• Title/Summary/Keyword: 필펙터

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A Study on the Design of Thermal Isolation of Micro Bolometer Membrane for Thermal Image (고해상도 열영상 구현을 위한 마이크로 볼로미터의 픽셀 구조 및 특성 연구)

  • Nam, Tae-Jin;Lee, Jung-Hoon;Jung, Eun-Sik;Kang, Tae-Young;Kang, Ey-Goo
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2010.06a
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    • pp.200-200
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    • 2010

  • 열영상의 해상도 증가 시 야기되는 감도저하를 해결하고자 단위 픽셀의 크기를 줄이고 필팩터 향상을 위한 2앵커, 4앵커 구조를 제안하고 앵커 구조에서 Leg 구성물질의 두께변화에 따른 온도 변화 및 열전도도 특성을 실험을 통해 최적화 된 열영상을 구현한다.

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