• 제목/요약/키워드: 표면 평탄화

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나노급 다결정 실리콘 기판 위에 형성된 니켈실리사이드의 물성과 미세구조 (Property and Microstructure Evolution of Nickel Silicides on Nano-thick Polycrystalline Silicon Substrates)

  • 김종률;최용윤;송오성
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제9권1호
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    • pp.16-22
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    • 2008
  • 10nm Ni/30 nm와 70nm poly Si/200nm $SiO_2/Si(100)$ 구조로부터 니켈실리사이드의 열적안정성을 연구하기 위해서 쾌속열처리기를 이용하여 실리사이드화 온도 $300{\sim}1100^{\circ}C$에서 40초간 열처리하여 실리사이드를 제조하였다. 준비된 실리사이드의 면저항값 변화, 미세구조, 상 분석, 표면조도 변화를 각각 사점면저항측정기, FE-SEM, TEM, HRXRD, SPM을 활용하여 확인하였다. 30 nm 다결정실리콘 기판 위에 형성된 실리사이드는 $900^{\circ}C$까지 열적안정성이 있었다. 반면에 70 nm 다결정실리콘 기판 위에 형성된 실리사이드는 기존연구결과와 동일한 $700^{\circ}C$ 이상에서 고저항상인 $NiSi_2$로 상변화 하였다. HRXRD로 확인한 결과, 30 nm 두께의 기판 위에 니켈실리사이드는 $900^{\circ}C$ 고온에서도 NiSi상이 유지되다가 $1000^{\circ}C$에서 $NiSi_2$로 상변화 하였다. FE-SEM 과 TEM 관찰결과, 30 nm 두께의 다결정실리콘 기판에서는 $700^{\circ}C$의 저온처리에는 잔류 다결정실리콘 없이 매우 균일하고 평탄한 40 nm의 NiSi가 형성되었고, $1000^{\circ}C$에는 선폭 $1.0{\mu}m$급의 미로형 응집상이 생성됨을 확인하였다. 70 nm 두께의 다결정실리콘 기판에서는 불균일한 실리 사이드 형성과 잔류 다결정실리콘이 존재하였다. SPM결과에서 전체 실험구간에서의 RMS 표면조도 값도 17nm 이하로 CMOS공정의 FUSI게이트 적용의 가능성을 보여주었다. 다결정실리콘 게이트의 높이를 감소시키면 니켈실리사이드는 상안정화가 용이하며 저저항구간을 넓힐 수 있는 장점이 있었다.

GATE6를 이용한 Varian 21EX Clinac 선형가속기의 6 MV X-선 특성모사 (Monte Carlo Simulation of a Varian 21EX Clinac 6 MV Photon Beam Characteristics Using GATE6)

  • 안수정;이창래;백철하
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제39권4호
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    • pp.571-575
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    • 2016
  • 본 연구에서는 몬테칼로 전산모사 코드인 GATE6 (Geant4 Application for Tomographic Emission ver.6)를 사용하여 의료용 선형 가속기인 Varian사의 Clinac 21EX를 모사하고, 6 MV 광자선의 선량 특성을 평가하였다. 몬테칼로 방법은 방사선 치료시 환자 내의 선량분포를 계산하는 가장 정확한 방법으로 널리 이용되고 있다. 몬테칼로 기반의 코드를 이용하여 선형가속기의 조사 헤드부를 통과하는 입자의 흐름을 모사하는 것은 조사선량을 정량화 하는데 필요한 입자들의 에너지, 공간 분포와 같은 임상적인 빔의 특성을 결정하기 위한 실용적인 방법이다. 본 연구에서 모사한 선형가속기의 조사 헤드부는 빔 경로에 위치한 타겟, 일차 콜리메이터, 선속 평탄 필터, 이온전리함, 이차 콜리메이터로 구성된다. 모사된 선형가속기를 이용하여 선원-표면간 거리 100 cm, 조사야 $10{\times}10cm^2$ 조건에서 물팬텀 내의 광자선 에너지 스펙트럼(energy spectrum), 심부선량백분율(percentage depth dose), 선량프로파일(dose profiles)을 측정하였으며, 이 결과값을 실험 측정값과 비교하여 정확성을 검증하였다. 본 연구에서는 모사를 통한 결과값과 실험값이 매우 일치함을 보였으며, 이를 통해 GATE6 전산모사 코드는 방사선치료에 사용되는 광자선을 모사하기에 효과적임을 입증하였다.

밀양 고례리 화산 유리물질 기원 해석 (Tephra Origin of Goryeri Archaeological Site, Milyang Area, Korea)

  • 김주용;양동윤;박영철
    • 한국제4기학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.35-43
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    • 1999
  • 고례리 유적지는 단장천의 상류 산간계곡에 위치하여 있으며, 주변 지질은 백악기에서 고제3기에 걸치는 흑운모화강암(KbGr), 산성암맥류(Kad), 밀양안산암(Kma), 정각산층(Kch) 및 이에 협재하는 산성 응회암, 산성응회암과 라필리 응회암(Kcht) 등으로 구성된다. 이들 암석 중에서 밀양안산암과 정각산층이 부지 일대에 널리 분포하는 기반암이며, 후자는 주로 저색응회질 셰일, 사암, 역암 등으로 구성된다. 본 연구의 목적은 고례리 부지 일대의 토양-퇴적물과 주변 기반암인 안산암, 산성응회암, 라필리 응회암으로부터 이들의 희토류 원소 특성과 화산 유리물질을 동정하여 토양-퇴적물이 이들 기원암으로부터 유래할 수 있는지 규명하는 것이다. REE분석결과, 토양-퇴적물의 희토류 원소 분포특성은 주변기반암의 그것과 동일한 것으로 분석되었으며, 이것은 고례리 유적지내의 토양-퇴적물이 주로 주변 안산암과 라필리응회암, 산성응회암으로부터 유래하는 것을 지시한다. 한편, 본 유적지의 토양-퇴적물 PMU-13과 PMU-17 속에서, 그리고 라필리 응회암의 풍화대내에서 화산 유리물질이 발견되었다. 이들을 일본의 AT-테프라와 비교해 보면, AT-테프라는 표면이 깨끗하고, 평탄형이거나 버블형을 가지며, Y자형 이 우세한 것으로 나타나는데 반하여, 고례리의 화산 유리물질은 입자크기가 크고 다양하며, 탈유리화가 많이 진행되었으며, 유리 표면은 풍화가 많이 진행된 특징을 나타내고 있다. 상기 연구결과는 기존 일본학자들에 의한 일련의 AT-테프라 연구결과와는 상충된다. 요컨데 고례리 유적지의 유리물질은 주변 응회암으로부터 기계적으로 분리된 후, 토양-퇴적물 속으로 유입되었으며, 일본의 AT-테프라와는 크기, 형태 및 탈유리화 특성상 다른 것으로 판단된다. 유리물질의 외형적인 조직 연구에 추가하여 마그마 성인에 관한 심층연구가 후속되어야 한다. yrs BP (유공충) 5,322$\pm$80 yrs BP(유공충) 4,419$\pm$50 yrs BP (나뭇조각) 및 978$\pm$50 yrs BP(조개) 이다. 이 코아의 하부 즉코아길이 250cm에서 414cm 까지는 담수환경 또 담수환경에 매우 근사한 환경으로 해석되어진다, 이 코아간격에서의 탄소연대측정값은 7,539$\pm$60 yrs BP이며 이때 해수가 처음 이 지점에 이르지 않았나 본다, 그이후 6,172$\pm$18 yrs BP에는 급격한 해 수면상승이 있었던 것으로 사료된다,있었다. 자갈의 형태를 입도별로 삼각도표에 나타낸 결과 입도가 작을수록 둥글거나 편장된 (elongate) 형태로의 방향성을 보이는 것으로 나타났다. 이러한 사실로 미루어 볼 때, 자갈의 형태는 일차적으로 모암의 암석성분에 의해 결정되나 운반된 이후에는 파랑의 작용을 끊임없이 받으면서 분급작용과 자갈의 크기에 따른 형태적 진화과정을 겪는 것으로 사료된다. 및 Seebeck 계수 측정을 위하여 각각 2$\times$2$\times$10$mm^3$ 그리고 5$\times$5$\times$10TEX>$mm^3$ 크기의 시편을 준비하였다.준비하였다.전류를 구성하는 주요 입자의 에너지 영역(75~l13keV)에서 가장 높은(0.80) 상관계수를 기록했다. 넷째, 회복기 중에 일어나는 입자들의 유입은 자기폭풍의 지속시간을 연장시키는 경향을 보이며 큰 자기폭풍일수록 현저했다. 주상에서 관측된 이러한 특성은 서브스톰 확장기 활동이 자기폭풍의 발달과 밀접한 관계가 있음을 시사한다.se that were all low in two aspects,

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