• Title/Summary/Keyword: 표면 손상

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Effect of surface damage remove etching of Reactive Ion Etching for Crystalline silicon solar cell

  • Park, Jun-Seok;Byeon, Seong-Gyun;Park, Jeong-Eun;Lee, Yeong-Min;Lee, Min-Ji;Im, Dong-Geon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.404-404
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    • 2016
  • 태양전지 제작 시 표면에 피라미드 구조를 형성하면 입사되는 광의 흡수를 높여 광 생성 전류의 향상에 기여한다. 일반적인 KOH를 이용한 습식 표면조직화 공정은 평균 10%의 반사율을 보였으며, 유도 결합 플라즈마를 이용한 RIE 공정은 평균 5.4%의 더 낮은 반사율을 보였다. 그러나 RIE 공정을 이용한 표면조직화는 낮은 반사율과 서브 마이크론 크기의 표면 구조를 만들 수 있지만 플라즈마 조사에 의한 표면 손상이 많이 발생하게 된다. 이러한 표면 손상은 태양전지 제작 시 표면에서 높은 재결합 영역으로 작용하게 되어 포화 전류(saturation currents, $J_0$)를 증가시키고 캐리어 수명(carrier lifetime, ${\tau}$)을 낮추는 결함 요소로 작용한다. 이러한 플라즈마에 의한 표면 손상을 제거하기 위해 HF, HNO3, DI-water를 이용하여 DRE(Damage Remove Etching) 공정을 진행하였다. DRE 공정은 HF : DI-water 솔루션과 HNO3 : HF : DI-water 솔루션의 두 가지 공정을 이용하여 공정 시간을 가변하며 진행하였다. 포화전류($J_0$), 캐리어 수명(${\tau}$), 벌크 캐리어 수명(Bulk ${\tau}$)을 비교를 하기위해 KOH, RIE, RIE + DRE 공정을 진행한 세 가지 샘플로 실험을 진행하였다. DRE 공정을 적용할 경우 공정 시간이 지날수록 반사도가 높아지는 경향을 보였지만, 두 번째의 최적화된 솔루션 공정에서 $2.36E-13A/cm^2$, $42{\mu}s$$J_0$, Bulk ${\tau}$값과 가장 높은 $26.4{\mu}s$${\tau}$를 얻을 수 있었다. 이러한 결과는 오제 재결합(auger recombination)이 가장 많이 발생하는 지역인 표면과 불균일한 도핑 영역에서 DRE 공정을 통해 나아진 표면 특성과 균일한 도핑 프로파일을 형성하게 되어 재결합 영역과 $J_0$가 감소 된 것으로 판단된다. 높아진 반사도의 경우 $SiN_x$를 이용한 반사방지막을 통해 표면 반사율을 1% 이내로 내릴 수 있어 보완이 가능하였다. 본 연구에서는 RIE 공정 중 플라즈마에 의해 발생하는 표면 손상 제거를 통하여 캐리어 라이프 타임의 향상된 조건을 찾기 위한 연구를 진행하였으며, 기존 RIE 공정에 비해 반사도의 상승은 있지만 플라즈마로 인한 표면 손상을 제거하여 오제 재결합에 의한 발생하는 $J_0$를 낮출 수 있었고 높은 ${\tau}$값인 $26.4{\mu}s$의 결과를 얻어 추후 태양전지 제작에 향상된 효율을 기대할 수 있을 것으로 기대된다.

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Graphite/Epoxy로 만든 두꺼운 관의 저속 충격손상에 관한 연구

  • 김형원;윤영주;나성엽
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2000.04a
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    • pp.24-24
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    • 2000
  • 작업 중 공구를 관에 떨어뜨리거나 작업하기 위해 관을 이동하던 중 다른 물체에 부딪힐 경우 복합재로 만들어진 관이 손상을 입게 되는 경우가 생기는데 관이 상황에 따라 얼마나 손상을 입었는지가 본 연구의 관심이다. 충격자는 직경이 25.4mm와 12.7mm인 반구형 2종류와 모서리의 직경이 15mm인 원추형 1종류로 각각 무게가 다르며, 떨어뜨리는 자유낙하 높이는 120mm에서 700mm로 종류에 따라 간격을 달리했다. 실험 장치로는 Dynatup 8250을 사용했으며 충격에너지, 최대충격하중, 충격변위, contact diameter를 측정했다. 시험 후 시편은 방사선 촬영을 하여 충격자의 종류에 따라 손상의 정도가 어떻게 다른지를 파악했다. 직경이 25.4mm인 반구형의 충격자는 표면의 손상은 적었으나 복합재 관의 내부에 delamination이 많이 생겼으며 직경이 12.7mm인 반구형의 충격자는 표면의 손상이 심했으나 내부의 delamination이 상대적으로 적었다. Contact diameter와 최대충격하중과의 관계는 실험치와 이론치가 잘 일치했으나 Kinetic energy와 최대충격하중과의 관계는 실험치와 이론치의 차이가 있었다.

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Improvement of Damage Localization Performance for CFRP-debonding defects using Piezo-electric Sensors (압전센서 기반 CFRP 부착면 탈락 손상영역 탐색성능 향상)

  • Kim, Ju-Won;Lee, Chang-Gil;Lee, Dong-Hwan;Chang, Ha-Joo;Park, Seung-Hee
    • Proceedings of the Computational Structural Engineering Institute Conference
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    • 2011.04a
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    • pp.311-314
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    • 2011
  • 최근 콘크리트 구조물의 안전성강화를 위해 탄소섬유 강화 플라스틱(CFRP) 보강 공법이 널리 사용되고 있지만 잘 알려진 바와 같이 CFRP 보강재와 콘크리트 표면사이의 부착면 탈락은 보강재 자체의 손상보다 발생할 확률이 높고 이러한 부착면 탈락은 보강의 효과를 무의미하게 만들기 때문에 구조물 전체의 파괴로 직결될 수 있다. 이에 본 연구에서는 CFRP 부착면 탈락손상을 실시간으로 검색하기 위해 압전센서를 사용하는 구조물 건전성 평가 기술을 적용하였다. 이의 검증을 위해 CFRP로 보강된 콘크리트 보를 제작하였고 3단계로 증가하는 부착면 탈락 손상을 발생시켰다. 손상 증가 단계마다 CFRP 표면에 배열된 압전센서로부터 임피던스와 유도초음파 신호를 계측하였고 손상에 따른 신호변화를 정량화하기 위해 손상지수인 RMSD를 계산하였다. 더 구체적인 부착면 탈락 손상위치 탐색을 위해서 두 가지 계측 기법으로부터 구해진 RMSD 값를 중첩시키는 Superposed RMSD 가 제안되었다. 구해진 Superposed RMSD 값을 사용하여 커브 피팅이 수행되었고 도출된 커브의 최고값에 해당하는 위치값을 찾아 실제 손상위치와 비교함으로써 제안된 기법의 가능성을 검증해 보았다.

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Estimation of mechanical damage by minority carrier recombination lifetime and near surface micro defect in silicon wafer (실리콘 웨이퍼에서 소수 반송자 재결합 수명과 표면 부위 미세 결함에 의한 기계적 손상 평가)

  • 최치영;조상희
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.9 no.2
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    • pp.157-161
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    • 1999
  • We investigated the effect of mechanical back side damage in Czochralski silicon wafer. The intensity of mechanical damage was evaluated by minority carrier recombination lifetime by laser excitation/microwave reflection photoconductance decay ($\mu$-PCD) technique, wet oxidation/preferential etching methods, near surface micro defect (NSMD) analysis, and X-ray section topography. The data indicate that the higher the mechanical damage intensity, the lower the minority carrier lifetime, and NSMD density increased proportionally, also correlated to the oxidation induced stacking fault (OISF) density. Thus, NSMD technique can be used separately from conventional etching method in OISF measurement.

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Cavitation damage characteristics of plasma electrolytic oxidation coatings prepared on marine grade Al alloy (플라즈마 전해 산화 처리된 해양환경용 Al 합금의 캐비테이션 손상 특성)

  • Lee, Jeong-Hyeong;Kim, Yong-Hwan;Kim, Yeon-Ju;Kim, Seong-Jong
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.132.2-132.2
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    • 2017
  • 플라즈마 전해 산화(Plasma Electrolytic Oxidation, PEO)는 Al, Ti, Mg 합금과 같은 경량 금속소재에 대한 표면처리기술로서 주목을 받고 있다. PEO 처리에 의해 표면에 치밀하게 형성되는 세라믹 산화층은 우수한 내식성, 내마모성을 보유하기 때문에, 이와 같은 특성이 요구되는 분야에 적용하기 위한 연구가 활발하다. 특히 PEO 세라믹 코팅층의 응착마모(adhesive wear)와 절삭마모(abrasive wear)에 관한 연구는 상당부분 이루어지고 있으나, 캐비테이션 침식과 같은 침식마모(erosive wear) 특성에 관한 연구는 부족한 실정이다. 본 연구에서는 알루미늄 합금 소지에 제작된 PEO 코팅층의 캐비테이션 손상 특성을 고찰하였으며, 전해액 조성이 PEO 코팅층의 미세조직과 캐비테이션 손상 특성에 미치는 영향을 살펴보았다. PEO 처리를 위해 사용된 소재는 상용 5083-O합금 판재로서 $2cm{\times}2cm$로 절단하여, 에머리페이퍼로 1000번까지 연마하여 사용하였다. 사용된 전해액은 증류수에 KOH(1 g/L)을 base로 하여 $Na_2SiO_3$(2 g/L)의 첨가유무를 변수로 하였다. 시편을 양극으로 하고 STS304를 음극으로 하여 각각 DC 전원 공급기의 +극과 -극에 연결하였으며, 정전류 조건에서 30분간 $0.1A/cm^2$의 전류밀도를 인가하였다. PEO 처리후 시편은 SEM, EDS, XRD를 이용하여 표면 특성 평가를 실시하였다. PEO코팅층의 캐비테이션 특성 평가는 초음파 진동식 캐비테이션 발생 장치를 이용하였으며, 캐비테이션 실험 후 시간에 따른 표면 거칠기의 변화 거동을 분석하였다.

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A STUDY OF ENAMEL DEMINERALIZATION RELATED TO BENDED ORTHODONTIC BRACKET AND IMPROVED METHOD OF ENAMEL DEMINERALIZATION: IN VIVO STUDY (BRACKET 부착에 의한 법랑질 표면의 탈회 및 개선 방법에 관한 연구)

  • Son, Han-Sin;Lee, Dong-Joo
    • The korean journal of orthodontics
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    • v.25 no.2 s.49
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    • pp.165-174
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    • 1995
  • The purpose of this study was to evaluated the improve method of demineralization and damage on the enamel stufece related to bonded orthodontic bracket. Enamel surface of the 40 Intact premolars were treated by aicd etching and various fluoride application methods and then maintained in the patient mouth of 3 months. After extraction of all the sampled premolars, enamel surfaces were evaluated by Scanning electron microscope. The obtained results were as follow. 1. Enamel surface relate to bonded orthodontic bracket showed demineralization and damage, slightly. 2. Group 6 treated by $2\%$ NaF iontophoresis presented and almost similarity to nomral enamel surface. 3. Group 2 treated by acid etching had demineralization and damage on the enamel surface much more than other groups treated by various fluoride application methods. 4. Demineralization and damage on the enamel surface caused by bonded orthodontic bracket is improved by various fluoride application methods.

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Electrochemical characteristics of electric arc sprayed steel using sacrificial anodic wires (희생양극 선재로 아크 용사코팅된 강재의 전기화학적 특성 평가)

  • Park, Il-Cho;Han, Min-Su;Kim, Seong-Jong
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2015.11a
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    • pp.318-318
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    • 2015
  • 해양환경 하에서 SS400강의 부식 방지를 위하여 Al과 Al-Mg합금 선재를 이용한 아크용사코팅을 실시하였다. 그리고 다양한 전기화학적 실험으로 내식성을 평가하였으며, 실험 후에는 주사전자현미경(SEM)과 3D 현미경을 이용하여 손상된 표면의 형상 및 손상깊이를 상호 비교하였다.

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Surface Property Evaluation of Geosynthetics by Rotational Abrasion Test (회전마모시험에 의한 토목합성재료의 표면특성 평가)

  • 전한용;류중재;진용범;류원석
    • Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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    • 2003.10b
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    • pp.303-304
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    • 2003
  • 토목합성재료 중 부직포 및 직포 지오텍스타일이 지반구조물에 적응될 경우 구속하중 부가 시 흙과의 마찰로 인한 마모에 의해 지오텍스타일의 표면손상이 발생하게 되면 강도저하가 발생하여 구조물의 안정성에 중요한 영향을 미치게 된다. 일반적으로 지오텍스타일과 흙과의 마찰특성평가는 직접전단시험이나 인발시험에 의해 평가되지만, 이들 시험 모두 구속하중에 의한 전단 및 인발변형을 해석할 뿐이며, 마모에 의한 지오텍스타일 표면 손상이나 변화는 거의 고려되지 않는 실정이다. (중략)

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Assessment of Low Velocity Impact Damage of Filament Wound Composite Vessels with Surface Protective Materials (필라멘트 와인딩 복합재 압력용기의 저속충격손상 평가에 관한 연구)

  • Lee, Jang-Ho;Kang, Ki-Weon
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.11 no.8
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    • pp.2741-2749
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    • 2010
  • This paper presents the impact damage behavior of filament wound composite vessels and the effect of surface protective materials on their impact resistance. Using an instrumented impact testing machine, a series of impact tests was performed on the base panels and the protected panels (panels with surface protective materials of rubber, kevlar/epoxy or glass/epoxy laminates) that were cut from the full scale vessel. And the impact damage parameters were used to identify the effect of protective materials on the damage resistance of composite vessels. Damage resistance of the composite vessels was considerably affected by the protective materials regardless of the shape of the indenters. Among the protective materials, glass/epoxy laminates was the most effective mean for improving the damage resistance of composite vessels.

Evaluating the Freeze-Thaw Damage of Concrete with Respect to Water to Cement Ratio Using Surface Rebound Value (표면반발경도를 활용한 물-시멘트비별 콘크리트의 동결융해 손상 평가)

  • Park, Ji-Sun;Ahan, Ki-Hong;You, Young-Jun;Lee, Jong-Suk
    • Journal of the Korean Recycled Construction Resources Institute
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    • v.10 no.2
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    • pp.143-151
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    • 2022
  • In this study the relative dynamic modulus and surface rebound hardness measurement methods were used for comparison to predict the occurrence of frost dam age on the concrete. From the test results, it was observed that the initiation of concrete dam age predicted by surface rebound hardness values was 200 cycles quicker than that of the relative dynamic modulus method in the W/C 70 specimens. In addition, it continuously provided data that showed the frost damage development of concrete surfaces according to increasing freeze-thaw cycles. This indicated that the frost dam age of the concrete could be found from the initial point of its occurrence by the surface rebound hardness measurement method. Similar results were also observed in W/C 60 and 50 specimens. Therefore, it is considered that surface rebound hardness method predicted the freeze-thaw damage well, regardless of water-cement ratio.