will be also increase, we can say there is a tradeoff. The experiment result would provide important data for developing fast algorithms of compressed-domain image/video resizing.

PCDS: 반도체 및 디스플레이 공정 시 실시간 입자 분석 및 모니터링 방법

  • Kim, Deuk-Hyeon;Kim, Yong-Ju;Gang, Sang-U;Kim, Tae-Seong;Lee, Jun-Hui
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.70.2-70.2
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    • 2015
  • 현재 반도체 및 디스플레이이 공정 분야는 1 um 이상의 입자에서부터 10 nm이하 크기의 오염입자를 제어해야 한다. 현재 오염원인을 파악하기 위해서 사용하는 방법은 공정 완료 후 대상물(웨이퍼 및 글래스)을 CD-SEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope)와 같은 첨단 분석장비를 사용하여 사후 (Ex-situ) 진행하고 있다. 이러한 방법은 오염원이 이미 공정 대상물을 오염시키고 난 후 그 원인을 분석하는 방법으로 그 원인을 찾기가 어려울 뿐만 아니라, 최근 공정관리가 공정 진행 중(In-situ) 행해져야 하는 추세로 봤을 때 합당한 방법이라 할 수 없다. 이를 해결하기 위해 진공공정 중 레이저를 이용하여 측정하고자 하는 여러 시도들이 있었지만, 여전히 긍정적인 답변을 보여주지 못하고 있다. 본 발표에서 소개하는 PCDS (Particle Characteristic Diagonosis System)은 PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer)와 SEM (Scanning Electron Microscope), 그리고 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)를 통합하여 만든 시스템으로 진공공정 중 (In-situ) 챔버 내부에서 발생하고 있는 입자의 크기 분포, 입자의 형상, 그리고 입자의 성분을 실시간으로 분석할 수 있는 방법을 제공한다. 이러한 방법 (PCDS)에 대한 개념과 원리, 그리고 현재까지 개발된 단계에서 얻어진 결과에 대해 소개할 것이다.

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Phoneme Extraction from Freely Hand Written Han Gul (자유 필기체 한글에서의 자모 추출)

  • Oh, Weon-Geun;Shin, Young-Geon;Ahn, Young-Kyung
    • Annual Conference on Human and Language Technology
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    • 1989.10a
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    • pp.142-147
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    • 1989
  • 필기체 문자는 인쇄체 문자와는 달리, 복잡한 변형이 따르므로, 인식 하는데 많은 문제점이 따른다. 그렇기 때문에 일반적인 필기체 인식에 있어서는 필기 자체에 대한 제한을 두어 변형을 적게한 문자를 인식 대상으로 삼고 있다. 이러한 문자는, 설정된 조건만 확실하게 만족한다면, 비교적 간단하게 인식 할 수 있다. 반면에, 자유 필기체 문자는, 제한 필기체 문자와는 달리 변형이 크기 때문에, 그 인식에는 많은 연구가 필요하다. 본 연구에서는, 자유 필기체 한글의 자모를 추출하는데 있어 두개의 parameter space method를 이용했다. 화상내에서의 혼합은, 기본적으로 5 개의 element ($\mid,\;\setminus,\;/,\;-,\;o$)로 구성되어 있고, 이 element를 정의하는데는 최소한 4 개의 parameter, 즉 element의 위치 [x, y], 크기 [1] 및 type [T] 등이 필요하다. 입력 화상에서 추출된 직선 및 원의 성분은 [x, y, l] 과 [x, y, T]의 2 개의 3-D parameter space 에 누적되고, parameter space 상에서의 병합 분할 과정을 거쳐, element 가 형성된다. 추출된 element 들은, parameter space 상에서의 방향성 및 상호 위치 관계에 의한 조합 형태로서, 미리 기술되어진 자모 모델과 비교되어 인식된다. 본 방법의 특정은, 문자의 크기에 무관하고, 해석방법에 의해서는, 끊어진 element나 불필요한 element 등의 왜곡된 element 들의 처리가 가능한 점, 4 차원 parameter space를 두개의 3 차원 parameter space로 분리, 처리시간과 기억용량의 절약을 기한점 등을 들 수 있다.

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Design of Hairpin-Comb Bandpass Filter using Ground Aperture (접지면 어퍼쳐를 사용한 Hairpin-Comb 대역통과 여파기 설계)

  • 이진택;박정훈;김상태;신철재
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.14 no.1
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    • pp.20-26
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    • 2003
  • This paper presents hairpin-comb bandpass filter using ground aperture. Hairpin-comb resonator maintains the weak coupling though the space between two resonators is very small. This has the good merit that the entire filter size is small for narrowband bandpass filter. The coupling between two hairpin-comb resonators so very weak that can't be applicable to general microstrip. We compensate the coupling by using ground aperture. It makes the hairpin-comb filter possible that can be applicable to general microstrip. Also it has the good merit which adjusts the bandwidth by changing the size of aperture without changing the space. In this paper, we fabricate the bandpass filter, which has 1.78 GHz center frequency and 62 MHz (3.5%) fractional bandwidth.

Optimal Design of Mud Flushing System in Ballast tank of LNG Carrier (LNG선 Ballast Tank Mud Flushing System의 최적설계)

  • Park, Sang Hyeop;Song, Yoo Seok;Kim, Young Bok
    • Transactions of the KSME C: Technology and Education
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    • v.4 no.2
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    • pp.85-92
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    • 2016
  • During ballast of a LNG carrier, the mud at the sea floor can enter the tanks together with the ballast water if the LNG terminal is located at shallow water region. In order to remove the mud deposited on the tank floor during deballasting, the mud flushing system in the ballast tanks is applied. In this study, various analyses to conform the efficiency in the mud removal are performed. In order to design the mud flushing system, the particle size of the mud is measured by particle size analyzer. Flushing performance is evaluated by numerical analysis. From the results of numerical analysis including flow field and piping system network, the optimized flushing system is determined.

DCF Throughput Analysis of the MAC Layer in the IEEE 802.11 Wireless LAN (IEEE 802.11a 무선 LAN의 MAC 계층DCF 처리율 분석)

  • Jung, Jin-Wook;Ha, Eun-Sil;Lee, Ha-Chul
    • Journal of Korea Multimedia Society
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    • v.8 no.4
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    • pp.509-515
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    • 2005
  • This paper explores the throughput of DCF protocol with both the traffic intensity and MSDU size at the MAC layer in the 802.11a wireless LAN. By exploring the throughput of DCF protocol with the data rate of 6Mbps, 12 Mbps, 24 Mbps and 54 Mbps, we find the fact that the less the data rate be, the higher the throughput be. We also find, from the throughput calculation by means of traffic intensity and MSDU size, that the longer the MSDU size is, the higher the throughput is. We also found the traffic intensity that the throughput is at the maximum point with the fixed MSDU size.

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연 잎 구조를 응용한 금속 표면의 발수 특성 개발

  • Byeon, Eun-Yeon;Lee, Seung-Hun;Kim, Jong-Guk;Kim, Yang-Do;Kim, Do-Geun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.167-167
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    • 2013
  • 최근 발수 특성은 자동차 표면, 건축 구조물, 가전제품 및 모바일 기기 등 여러 분야에서 사용되고 점차 그 필요성이 대두되고 있다. 이러한 발수성의 표면은 연 잎이나 곤충의 날개, 도마뱀의 발바닥 등 자연계의 여러 곳에서 관찰 할 수 있다. 특히 연 잎의 표면에서 나타나는 초발수 특성이 마이크로와 나노 크기의 돌기 구조와 표피 왁스 성분에 기인한다는 것이 밝혀지면서 이를 응용한 다양한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 물리적인 표면처리로 마이크로와 나노 구조물을 형성하고 그 위에 표면에너지를 낮출 수 있는 물질을 증착하여, 발수 특성을 가지는 표면을 개발하였다. 알루미늄 표면에 마이크로 크기의 알루미나(Al2O3) 분말을 이용한 블라스트(blast) 공정으로 마이크로 구조를 형성하고, 선형 이온 소스(LIS)를 이용한 Ar 이온 빔 에칭으로 나노 구조를 형성하였다. FE-SEM 분석을 통해 수~수십 마이크로 구조 위에 나노 크기의 구조가 형성 된 것을 관찰하였다. 마이크로와 나노 구조가 형성된 알루미늄의 표면에너지를 낮추기 위해 trimethylsilane (TMS) 및 Ar을 이용한 플라즈마처리로 표면에 기능성 코팅막을 형성하였다. 그 결과 TMS처리 전에 비해 표면에너지가 99.75 mJ/m2에서 9.05 mJ/m2으로 급격히 낮아지고 접촉각이 $54^{\circ}$에서 $123^{\circ}$로 향상되었다.

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