• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.141-141
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• 2012

X-선 반사율 측정법(XRR)은 비파괴적인 측정방법과 수 nm의 두께를 정밀하게 측정할 수 있는 장점으로 인하여 반도체 산업현장에서 많은 관심과 연구가 이루어지고 있다. 이러한 XRR은 두께 분석 측정의 정밀도를 향상시키고 부정확한 결과를 방지하기 위하여 측정기기를 검증하고 보정할 수 있는 두께 표준물질을 필요로 하고 있다. 본 연구에서는 XRR용 두께 표준물질을 이온빔 스퍼터링 증착방법을 이용하여 제작하였다. 두께 표준물질 제작에 있어 공기 중 노출에 의해 산화가 되지 않는 산화물 박막과 산화물 기판을 선택하였다. 후보물질은 glass, sapphire, quartz, SiO2기판과 HfO2, Ta2O5, Cr2O3 산화물 타켓을 이용하여 박막을 제작하였다. 제작된 후 보물질은 교정된 XRR을 통하여 박막의 두께, 계면 및 표면 거칠기, 밀도등 박막의 구조특성분석을 하였다. Glass, quartz의 경우 기판 표면 거칠기가 좋지 않아 제작된 샘플의 X-선 반사율 곡선이 급격히 떨어지면서 측정되는 각도의 영역이 작아졌다. Sapphire로 제작한 시편은 측정된 데이터와 simulation의 curve fitting이 양호하지 않았다. 이 중 SiO2기판을 사용하고 HfO2박막을 증착한 샘플이 다른 후보물질보다 XRR curve fitting 결과가 가장 양호하여 두께 표준물질로 응용하기에 적절하였다. 그리고 AFM (Atomic Force MicroScope)을 이용하여 기판의 거칠기 및 증착한 박막표면 거칠기 측정을 하였고, TEM (Transmission Electron Microscope)으로 두께 측정을 하여 XRR로 얻은 데이터와 비교하였다. 이러한 결과를 토대로 XRR용 두께 표준물질 제작할 수 있었고, 추후 불확도 평가 및 비교실험을 통하여 제작된 XRR용 두께 표준물질을 이용할 수 있을 것으로 기대된다.

• Korean Journal of Mineralogy and Petrology
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• v.33 no.1
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• pp.65-71
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• 2020

Glass reference materials have been essentially used for precise geochemistry analytical techniques. In order to make up for the drawback of synthetic glass reference materials, which have the high uncertainty caused by the difference in composition of natural rocks, we introduce a glass geostandard using natural glass. The NK-B1G sample, which comes from the Baekdusan obsidian, is a natural glassy rock that contains only few crystals such as microlites or inclusions. We examined the feasibility of the sample as a reference material for microanalysis like EPMA or LA-ICPMS.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.283-283
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• 2011

본 연구에서는 XRR 측정에 있어 박막두께 표준보급을 하기 위하여 표준물질을 이온빔 스퍼터링 증착법을 이용하여 제작하였다. 시편제작 시 공기 중 노출에 의해 산화가 되지 않는 산화물 박막과 산화물 기판을 선택하였다. 기판 및 타겟물질 등을 변화시키면서 제작된 시편의 특성을 살펴보았다. 사용된 타겟 물질로는 HfO2, Ta2O5, Cr2O3를 사용하였으며, 기판으로는 glass, sapphire, quartz, SiO2(1 ${\mu}m$-thermal oxidation)를 사용하였다. 산화물 타겟을 사용하여 증착 시 타겟 주위로 생기는 전하들의 charge build-up 되는 현상은 neutralizer를 사용함으로써 문제를 해결하였다. 제작된 시편은 XRR을 이용하여 측정하였고, XRR simulation과 curve fitting을 통하여 박막의 두께, 표면 및 계면의 거칠기, 밀도를 평가하였다. 기판으로 사용된 glass, quartz는 타겟 물질과 관계없이 표면 거칠기가 좋지 않아 XRR 반사율이 급격히 떨어지면서 측정되는 각도의 영역이 작아졌다. sapphire로 제작한 시편에서는 측정된 데이터와 simulation의 curve fitting이 양호하지 않았다. 이 문제는 현재 조사중에 있다. SiO2 기판으로 제작한 시편의 경우 타겟 물질과 관계없이 XRR curve fitting 결과가 양호 하였다. 그 중 Cr2O3의 결과가 다른 타겟 물질에 비해 x 2 값이 작았고 반사율 곡선에서의 거칠기와 진폭도 양호하였다. 위 연구결과로써 SiO2 기판을 사용한 Cr2O3 타겟 물질로 제작된 시편이 XRR 박막 두께 표준물질로써 적합한 것으로 판단된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.303-303
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• 2012

X-선 반사율 측정법(XRR)은 비파괴적인 측정방법으로 수 nm의 두께를 정밀하게 측정할 수 있는 장점으로 반도체 산업현장에서 많은 관심과 연구가 이루어지고 있다. 이러한 XRR의 두께 측정 정밀도를 향상시키고 부정확한 결과를 방지하기 위하여 측정기기를 검증하고 보정할 수 있는 두께 표준물질을 필요로 하고 있다. 본 연구에서는 IBSD (ion beam sputtering deposition)와 ALD (atomic layer deposition)를 이용하여 5 nm, 10 nm의 $HfO_2$ 박막을 제작하고, XRR용 두께 표준물질로 응용할 수 있는지를 살펴보았다. 먼저 두께표준물질로 제작하기 위해서는 박막과 기판이 안정한 상태를 유지해야 한다. 이에 박막은 공기 중 노출에 의한 산화로 박막의 두께가 변할 수 있는 금속박막 대신에 공기 중에서도 안정한 산화물 박막인 $HfO_2$ 박막을 사용하고 기판은 Si wafer를 thermal공기 중에서도 안정한 산화물 박막인 $HfO_2$ 박막을 사용하고 기판은 Si wafer를 therma oxidation법을 이용하여 $1{\mu}m$ 두께로 제작한 비정질 $SiO_2$ 기판을 사용했다. 제작된 시료의 특성평가를 위해 XRR (X-ray reflectometer) 측정을 통해 두께, 거칠기 및 밀도를 확인하였고, TEM (transmission electron microscope)으로 두께 측정을 하여 XRR로 얻은 두께결과와 비교하였다. 측정결과를 확인하였을 때 두 증착 방법 중 ALD를 이용하여 제작한 시편에서는 박막과 기판사이의 interface가 sharp하여 반사율 곡선의 진폭이 크게 잘 나타났고 fitting 결과도 우수하여 IBSD로 증착한 시편보다 두께 표준물질로 응용하기에 더 적합하였다.

• Journal of the Korean earth science society
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• v.27 no.5
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• pp.521-527
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• 2006

The EPMA analysis for CHIME dating requires standard materials, which include nuclear fuel materials that are rare and sensitive to handle. Any laboratory that does not meet these standards has had difficulties adopting the CHIME dating method. We have developed a working standard technique for CHIME dating to prepare standard materials without use of nuclear fuel materials. Mineral samples, such as small pieces of monazite that are homogeneous in X-ray intensities, are calibrated using well-characterized primary standards in one laboratory. Once this procedure is done, they can be readily usable as working standards in the other laboratories, only with measurement of X-ray intensities. This method is applicable in preparing standard materials for both chemical compositions and determination of X-ray interference correction factors, and it is independent from chemical composition of mineral standard.

• Journal of the Korean earth science society
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• v.38 no.6
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• pp.421-426
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• 2017

In this study, we selected three representative granite samples and conducted petrological observation to establish the Korean geostandards. Samples were taken from the two Jurassic (KJG-1, KJG-2) and one Cretaceous (KCG-1) granites in South Korea. The powder samples were prepared by the standard pulverization process, and glass beads were made for geochemical analysis using X-ray fluorescence (XRF) method, and finally, major element contents of the samples were acquired. The analytical data are shown with mean, standard deviation and relative standard deviation. The accuracy of the analysis was confirmed within an estimated error range of about 5% by comparing the recommended true values of the USGS and GSJ geostandards. Also, we checked the analytical precision by calculating a relative standard deviation of about 3% from the XRF analytical results for the three samples.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.02a
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• pp.113-114
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• 1999

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.02a
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• pp.115-116
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• 1999

• Analytical Science and Technology
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• v.21 no.1
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• pp.14-19
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• 2008

Among the many odor materials, aldehyde has bad influences not only on human nose, but also on human health. Aldehyde has a strong odor at infinitesimal level, such as down to ppt concentration. Also aldehydes are highly reactive and have poor stability. Therefore, manufacture of standard gases, analysis of aldehydes are very difficult compare to other air pollution analysis. Aldehyde CRM containing 4 different aldehydes at $10{\mu}mol/mol$ (ppm) is developed by using gravimetry method according to ISO 6142 guide. The standard gases were reproduced again, and examined its reproducibility of preparation by GC-FID. The developed aldehyde CRM's certified value showed a relative expanded uncertainties of 2.11 % (95 % of confidence level, k=2).

• The Korean Journal of Nuclear Medicine Technology
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• v.18 no.1
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• pp.158-162
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• 2014

Purpose: Reference material (RM) is defined as material that is safe and homogeneous enough about specified characteristic that is made with a purpose of using test of measurement or nominal characteristic. Certified reference material (CRM), which is issued by authorized organization, is defined as reference material that provides characteristic value, link uncertainty and retroactivity. The purpose of this paper was to evaluate recovery of radioimmunoassay by Certified Reference Material enclosed with a certificate and therefore to enhance reliability of test. Materials and Methods: WHO certified reference material is purchased from NIBSC (National Institute for Biological Standard and Control, United Kingdom) and made of 3 levels that are C-1 (low concentration), C-2 (medium concentration) and C-3 (high concentration) and measured for kit at the Seoul National University Hospital. Recovery rate is evaluated after measurement at four different days. Results: Recovery rate results using WHO certified reference material are T4 90%, Ferritin 88%, PSA 94%, Prolactin 99%, AFP 94% and TSH 93%. Conclusion: A procedure that appropriate accuracy, precision, specificity, sensitivity, reproducibility, and validate on the subject of kit for radioimmunoassay is essential. Recovery rate assay as extraction efficiency of analysis process is percent about already measuring results of analysis result after all measuring process. This is very important assessment standards of performance evaluation of immunoassay kit. Recovery rate results of 6 type used WHO CRM are satisfactory to 88~99%. This demonstrates that the radioimmunoassay is a very accurate measurement, which is very effectively utilized in clinical practice.