비정질 실리콘 박막 트랜지스터 소자 특성 향상을 위한 저 저항 금속 박막 전극의 형성 및 전기적 저항 특성 평가 (Metallizations and Electrical Characterizations of Low Resistivity Electrodes(Al, Ta, Cr) in the Amorphous Silicon Thin Film Transistor)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 1993년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.96-99
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- 1993