• 제목/요약/키워드: 펄스부하

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임피던스 트랜스포머에 의한 펄스 직류 전원 플라즈마의 전기 특성 변화 및 GaAs 식각에 대한 영향 연구

  • ;신주용;송효섭;김성익;손근용;이제원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.296-296
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    • 2012
  • 펄스 직류 플라즈마 전원 공급시 임피던스 트랜스포머의 유무에 따른 전기적 특성 변화를 연구하였다. 실험 변수는 펄스 직류 전압(350~550 V), 펄스 직류 주파수(100~250 kHz), 리버스 시간(0.4~1.2 ${\mu}sec$.)이었다. 전기적 특성은 주로 오실로스코프를 이용하여 분석하였다. 펄스 직류 전원의 경우 임피던스 트랜스포머의 여부에 상관없이 주파수가 커지거나 리버스 시간이 커지면 peak-to-peak 전압이 증가한다는 사실을 이해하였다. 본 실험은 저진공에서 실시하였다. 임피던스 트랜스포머를 부착하지 않은 경우, GaAs의 식각 속도는 10 sccm BCl3를 사용한 경우 최대 $0.4{\mu}m$까지 얻을 수 있었다. 감광제에 대한 최대 식각 선택비는 약 2.5:1이었다. 또한 식각된 GaAs의 표면은 깨끗하였으며, 염소와 관련된 잔류 물질은 거의 발견되지 않았다. 임피던스 트랜스포머를 설치하면 GaAs의 식각 속도는 증가하였으나 샘플 척에 열 부하가 많았다. 펄스 직류 플라즈마를 이용한 처리장치 개발시 전기적 특성 변화 및 공정 속도 조절에 있어 임피던스 트랜스포머의 역할 및 그 특성에 대한 많은 연구가 필요하다는 본 기초 연구를 통해 얻을 수 있었다.

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IMT2000을 위한 혼성마이크로 동력원 개발에 관한 연구 (A Study on the Development of Hybrid Micro Power Sources for the IMT2000)

  • 김일송;윤명중;김정한;주훈
    • 전력전자학회논문지
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    • 제10권2호
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    • pp.203-210
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    • 2005
  • IMT2000과 같은 휴대용 무선통신 시스템을 위한 혼성마이크로 동력원에 대한 연구를 수행하였다. 혼성마이크로 동력원은 태양전지, 슈퍼커패시터, 리튬이온 전지로 이루어져 있다. 주기적인 펄스성 부하에 대응하기 위하여, 슈퍼 커패시터가 리튬이온 전지와 병렬로 연결되어 펄스전류를 흡수한다. 태양전지는 배터리에 전류를 공금하며, 최대전력점에서 동작하도록 제어된다. 펄스성 부하에도 적용될 수 있는 최대전력점 추적기법이 소개되며, 실험을 통해서 완벽한 추적성능을 입증하였다. 혼성마이크로 동력원들 간의 매칭을 위한 제어기 설계 기법이 제시되며, 실험을 통해 성능을 입증하였다.

바닥난방을 위한 부하 예측식 펄스제어 방식의 적용성 연구 (Application Study of the Predictive Pulse Control for Floor Heating System)

  • 조성환;김성수;김용봉;나희형
    • 대한설비공학회:학술대회논문집
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    • 대한설비공학회 2007년도 동계학술발표대회 논문집
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    • pp.167-175
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    • 2007
  • A predictive pulse control strategy as a means of improving the energy efficiency of radiant floor heating systems is explored. Experiments at the apartment with floor heating system are conducted to assess and compare the energy performance of the predictive pulse control strategy with an existing conventional control strategy. The Results showed that new suggested PPCM( Predictive Pulse Control Method) was available to decrease the gap of $1{\sim}1.5^{\circ}C$ between maximum and minimum indoor temperature of each rooms. Therefore PPCM method was favor to radiant floor heating system which have a delay time of 10-20 minutes for heat transfer by floor layers.

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방전 플라즈마 소결접합용 저전압, 대전류 사이리스터 정류기 개발 (Development of Low Voltage. High Current Thyristor Converter for Spark Plasma Sintering)

  • 이을재;최정수;김영석
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 B
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    • pp.1030-1032
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    • 2002
  • 본 논문은 새로운 개념의 방전 플라즈마 소결 접합장비에 적용된 출력펄스 가변형 저전압, 대전류 사이리스터 정류기의 개발에 대하여 설명하고 있다. 6펄스 형태로 개발된 대용량 출력펄스 가변형 정류기는 공냉식으로 제작되어 기존의 대용량 정류기에서 적용한 수냉식보다 구조가 단순하며 최대 l1600A의 출력을 펄스 단위로 반복적으로 차단 및 전류하는 것이 가능하도록 설계되었다. 전류분배를 위한 버스바의 형태는 기구적인 설계만으로 간단히 대전류를 분배할 수 있도록 하였으며 디지털 연산에 의한 PLL 방식으로 입력 전압의 동기가 필요하지 않다. 시뮬레이션과 실물부하를 연결한 실험을 통해 제안한 방법 및 성능의 우수성을 조사하였다.

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출력전압제어가 용이한 비대칭 펄스형 DC 플라즈마 전원장치에 관한 연구 (A Study On The Asymmetry Pulse Type DC Plasma Power Supply With Easiness To Voltage Control)

  • 유성환;추대혁;윤대식;김준석
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2013년도 전력전자학술대회 논문집
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    • pp.147-148
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    • 2013
  • 최근 각 종 산업 분야에서 박막증착 공정의 다양화, 고품질화, 고속화 추세에 대응하기 위하여 고밀도의 대용량 DC 플라즈마 전원장치에 대한 관심이 커지고 있으며, 아울러 DC 플라즈마 전원장치의 고질적인 문제인 아크 방지회로의 중요성이 부각되고 있다. 효율적인 아크 방지 기법의 하나인 비대칭 펄스형 DC플라즈마 전원장치에서는 짧은 기간 동안 (-)전압을 부하에 인가하여 아크에너지를 감소시키는 방법을 사용하고 있으며 이를 위해 매우 부피가 큰 트랜스포머가 사용되고 있다. 본 연구는 펄스형 DC플라즈마 전원장치에서 나타나는 승압효과를 억제하고 전체 효율을 향상시킴과 동시에 상호 인덕턴스가 작은 트랜스포머를 사용하여 부피를 크게 감소시킨 진보된 형태의 비대칭 펄스형 DC 플라즈마 전원장치를 제안한다.

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수백ns, 수백 kV 펄스전원공급장치 제작 및 시험 (Fabrication and Test of Hundred ns, Hundred kV Pulse Power Supply)

  • 박성수;허훈;김성철;김상희;김승환;박용정;최오룡;남상훈;신진우;소준호;장원
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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    • pp.1364_1366
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    • 2009
  • 고출력 펄스 전원으로 PFN Marx 펄스 전원공급장치를 설계 및 제작하였다. PFN Marx는 커패시터와 인덕터 그리고 스파크 갭과 전원을 공급하는 전원공급장치와 전류 인덕터로 구성하여 제작을 하였다. 여기에 사용하는 스파크 갭 스위치는 개스를 채우는 방식으로 개스의 압력을 조정하여 스위치의 스위칭 전압을 조정하여 준다. PFN Marx는 커패시터와 인덕터가 직병렬로 구성이 되며 펄스폭과 PFN의 임피던스를 결정하는 중요한 요소이다. PFN marx는 33단으로 구성을 하였으며 부하를 $100{\Omega}$으로 설계 및 시뮬레이션을 통하여 제작하였다. PFN Marx 펄스전원공급장치를 약 500 kV, 수백 ns까지 시험을 하였다. 본 논문에서는 PFN Marx 펄스전원장치의 설계 제작 및 시험에 대하여 고찰하고자 한다.

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광물 탐사를 위한 고효율 양극성 펄스전원장치 설계 및 실험 (Design and testing of bipolar pulsed power supply with high efficiency for mineral exploration)

  • 배정수;김신;유찬훈;김형석;김종수;장성록
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2018년도 전력전자학술대회
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    • pp.48-50
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    • 2018
  • 본 논문은 광물 탐사용 25kW 양극성 펄스전원장치에 대해 기술한다. 고효율 LCC 공진형 컨버터와 풀 브리지 기반 바이폴라 펄스 스위칭부로 구성된 500V, 12.5A 단위 모듈을 설계한다. LCC 공진형 컨버터는 도전 손실을 줄이기 위해 사다리꼴 모양의 공진 전류를 갖도록 하고, 높은 전력 밀도를 달성하기 위해 변압기의 누설 인덕턴스를 공진 인덕턴스로 활용한다. 또한, 반복적인 짧은 펄스 기반으로 설계된 게이트 구동 회로는 DC에서 8kHz의 주파수 범위를 동작시키고 게이트 변압기의 사이즈를 줄이기 위해 제안된다. 개발된 양극성 펄스전원장치는 4개의 모듈이 직병렬로 결선되어 부하 조건에 따라 Grounded dipole mode (2kV, 12.5A) 또는 Loop mode (500V, 50A)로 동작한다. 네 모듈의 출력 전압 밸런싱을 충족시키기 위해 LCC 공진형 컨버터의 변압기에 보상권선이 감긴다. 본 논문에서는 양극성 펄스전원 장치의 상세설계에 대해 기술하고, 시뮬레이션 및 실험 결과를 통해 이를 검증한다.

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모노펄스 레이다용 다채널 집적 수신기의 수신 채널 보정 (Receiving Channel Calibration of Multi-Channel Integrated Receiver for Monopulse Radar)

  • 박진성
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
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    • 제24권3호
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    • pp.109-114
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    • 2024
  • 모노펄스 레이다용 다채널 집적 수신기 내에 존재하는 채널 간 간섭은 최근 수신기의 소형화 추세에 따라 그 영향성이 늘어날 것으로 예상된다. 따라서, 본 논문에서는 모노펄스 레이다에 적용되는 다채널 집적 수신기의 수신 채널간 간섭을 보정하여, 표적 각도 검출 성능 왜곡을 배제할 수 있는 방법을 제안한다. 이를 위하여 스위치, 방향성 결합기, 정합 부하, ADC(Analog to Digital Converter), 채널 보정 신호원 등을 이용하여 보정 하드웨어 구성을 제안하였다. 또한, 스위치와 보정 신호원을 제어하여 총 9개의 산란 파라미터를 획득하고, 안테나로부터 출력되는 모노펄스 신호와 채널 간 간섭이 존재하는 상태에서의 다채널 수신기를 통과한 모노펄스 신호 간의 수학적 관계를 이용하여 왜곡되지 않는 모노펄스 신호를 복원하는 방법을 제안하였다.

고압펄스 전원장치용 자기스위치 자동제어 방법 (Magnetic Switch Auto Control Method of the High-Voltage Pulse Power Supply)

  • 김수홍;김병섭;김형준;권병기;최창호
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.117-118
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    • 2010
  • 본 논문은 저온플라즈마를 이용한 탈황탈질 시스템에서 고압펄스압축을 위해 사용되는 자기스위치의 자동제어방법에 관한 것이다. 자기스위치를 부하변동에 따라 자동제어 함으로써 플라즈마 반응기에 전달되는 에너지의 전달효율을 최적화 시킬 수 있다.

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증기터빈 발전소의 자동 부하 증감발 운전(AGC) 제어로직 구현 및 적용 (Application of Automatic Generation Control Logic for a Thermal Power Plant)

  • 우주희;김종안
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 D
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    • pp.2147-2149
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    • 2001
  • 국내 한 증기터빈 발전소의 출력증감발 운전을 중앙급전 명령에 의해 가능하도록 하는 제어로직을 구현하였다. 이는 중앙급전으로부터 증감발 펄스 신호를 입력받아 발전기 출력 설정치를 변경함으로써 이루어지고, 증감되는 양은 펄스의 지속시간에 의해 이루어지며 여러 가지 운전상황에 대해 원활한 운전전환이 이루어져야 한다. 본 논문에서는 이를 구현하기 위해 제어로직 및 운전원 조작 화면의 구성을 소개하고자 한다.

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