• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2015.08a
• /
• pp.101.1-101.1
• /
• 2015

플라즈마에 의한 식각 공정중 챔버 내에서 발생한 오염입자가 기판위에 떨어져 제품의 불량을 일으키고 그에 따른 부품 교체비용이나 교체시 가동을 멈춰야하는 문제점들이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 내플라즈마성이 우수하다고 알려진 아노다이징 피막을 사용하고 있다. 하지만 다양한 아노다이징 공법중 어떠한 요인이 내플라즈마 특성과 관계되는지에 대한 보고는 부족한 실정이다. 기존의 아노다이징 특성평가방법으로는 내화학 특성과 열안정성 평가, 구조적 특성을 확인하는 것이 주로 사용되어 왔다. 따라서 본 연구에서는 기존 내화학 특성과 열안정성이 우수하다고 알려진 황산-주석산법을 이용한 피막의 특성을 평가하여 내화학특성, 열적 안정성, 구조적 특성이 내플라즈마 특성과 어떠한 관계가 있는지 확인했다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2015.08a
• /
• pp.102.1-102.1
• /
• 2015

플라즈마를 이용한 건식식각공정은 식각하고자 하는 기판과 더불어 챔버 내부를 구성하고 있는 부품들이 플라즈마에 함께 노출되는 환경이다. 챔버 내부가 장시간 플라즈마에 노출되어 열화 되면 기판의 불량을 야기하는 오염입자의 발생이 증가하므로 양산 공정에서는 그 때마다 내부 부품을 교체하여 청정한 공정 환경을 유지시킨다. 공정 챔버의 내부 부품은 플라즈마로 인한 열화를 방지하기 위하여 내플라즈마성이 우수하다고 알려진 코팅처리를 하여 사용한다. 금까지 플라즈마 식각 공정에 관한 연구는 식각하고자 하는 기판관점에서 활발히 이루어져 왔으나 내플라즈마성 코팅소재 관점에서의 연구 보고는 미미한 실정이다. 본 연구에서는 장시간의 양산공정을 모사하는 가혹한 플라즈마 조건에서 $CF_4/O_2$ 혼합가스를 사용하여 AAO (Anodic Aluminum oxide)피막의 오염입자 특성을 실시간 모니터링 하는 동시에 OES 분석을 수행하여 내플라즈마성 코팅소재의 오염입자 발생 메커니즘에 대하여 분석하였다.

• Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
• /
• 2003.10a
• /
• pp.187-190
• /
• 2003

An Fe-25Cr steel was oxidized in Ar at 973K with or without external stesses of 30~35Mpa. A 0.1 ${\mu}{\textrm}{m}$ thick Cr$_2$O$_3$scales was formed during pre-treatment in Ar. Cracking on the oxides scales commenced at the alloy grain boundary by the end of second creep stage, arrayed almost perpendicular to the direction of the tensile directions. On the contrary, a scale formed in $N_2$-0.1%SO$_2$shows poor adherence on the metal substrate. In this case, the strength of materials is much lower than in Ar

• Proceedings of the KIEE Conference
• /
• 1990.11a
• /
• pp.180-183
• /
• 1990

알루미늄 전해 콘덴서에 있어서 유전체로 사용되는 $Al_2O_3$ 산화 피막의 두께와 형상이 콘덴서의 전기적 특성에 어떠한 영향을 미치는지 알아보기 위하여, 저압 16 V급과 중고압 200 V급으로 선정하여 화성전압을 변화시켜 시료 콘덴서를 제작한 후 전기적 제 특성을 측정하였다. 그 결과, 화성 전압이 높아질수록 산화 피막의 두께가 두껍게 형성되고 정전 용량은 감소하였으며, 유전 손실과 누설전류도 감소하였다. 또한, 장시간 수명시험을 수행한 결과 전기적 특성이 보다 안정되었음을 알았다.

• Journal of Welding and Joining
• /
• v.5 no.2
• /
• pp.17-26
• /
• 1987

In this study, the experiments were carried out for the purpose of establishment of the arc sparing method which reducing oxides or oxide film by using the inert gas as the carrier gas of atomizing particles. Main results obtained are as follows; 1. Oxides and oxide film which lower the adhesion strength are largely reduced by using the inert gas as the carrier gas of atomizing particles, and adhesion strength of coating film are improved. 2. The coating film characteristics appear to be no difference between the inert gas arc spraying in air environment and that in argon gas environment. 3. Inert gas arc spraying using argon as the carrie gas has higher reduction rate of composition element in coating film than compressed air spraying does.

• Journal of Ocean Engineering and Technology
• /
• v.15 no.3
• /
• pp.69-74
• /
• 2001

This paper was to investigate of a adhesiveness for the plasma sprayed coating materials did salt spray by acoustic emission method in tensile loadings. The powders used for the coating were nickel aluminum composite powder Ni-4.5wt.%Al and titanium dioxide powder $TiO_2$. These powders were coated on a carbon steel S45C by plasma spray method. The result solution was a 5% NaCl and the slat spray times were 2, 5 and 10 hours respectively. The salt solution penetrated into the surface of the substrate through pore of the coating layer built in the process of plasma spay. Corrosion productions formed on the surface of substrate. The adhesiveness between the substrate and the coating layer is weaken by corrosion and the exfoliation initiated chiefly at the corrosion surface of the substrate. The AE events and energy of the corroded coating specimens decreased as the salt spray times increased.

• Transactions of the Korean hydrogen and new energy society
• /
• v.25 no.3
• /
• pp.305-310
• /
• 2014

This study examined the morphological changes in lithium surface immersed in 1mol $dm^{-3}$ (M) $LiPF_6 $ dissolved in propylene carbonate (PC) containing different 1,2-dimethoxyethane (DME) concentrations as a co-solvent. A passivation film was formed on the surface of lithium metal by electrolyte decomposition. The passivation film formation reactions were significantly affected by the amount of co-solvent, DME, in electrolyte solution. A stable film was obtained from the 1 M $LiPF_6 $ / PC:DME (67:33) solution in which lithium electrode showed good electrochemical performances. Atomic force microscope (AFM) and electrochemical impedance spectroscopy (EIS) results revealed that there were no direct correlations between changes in the surface morphology of lithium metal and the resistance behavior of its passivation film.

• Proceedings of the KSME Conference
• /
• 2001.06c
• /
• pp.71-76
• /
• 2001

In general, it is known that the wear rate of the abrasive and the removal rate of the metal bond of the grinding wheel should be balanced to maintain the depth of the insulating surface layer to an appropriate level. In order to accomplish, the high quality ELID grinding, therefore, it is necessary to measure the depth of the insulating layer in real-time and then to control the electrolytic conditions to keep the depth to a certain level. In this study, an in-process measurement system of the insulated layer using two gap sensors - a capacitor type and an eddy current type - developed and the change of the status of the insulated layer during ELID grinding is detected. And from the experimental data, we have chosen the best mathematical model to predict the depth of the insulating layer.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2016.11a
• /
• pp.170.2-170.2
• /
• 2016

전주기술은 전기도금을 이용하여 몰드 위에 도금한 후 도금층만을 분리하여 부품을 만들거나 정밀한 형상의 표면을 복제하려는 금속 성형공정의 하나이다. 최근 고분자소재용 미소금형 제조에 전주기실의 응용이 확대되면서 니켈뿐만 아니라 니켈합금전주에까지 관심이 고조되고 있으며 니켈합금전주는 합금피막의 요구조건에 따라 Co, Fe, Mn, W, P 등 다양한 원소를 합금원소로 선택가능하다는 장점이 있다. 그러나 국내 전주기술은 설파민산 니켈을 중심으로 활발히 진행되어 왔으나, 니켈합금 전주에 대한 연구는 미비한 상태다. 이는 전주 기술이 전류밀도, 도금액 조성, pH, 온도 교반조건 등과 관련된 복합기술로서 최적의 피막 제조를 위해서는 도금액 개발과 함께 적잘한 전주장비 개발이 병행되어야 하는 복잡한 작업이기 때문이다. 본 연구에서는 몰드금형 제작용 전주니켈도금액을 제작하기 위해 고경도, 저응력의 이원계 NiX 도금액을 제조에 대한 내용을 다루었다.

• Tribology and Lubricants
• /
• v.27 no.3
• /
• pp.147-155
• /
• 2011

The ceramic coatings are excellent materials of cutting tools and sliding parts. To evaluate the wear characteristics of very thin ceramic coated layer, it is very important to investigate its wear process microscopically. An effective method for investigating the wear of a thin layer is the observation of wear process in microscopic detail using in-situ system. In this study, using the SEM Tribosystem as in-situ system, the microscopic wear mode of TiN coatings was investigated in repeated sliding. As results, four modes were observed for TiN coatings: Ploughing, powder formation, flake formation and coating delimitation. The observation of the microscopic wear by in-situ system can clarify the allowable stress of TiN coating.