• 전자진흥
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• 제9권10호
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• pp.40-43
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• 1989

• 전자진흥
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• 제9권8호
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• pp.60-64
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• 1989

• 전자진흥
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• 제12권4호
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• pp.104-105
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• 1992

• 전자진흥
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• 제10권7호
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• pp.77-81
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• 1990

• 전자진흥
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• 제8권6호
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• pp.110-113
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• 1988

• 전자진흥
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• 제12권3호
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• pp.88-92
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• 1992

• 전자진흥
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• 제13권7호
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• pp.94-97
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• 1993

• 전자진흥
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• 제10권11호
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• pp.36-42
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• 1990

제21회 한국전자전람회가 사상 최대규모, 최대 실적을 올리며 대성황리에 6일간의 행사를 성공적으로 마무리지었다. 특히 금년은 전자전을 개최한지 21회가 되는 뜻깊은 해로서 2000년대에 선진 전자공업국으로 도약해 나아가기 위한 디딤돌을 마련하는 계기가 되었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.105.1-105.1
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• 2013

Schottky Emitter (SE)는 미국 FEI의 L. W. Swanson 그룹이 개발하여 상용화시킨 전자원이며, 고분해능 전자현미경용 전자원 시장에서 가장 큰 점유율을 차지하고 있다. 상온에서 작동하는 cold field emitter (CFE)에 비해 휘도(brightness)가 10~100배 정도 낮으나, 10-10 Torr 영역의 초고진공에서도 수시간 미만의 방출전류 안정성을 가진 CFE에 비해 수개월이상 안정된 방출전류를 전자현미경에 제공하므로, 반도체 측정, 검사 등과 같이 고분해능과 안정성이 동시에 요구되는 분야에서는 SE전자원은 필수 요소가 되어있다. 현재 SE 전자원은 일본, 미국, 영국의 4개사가 과점하고 있는 상태이다. SE 전자원이 안정되게 작동하기 위해서는 10~10 Torr 영역의 초고진공 환경이 요구된다. 한국 전자현미경 업체는 국책과제 등을 통해 SE 전자총을 개발해 왔으나, 진공기술과 광학계 설계기술이 부족하여 안정된 SE 전자총의 개발에 성공하지 못하였다. 본 발표에서는 10~10 Torr 영역에서 200 microA 이상의 전류를 안정되게 방출하는 SE 전자총의 전자빔 방출 및 진공특성을 보고한다. 시뮬레이션을 통해 구한 전차총의 전자원 위치 변화, 건렌즈 초점거리, 수차 등의 광학특성을 보여준다. 전자총을 전자현미경 경통에 탑재하고 제어하기 위해서는 전자총뿐만 아니라 전자현미경 전체의 광학특성을 이해할 필요가 있다. 전자총을 현미경에 통합 제어하기 위한 기술과제에 대해서도 간략히 보고한다.

• 전자진흥
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• 제4권11호
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• pp.106-108
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• 1984